本實(shí)用新型涉及晶圓制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種石英舟及其石英舟組件。

背景技術(shù)：

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓制造過(guò)程中的擴(kuò)散過(guò)程，需要將晶圓放置于石英舟中，將石英舟與晶圓一起放入擴(kuò)散爐中進(jìn)行相關(guān)的生產(chǎn)工藝。現(xiàn)有的與擴(kuò)散爐配套使用的石英舟一般可以裝載200～250片晶圓，在使用的過(guò)程中需要人工手動(dòng)進(jìn)行裝卸晶圓，容易造成晶圓的過(guò)程劃傷蹦邊等異常，不利于日常操作。且整個(gè)舟晶圓較重，裝卸一爐耗費(fèi)的時(shí)間較長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種石英舟，其能夠降低晶圓裝卸過(guò)程中的勞動(dòng)強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)與自動(dòng)設(shè)備配套裝卸晶圓，降低晶圓裝卸過(guò)程中的異常。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種石英舟組件，其能夠裝載多個(gè)石英舟，更好地配合作業(yè)。

本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種石英舟，包括石英舟本體、第一支撐桿、第二支撐桿、第一固定架以及第二固定架，第一支撐桿與第二支撐桿均沿長(zhǎng)度方向設(shè)置于石英舟本體的底部，第一固定架與第二固定架分別沿長(zhǎng)度方向連接于石英舟本體的相對(duì)的兩側(cè)，石英舟本體為槽體，槽體的槽面為弧面，槽面沿其長(zhǎng)度方向設(shè)置有50個(gè)相互平行且等距的用于放置晶圓的石英舟槽。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，第一固定架到第二固定架之間的距離為105～110mm，槽體的橫斷面對(duì)應(yīng)弧長(zhǎng)的圓心角為115～120°。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，槽體上的石英舟槽的深度為33～33.5mm。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，槽體上的石英舟槽的寬度為0.7～0.8mm，每相鄰的兩個(gè)石英舟槽之間的距離為2.35～2.40mm。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，石英舟本體上的石英舟槽的夾角為55～65°。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，第一支撐桿和第二支撐桿均為管狀的支撐桿，第一支撐桿和第二支撐桿均焊接于石英舟本體的底部。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，第一固定架以及第二固定架均為中空管狀的固定架，第一固定架以及第二固定架均焊接于石英舟本體的兩側(cè)。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，第一固定架和第二固定架均焊接于石英舟本體的兩側(cè)，且焊點(diǎn)的保證厚度為6mm。

一種石英舟組件，其包括上述石英舟以及用于放置上述石英舟的石英舟架。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，石英舟架包括多根支撐腿、用于放置多個(gè)石英舟的支撐架，多根支撐腿與支撐架連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果是：

本實(shí)用新型提供的石英舟及其石英舟組件，其通過(guò)在石英舟上設(shè)置石英舟本體、第一支撐桿、第二支撐桿、第一固定架以及第二固定架，并在石英舟本體上設(shè)置50個(gè)相互平行且等距的用于放置晶圓的石英舟槽，降低了晶圓裝卸過(guò)程中的勞動(dòng)強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)了石英舟與自動(dòng)設(shè)備配套裝卸晶圓，降低晶圓裝卸過(guò)程中的異常。同時(shí)石英舟組件其能夠裝載多個(gè)石英舟，更好地配合作業(yè)，提高生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的石英舟的第一視角的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的石英舟的第二視角的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的石英舟的使用狀態(tài)參考圖；

圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的石英舟組件的石英舟架的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：100-石英舟；110-石英舟本體；120-第一支撐桿；130-第二支撐桿；140-第一固定架；150-第二固定架；160-晶圓產(chǎn)品；111-石英舟槽；210-石英舟架；211-支撐腿；212-支撐架。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來(lái)布置和設(shè)計(jì)。

因此，以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類(lèi)似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

