技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種三維存儲(chǔ)器及其通道孔結(jié)構(gòu)的形成方法，通過第一通孔和第二通孔兩次通孔形成工藝來形成所述三維存儲(chǔ)器中的通道孔結(jié)構(gòu)，大大降低了所述通道孔結(jié)構(gòu)的工藝難度和成本，解決了在相同口徑下，通孔深寬比過大導(dǎo)致的工藝難度大和成本高的問題，同時(shí)也降低了所述三維存儲(chǔ)器的制作工藝難度和成本。

技術(shù)研發(fā)人員：呂震宇;施文廣;吳關(guān)平;潘鋒;萬先進(jìn);陳保友
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.08
技術(shù)公布日：2017.07.04