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光電器件的制作方法

文檔序號:11686493閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光電器件,其特征在于,包括:

復(fù)合襯底,包括硅襯底層以及鍵合在所述硅襯底層上的藍寶石襯底層;

器件主體結(jié)構(gòu),形成所述藍寶石襯底層上;

以及驅(qū)動芯片,位于所述硅襯底層遠離所述藍寶石襯底層的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述器件主體結(jié)構(gòu)包括由氮化鎵晶體形成的外延層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述復(fù)合襯底還包括生長在所述藍寶石襯底層上的硅膜;所述藍寶石襯底層通過所述硅膜與所述硅襯底層鍵合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光電器件,其特征在于,所述硅膜的厚度為1~5μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述藍寶石襯底層的厚度為20μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述硅襯底層的厚度為600~1500μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述驅(qū)動芯片為硅基芯片。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述光電器件為LED器件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述光電器件為LD器件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電器件,其特征在于,所述光電器件為光電探測器。

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