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一種集成門極換流晶閘管的制作方法

文檔序號:12725318閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種集成門極換流晶閘管,其特征在于,包括門極電極和多個(gè)環(huán)繞所述門極電極設(shè)置的陰極梳條結(jié)構(gòu),所述陰極梳條結(jié)構(gòu)包括至少兩層臺階的門陰極結(jié),所述門陰極結(jié)的最低層臺階設(shè)置在所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的P區(qū)內(nèi),所述最低層臺階的寬度隨著與所述門極電極的間距增加而減少。

2.如權(quán)利要求1所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述門陰極的最低層臺階的寬度為0~1000μm。

3.如權(quán)利要求2所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,相鄰所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的最低層臺階的寬度差為0~200μm。

4.如權(quán)利要求3所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,相鄰所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的最低層臺階的寬度線性減少。

5.如權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,相鄰所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極面積隨著與所述門極電極的間距增加而減少。

6.如權(quán)利要求5所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極寬度恒定。

7.如權(quán)利要求6所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極形狀為矩形。

8.如權(quán)利要求5所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極寬度隨著與所述門極電極的間距增加而減少。

9.如權(quán)利要求8所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極寬度隨著與所述門極電極的間距增加而線性減少。

10.如權(quán)利要求9所述集成門極換流晶閘管,其特征在于,所述陰極梳條結(jié)構(gòu)的陰極形狀為等腰梯形。

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