技術總結
本發(fā)明公開了一種多彩太陽能電池及其制備方法。電池為硅襯底上置有表面形成PN結的有序硅納米線陣列，其中，硅納米線的直徑為50?120nm、周期為500?1500nm，表面覆有厚1?200nm的介質層；方法為先于硅襯底表面使用納米球模板法或電子束曝光法或納米壓印技術制作有序掩模后，使用濕法工藝或反應離子刻蝕的博世工藝于其上刻蝕出有序納米線陣列，再使用擴散工藝對其上置有有序硅納米線陣列的硅襯底進行表面摻雜硼元素，之后，于得到的其上置有表面形成PN結的有序硅納米線陣列的硅襯底上使用化學氣相沉積法或電子束蒸發(fā)法或原子層沉積技術或旋涂法制作介質層后，于其上制作電極，制得目的產物。它可極易于廣泛地商業(yè)化應用于城市中的光伏發(fā)電系統(tǒng)。

技術研發(fā)人員：劉敏;李新化;史同飛;馬文霞;王玉琦
受保護的技術使用者：中國科學院合肥物質科學研究院
文檔號碼：201710080923
技術研發(fā)日：2017.02.15
技術公布日：2017.06.20