本實用新型涉及擴散設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種純水存儲器，還涉及一種濕氧擴散設(shè)備。

背景技術(shù)：

濕氧氧化是對半導(dǎo)體材料進行加工處理的一種方式，此過程中需要使用到濕氧擴散設(shè)備。

濕氧擴散工藝在運行中需要連續(xù)不斷的水蒸氣，蒸汽發(fā)生器需要外部連接純水進行加熱產(chǎn)生蒸汽，工藝過程中設(shè)備控制蒸汽的流量，不控制水的流量，這樣會在外部出現(xiàn)停水的情況下不能及時發(fā)現(xiàn)，需要在工藝發(fā)現(xiàn)水蒸氣供應(yīng)量達不到設(shè)定值時出現(xiàn)報警才可以發(fā)現(xiàn)，這樣就造成了產(chǎn)品報廢，蒸汽發(fā)生器部件燒毀的現(xiàn)象。

綜上所述，如何有效地解決蒸汽發(fā)生器在純水供應(yīng)不足時發(fā)生空燒現(xiàn)象造成設(shè)備損壞等問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的第一個目的在于提供一種純水存儲器，該純水存儲器的結(jié)構(gòu)設(shè)計可以有效地解決蒸汽發(fā)生器在純水供應(yīng)不足時發(fā)生空燒現(xiàn)象造成設(shè)備損壞的問題，本實用新型的第二個目的是提供一種包括上述純水存儲器的濕氧擴散設(shè)備。

為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種純水存儲器，包括上部連接有進水管、下部連接有出水管的儲水罐，儲水罐的上部連接有進氣管，進水管內(nèi)填充有壓強可調(diào)的純水，進氣管內(nèi)填充有壓強可調(diào)的惰性氣體，儲水罐的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器，第一液位感應(yīng)器連接有提示裝置。

優(yōu)選地，上述純水存儲器中，進水管設(shè)有電磁閥。

優(yōu)選地，上述純水存儲器中，進氣管設(shè)有第一調(diào)壓閥，進水管設(shè)有第二調(diào)壓閥。

優(yōu)選地，上述純水存儲器中，儲水罐連通有高于第一液位感應(yīng)器的第二液位感應(yīng)器，第二液位感應(yīng)器和電磁閥電氣連接。

優(yōu)選地，上述純水存儲器中，提示裝置具體為顯示屏和\或蜂鳴器。

本實用新型提供的純水存儲器，包括上部連接有進水管、下部連接有出水管的儲水罐，儲水罐的上部連接有進氣管，進水管內(nèi)填充有壓強可調(diào)的純水，進氣管內(nèi)填充有壓強可調(diào)的惰性氣體，儲水罐的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器，第一液位感應(yīng)器連接有提示裝置。

應(yīng)用本實用新型提供的純水存儲器時，正常狀態(tài)下進水管進水，出水管出水，保持儲水罐內(nèi)始終有一定的純水存儲量即可。當(dāng)進水管沒有水通入時，沒有水壓則出水管出水困難，可通過進氣管通入惰性氣體，惰性氣體可優(yōu)選為氮氣，既不影響呼吸又容易制備，將儲水罐內(nèi)的存水持續(xù)壓入蒸汽發(fā)生器中，避免了斷水或水壓不夠時蒸汽發(fā)生器中的水越來越少導(dǎo)致空燒。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器監(jiān)測到儲水罐內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時，通過提示裝置提示操作者及時提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器，以免發(fā)生空燒。

為了達到上述第二個目的，本實用新型還提供了一種濕氧擴散設(shè)備，該濕氧擴散設(shè)備包括上述任一種純水存儲器，該純水存儲器與該濕氧擴散設(shè)備的蒸汽發(fā)生器連接。由于上述的純水存儲器具有上述技術(shù)效果，具有該純水存儲器的濕氧擴散設(shè)備也應(yīng)具有相應(yīng)的技術(shù)效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的濕氧擴散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標記如下：

儲水罐1、進水管11、出水管12、進氣管13、第一液位感應(yīng)器2、第二液位感應(yīng)器3、電磁閥4、第一調(diào)壓閥5、第二調(diào)壓閥6、蒸汽發(fā)生器7。

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種濕氧擴散設(shè)備及其純水存儲器，以避免蒸汽發(fā)生器空燒，提高濕氧擴散過程的安全性。