此外，術(shù)語(yǔ)“水平”、“豎直”、“懸垂”等術(shù)語(yǔ)并不表示要求部件絕對(duì)水平或懸垂，而是可以稍微傾斜。如“水平”僅僅是指其方向相對(duì)“豎直”而言更加水平，并不是表示該結(jié)構(gòu)一定要完全水平，而是可以稍微傾斜。

在本實(shí)用新型的描述中，還需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“設(shè)置”、“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

第一實(shí)施例

請(qǐng)結(jié)合圖1和圖3，本實(shí)施例提供一種石英舟100，其包括石英舟本體110、第一支撐桿120、第二支撐桿130、第一固定架140以及第二固定架150。

石英舟本體110為整個(gè)石英舟100的支撐結(jié)構(gòu)，用來(lái)裝載晶圓產(chǎn)品160，在后續(xù)的工藝流程中，石英舟100與已經(jīng)裝載滿(mǎn)的晶圓產(chǎn)品160一起被推送至進(jìn)入擴(kuò)散爐中，進(jìn)行后續(xù)的擴(kuò)散工藝。由于晶圓產(chǎn)品160的原材料是硅，所以當(dāng)石英舟100被與晶圓產(chǎn)品160一起推送至擴(kuò)散爐中進(jìn)行下一道工藝時(shí)，能夠有效地避免其他新的雜質(zhì)產(chǎn)生。

請(qǐng)結(jié)合圖1和圖2，石英舟本體110為槽體，槽體的槽面為弧面，槽面沿其長(zhǎng)度方向設(shè)置有50個(gè)相互平行且等距的用于放置晶圓的石英舟槽111。由于晶圓產(chǎn)品160為圓形的薄片狀，因此其底端能夠插入到弧形的石英舟槽111內(nèi)，從而穩(wěn)固地承載晶圓產(chǎn)品160。并且這種槽體結(jié)構(gòu)的石英舟100能夠使得晶圓產(chǎn)品160更加貼合地裝載于其中。而50個(gè)相互平行且等距的石英舟槽111，使得晶圓產(chǎn)品160能夠整齊并且穩(wěn)固地排列于其中，以保證后續(xù)的操作。這種石英舟槽111的形狀與晶圓產(chǎn)品160能夠更好地匹配。設(shè)置數(shù)量為50個(gè)，使得整個(gè)石英舟100的整體重量相較于現(xiàn)有技術(shù)減少了五分之四，大大地降低了工人在操作過(guò)程中的勞動(dòng)強(qiáng)度。

需要說(shuō)明的是，上述50個(gè)石英舟槽111，應(yīng)當(dāng)做廣義理解，凡是相同地手段來(lái)減少石英舟槽111的數(shù)量，從而降低整個(gè)石英舟100的整體重量，以達(dá)到降低人工操作時(shí)的勞動(dòng)強(qiáng)度的目的，均應(yīng)落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

50個(gè)相互平行且等距設(shè)置的石英舟槽111能夠保證石英舟100與自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行配合使用，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝卸晶圓產(chǎn)品160。有效避免了人工手動(dòng)操作帶來(lái)的異常，從而避免了裝卸過(guò)程中對(duì)晶圓的劃傷蹦邊等損壞，極大地提高了生產(chǎn)效率。

需要說(shuō)明的是，上述自動(dòng)化設(shè)備可以選用現(xiàn)有技術(shù)中的伺服機(jī)構(gòu)，例如，多個(gè)自由度的機(jī)械臂與吸盤(pán)結(jié)構(gòu)，當(dāng)其進(jìn)行自動(dòng)化操作時(shí)，能夠從石英舟100的50個(gè)石英舟槽111中，依次做等距運(yùn)動(dòng)，從而將晶圓產(chǎn)品160依次裝載于石英舟100中。上述自動(dòng)化設(shè)備的實(shí)現(xiàn)是本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的公知常識(shí)，此處不再贅述。

