技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種石英舟及其石英舟組件，其通過在石英舟上設(shè)置石英舟本體、第一支撐桿、第二支撐桿、第一固定架以及第二固定架，并在石英舟本體上設(shè)置50個(gè)相互平行且等距的用于放置晶圓的石英舟槽，降低了晶圓裝卸過程中的勞動(dòng)強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)了石英舟與自動(dòng)設(shè)備配套裝卸晶圓，降低晶圓裝卸過程中的異常。同時(shí)石英舟組件其能夠裝載多個(gè)石英舟，更好地配合作業(yè)，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：周福龍;李剛;呂飛;許洪玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司
文檔號(hào)碼：201621490129
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.07.21