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1，圖1為本實用新型實施例提供的濕氧擴散設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

本實用新型的實施例提供了一種純水存儲器，包括上部連接有進水管11、下部連接有出水管12的儲水罐1，儲水罐1的上部連接有進氣管13，進水管11內(nèi)填充有壓強可調(diào)的純水，進氣管13內(nèi)填充有壓強可調(diào)的惰性氣體，儲水罐1的預(yù)設(shè)液位連通有第一液位感應(yīng)器2，第一液位感應(yīng)器2連接有提示裝置。

應(yīng)用上述實施例提供的純水存儲器時，正常狀態(tài)下進水管11進水，出水管12出水，保持儲水罐1內(nèi)始終有一定的純水存儲量即可。當(dāng)進水管11沒有水通入時，沒有水壓則出水管12出水困難，可通過進氣管13通入惰性氣體，惰性氣體可優(yōu)選為氮氣，既不影響呼吸又容易制備，將儲水罐1內(nèi)的存水持續(xù)壓入蒸汽發(fā)生器7中，避免了斷水或水壓不夠時蒸汽發(fā)生器7中的水越來越少導(dǎo)致空燒。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器2監(jiān)測到儲水罐1內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時，通過提示裝置提示操作者及時提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器7，以免發(fā)生空燒。

為了優(yōu)化上述實施例中進水管11的使用效果，進水管11設(shè)有電磁閥4。當(dāng)?shù)谝灰何桓袘?yīng)器2監(jiān)測到儲水罐1內(nèi)的水位低于預(yù)設(shè)水位時，打開電磁閥4 開始補水，如果沒有水補充，提示操作者及時提供純水或者關(guān)閉蒸汽發(fā)生器7，以免發(fā)生空燒。通過電磁閥4實現(xiàn)對進水管11的開關(guān)控制，使得進水過程的通水和切斷操作更為方便，如果通過外部處理器進行控制則更為智能，自動化程度更高。

為了優(yōu)化上述實施例中進水管11和進氣管13的使用效果，進氣管13設(shè)有第一調(diào)壓閥5，進水管11設(shè)有第二調(diào)壓閥6。通過第二調(diào)壓閥6實現(xiàn)進水管11中純水壓強的控制，以免純水壓力波動造成蒸氣發(fā)生過程不穩(wěn)定，流量波動。當(dāng)斷水或者水壓不足時，通過第一調(diào)壓閥5實現(xiàn)進氣管13中氣體壓強的控制，同樣可以起到穩(wěn)定出水管12中純水壓力的作用。

本實用新型的另一個具體實施例中，儲水罐1連通有高于第一液位感應(yīng)器2的第二液位感應(yīng)器3，第二液位感應(yīng)器3和電磁閥4電氣連接。為了具體量化儲水罐1中液位是否穩(wěn)定，設(shè)置雙液位觀測點，將液位合理控制在一定范圍內(nèi)。當(dāng)?shù)诙何桓袘?yīng)器3監(jiān)測到儲水罐1內(nèi)液位高出一定程度時，則控制電磁閥4實現(xiàn)進水管11的關(guān)閉，待純水使用一定量而液位降至該高度以下時，可以再次開啟電磁閥4。

為了優(yōu)化上述實施例中提示裝置的使用效果，提示裝置具體為顯示屏和\或蜂鳴器。通過顯示屏可以顯示液位變化曲線，或者直接顯示液位超出最高或最低預(yù)設(shè)值的信息，幫助操作者及時改變各個管路或者設(shè)備的開閉狀態(tài)，以免發(fā)生水壓不穩(wěn)或者空燒的現(xiàn)象。同時提示裝置也可以優(yōu)選蜂鳴器，更直觀和及時的提醒到操作者設(shè)備出現(xiàn)危險或者故障的趨勢，方便操作者及時反饋。

基于上述實施例中提供的純水存儲器，本實用新型還提供了一種濕氧擴散設(shè)備，該濕氧擴散設(shè)備包括上述實施例中任意一種純水存儲器，該純水存儲器和該濕氧擴散設(shè)備中的蒸汽發(fā)生器7連接。由于該濕氧擴散設(shè)備采用了上述實施例中的純水存儲器，所以該濕氧擴散設(shè)備的有益效果請參考上述實施例。

本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。

還需要說明的是，在本說明書中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。