請(qǐng)參照?qǐng)D4，在本實(shí)施例中，第一固定架140到第二固定架150之間的距離為105～110mm。具體地，該距離可選擇105mm、106mm、107mm、108mm、109mm、110mm等。優(yōu)選地，第一固定架140到第二固定架150之間的距離為107mm。石英舟本體110的槽面的弧度所對(duì)應(yīng)的角度為115～120°。具體地，該角度可選擇115°、116°、117°、118°、119°、110°等。優(yōu)選地，石英舟本體110的槽面的弧度所對(duì)應(yīng)的角度為118°。石英舟100的槽體上的石英舟槽111的深度為33～33.5mm。具體地，該深度可選擇33mm、33.1mm、33.2mm、33.3mm、33.4mm、33.5mm等。優(yōu)選地，石英舟100的槽體上的石英舟槽111的深度為33.4mm。這樣地設(shè)置，能夠更加穩(wěn)固、更加匹配地將晶圓產(chǎn)品160裝載于石英舟100中。優(yōu)選地，石英舟100適用于5寸晶圓產(chǎn)品160。此外，這樣地設(shè)置，石英舟100的整體重量較小，能夠降低后續(xù)操作過(guò)程中的人工的勞動(dòng)力損耗。

需要說(shuō)明的是，上述槽面的弧度所對(duì)應(yīng)的角度是指，槽型的石英舟本體110的橫截面所形成的弧面的弧長(zhǎng)所對(duì)應(yīng)的圓心角的度數(shù)。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，在本實(shí)施例中，石英舟100的槽體上的石英舟槽111的寬度為0.7～0.8mm，具體地，該寬度可選擇0.7mm、0.71mm、0.72mm、0.73mm、0.74mm、0.75mm、0.76mm、0.77mm、0.78mm、0.79mm、0.80mm等。優(yōu)選地，石英舟100的槽體上的石英舟槽111的寬度為0.75mm。每相鄰的兩個(gè)石英舟槽之間的距離為2.35～2.40mm。具體地，該距離可選擇2.35mm、2.36mm、2.37mm、2.38mm、2.39mm、2.40mm等。優(yōu)選地，每相鄰的兩個(gè)石英舟槽111之間的距離為2.38mm。這樣地設(shè)置，能夠保證每一個(gè)石英舟槽111的寬度都是相等的，并且能夠與5寸晶圓產(chǎn)品160的厚度相互匹配，使其能夠更好地裝載于其中。此外，每?jī)蓚€(gè)相鄰的石英舟槽111之間的距離也是相等的，這樣不僅能夠保證自動(dòng)裝配設(shè)備與石英舟100配合使用，而且自動(dòng)裝配設(shè)備運(yùn)動(dòng)的距離較短，能夠節(jié)省能源的損耗，并且石英舟100的整體重量較低，進(jìn)一步降低了后續(xù)操作過(guò)程中的人工的勞動(dòng)力損耗。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，在本實(shí)施例中，石英舟100的槽體上的石英舟槽111的夾角為55～65°。具體地，該夾角可選擇55°、56°、57°、58°、59°、60°、61°、62°、63°、64°、65°等。優(yōu)選地，石英舟100的槽體上的石英舟槽111的夾角為60°。這樣地設(shè)置，能夠更加有益于配合自動(dòng)裝配機(jī)構(gòu)準(zhǔn)確地將晶圓產(chǎn)品160裝載于石英舟100中去。并且裝載完場(chǎng)的石英舟100能夠更加穩(wěn)固地承載晶圓產(chǎn)品160。

請(qǐng)結(jié)合圖1和圖3，第一支撐桿120和第二支撐桿130均焊接于石英舟本體110的底部。以支撐石英舟本體110，使得石英舟100能夠很好地放置，并且更加方便其在后續(xù)的操作中與其他工裝配合使用。

進(jìn)一步地，上述第一支撐桿120和第二支撐桿130均為管狀結(jié)構(gòu)的支撐桿，可以是實(shí)心的圓柱狀的也可以是中空的結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，上述第一支撐桿120和第二支撐桿130均為實(shí)心的圓柱狀的管體結(jié)構(gòu)。使用時(shí)，石英舟100要放置在石英舟架上，而第一支撐桿120和第二支撐桿130與石英舟架直接接觸，此時(shí)，能夠起到支撐石英舟100的作用，實(shí)心的圓柱狀結(jié)構(gòu)更加地可靠，能夠更好地保護(hù)石英舟本體110，進(jìn)而保護(hù)裝載在石英舟本體110中的晶圓產(chǎn)品160。

