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真空封裝設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):11619010閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種真空封裝設(shè)備,其特征在于,所述真空封裝設(shè)備包括:封裝本體和控制部件,

所述封裝本體設(shè)置有空腔,所述封裝本體設(shè)置有開口;

所述控制部件固定設(shè)置在所述開口處,所述控制部件內(nèi)設(shè)有腔體,所述腔體內(nèi)設(shè)置有卡接組件,所述卡接組件用于密封所述開口,所述控制部件上設(shè)置有與所述腔體連通的外接口,所述外接口與氦氣泄漏檢測(cè)儀的檢測(cè)接口連接,所述檢測(cè)接口在所述卡接組件離開所述開口時(shí)與所述封裝本體的空腔連通,所述氦氣泄漏檢測(cè)儀用于檢測(cè)所述封裝本體是否漏氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述控制部件包括固定組件和扣置在所述固定組件上的殼體,所述固定組件與所述殼體間形成所述腔體,所述固定組件固定設(shè)置在所述開口處,所述卡接組件穿入所述固定組件以密封所述開口,所述外接口的一端位于所述固定組件上,另一端位于所述控制部件的外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述固定組件包括柱狀管和環(huán)形體,所述柱狀管的一端與所述環(huán)形體的內(nèi)環(huán)相連接,所述環(huán)形體的外環(huán)與所述殼體的一端相連接,所述柱狀管的高度方向與所述封裝本體的高度方向平行,所述柱狀管的內(nèi)徑和所述環(huán)形體的內(nèi)徑相等,所述卡接組件穿入所述柱狀管內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述殼體通過管道與干泵連接,所述管道上設(shè)置有電磁閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述卡接組件為螺栓,所述柱狀管的內(nèi)壁設(shè)置有螺紋。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述環(huán)形體的內(nèi)環(huán)設(shè)置有彈性密封件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述外接口的開口端設(shè)置有密封蓋。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述彈性密封件為橡膠密封圈。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述控制部件和所述封裝本體內(nèi)分別設(shè)置有壓強(qiáng)傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一所述的真空封裝設(shè)備,其特征在于,

所述開口設(shè)置在所述封裝本體的底面或側(cè)壁。

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