技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于選通驅(qū)動器件的相變材料、選通驅(qū)動器件及其制備方法，用于選通驅(qū)動器件的相變材料的通式為：Y1?xAsx，其中，Y為包括至少一種第六主族元素的相變材料，0＜x≤0.3。本發(fā)明的所述用于選通驅(qū)動器件的相變材料通過在相變材料中摻雜砷原子，可以在相變材料中形成導(dǎo)電通道，從而提高相變材料的相變臨界電壓及開啟后的電流密度；當(dāng)所述相變材料用于選通驅(qū)動器件時，利用相變材料的OTS開關(guān)特性實(shí)現(xiàn)開啟和關(guān)閉，同時在選通驅(qū)動器件開啟狀態(tài)時，砷原子摻雜形成的導(dǎo)電通道可提供大的驅(qū)動電流，用于驅(qū)動相變存儲單元的相變以實(shí)現(xiàn)信息的存儲和擦除；使用所述相變材料的選通驅(qū)動器件可以實(shí)現(xiàn)三維集成，從而大大提高存儲器的集成度和存儲密度。

技術(shù)研發(fā)人員：劉波;宋志棠;封松林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.25
技術(shù)公布日：2017.08.18