技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本公開提供了半導(dǎo)體器件。一種半導(dǎo)體器件包括：基板，包括間隔開的有源區(qū)以及使有源區(qū)彼此隔離的器件隔離區(qū)；和柱陣列圖案，包括交疊有源區(qū)的多個(gè)柱圖案，該多個(gè)柱圖案在第一方向上和在交叉第一方向的第二方向上以相等的距離彼此間隔開，其中該多個(gè)柱圖案包括在第一方向上和在第二方向上交替地設(shè)置的第一柱圖案和第二柱圖案，第一柱圖案的水平橫截面的形狀不同于第二柱圖案的水平橫截面的形狀。

技術(shù)研發(fā)人員：李基碩;沈正燮;李旻娥;洪鎮(zhèn)宇;樸濟(jì)民;成慧真;吳承玟;李到泳;李知承;李進(jìn)成
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星電子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.05
技術(shù)公布日：2017.07.21