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一種硅片取片器的制作方法

文檔序號:11080937閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種硅片取片器,其特征在于包括呈交叉設(shè)置的X型活動支架,X型活動支架的連接處通過轉(zhuǎn)軸連接,所述X型活動支架的一端安裝有彈簧,另一端對向安裝有半封閉腔,所述半封閉腔內(nèi)安裝有軟墊,所述軟墊與轉(zhuǎn)軸之間的X型活動支架內(nèi)端面對向安裝有限位桿。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片取片器,其特征在于所述軟墊為海綿墊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片取片器,其特征在于所述限位桿為螺桿。

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