需要說(shuō)明的是，第一支撐桿120和第二支撐桿130的直徑優(yōu)選地為6mm，并且第一支撐桿120和第二支撐桿130均焊接于石英舟本體110的底部，優(yōu)選地，第一支撐桿120的外壁和第二支撐桿130的外壁之間的距離為123mm。

請(qǐng)結(jié)合圖1和圖3，第一固定架140和第二固定架150均焊接于石英舟本體110的兩側(cè)。以限定石英舟本體110，使得在后續(xù)操作中，石英舟100能夠穩(wěn)固地放置于石英舟架上。

需要說(shuō)明的是，第一固定架140和第二固定架150均焊接于石英舟本體110的兩側(cè)的時(shí)候，焊點(diǎn)的保證厚度為6mm，從而能夠有效地防止斷裂。

進(jìn)一步地，上述第一固定架140和第二固定架150為中空管狀的固定架，也可以為實(shí)心的圓柱狀管結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，上述第一固定架140和第二固定架150為中空管狀的結(jié)構(gòu)，從而更加進(jìn)一步降低石英舟100的整體重量，進(jìn)而降低后續(xù)操作中工人的勞動(dòng)力損耗。

總的來(lái)說(shuō)，石英舟與擴(kuò)散爐的配套使用，每次自動(dòng)裝卸50片晶圓，相當(dāng)于把原來(lái)一整個(gè)舟的重量分解成4-5份，極大地降低了工人取放時(shí)的勞動(dòng)強(qiáng)度；同時(shí)提高了自動(dòng)化程度，避免了裝卸晶圓時(shí)產(chǎn)生劃傷等異常；此外現(xiàn)有技術(shù)中石英舟裝卸一爐需要十分鐘左右，改進(jìn)后的石英舟由于自動(dòng)化程度提高，裝卸一爐的時(shí)間節(jié)約了50％，大大提升生產(chǎn)效率。

第二實(shí)施例

本實(shí)施例提供一種石英舟組件，包括第一實(shí)施例中的石英舟100和石英舟架210。

請(qǐng)參照?qǐng)D4，石英舟架210用于放置石英舟100。一個(gè)石英舟架210可以同時(shí)放置多個(gè)石英舟100。具體操作時(shí)，當(dāng)自動(dòng)裝配機(jī)構(gòu)將晶圓產(chǎn)品160裝載于石英舟100后，就可以將石英舟100放置于石英舟架210上。然后再由工人將整個(gè)石英舟組件送至下一道工序。

石英舟架210包括多根支撐腿211以及支撐架212，多根支撐腿211連接于支撐架212。以穩(wěn)固地支撐支撐架212，從而使得當(dāng)石英舟100放置于石英舟架210上時(shí)，能夠可靠地被支撐。

支撐架212用于放置石英舟100。并且支撐架212沿寬度方向的距離大于整個(gè)石英舟100的寬度。支撐架212的長(zhǎng)度方向的距離不是固定的，至少大于一個(gè)石英舟100的長(zhǎng)度。優(yōu)選地，支撐架212的長(zhǎng)度能夠放置4～5個(gè)石英舟100。從而使得整個(gè)晶圓生產(chǎn)過(guò)程更加合理有序地配合。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的石英舟及其石英舟組件，其通過(guò)在石英舟上設(shè)置石英舟本體、第一支撐桿、第二支撐桿、第一固定架以及第二固定架，并在石英舟本體上設(shè)置50個(gè)相互平行且等距的用于放置晶圓的石英舟槽，降低了晶圓裝卸過(guò)程中的勞動(dòng)強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)了石英舟與自動(dòng)設(shè)備配套裝卸晶圓，降低晶圓裝卸過(guò)程中的異常。同時(shí)石英舟組件其能夠裝載多個(gè)石英舟，更好地配合作業(yè)，提高生產(chǎn)效率。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。