本實(shí)用新型涉及一種保護(hù)裝置，尤其是一種掃描電鏡背散射電子接收器使用的保護(hù)裝置。

背景技術(shù)：

掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，是一種新型的電子光學(xué)儀器，價格昂貴。由于它具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大等特點(diǎn)，故被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。電子光學(xué)系統(tǒng)是掃描電鏡的核心結(jié)構(gòu)，該系統(tǒng)中的背散射電子接收器是與被測試樣距離最近，也是最容易被碰壞的元件之一。尤其是在工業(yè)領(lǐng)域中，由于被測試樣多為不規(guī)則金屬表面，凸起較多且堅(jiān)硬，鏡頭更容易被碰壞。如何能不影響試樣的掃描觀測，還能避免鏡頭被堅(jiān)硬的試樣碰壞，是一個亟需解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型針對上述問題，提供一種掃描電鏡背散射電子接收器使用的保護(hù)裝置，可以保護(hù)掃描電鏡的背散射電子接收器不被被測試樣碰壞。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種掃描電鏡背散射電子接收器保護(hù)裝置，其組成包括彈性支架，所述的彈性支架的一端采用銷釘固定安裝在掃描電鏡的主體結(jié)構(gòu)上，另一端固定連接保護(hù)網(wǎng)，所述的彈性支架經(jīng)過多次纏繞形成彈簧結(jié)構(gòu)，用來緩沖被測物體的運(yùn)動余量，所述的保護(hù)網(wǎng)安裝在背散射電子接收器的正下方，所述的保護(hù)網(wǎng)包括V形保護(hù)結(jié)構(gòu)，用來保護(hù)背散射電子接收器，電子束發(fā)射孔在水平面上的垂直投影應(yīng)全部包含在V形保護(hù)結(jié)構(gòu)的V形區(qū)域里，所述的V形保護(hù)結(jié)構(gòu)不能遮擋電子束發(fā)射孔，同時應(yīng)盡可能減少對背散射電子的干擾。

所述的保護(hù)網(wǎng)與背散射電子接收器之間的距離為3mm—5mm。

本實(shí)用新型利用掃描電鏡系統(tǒng)本身所帶有的程序（sample touch alarm）的停止動作功能，來防止試樣撞擊背散射電子接收器。

有益效果：

1．本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，便于安裝和拆卸，成本低，易于更換，可以在掃描電鏡中廣泛使用。

2．本實(shí)用新型的保護(hù)網(wǎng)結(jié)構(gòu)可以有效避免掃描電鏡的背散射電子接收器被不規(guī)則被測體碰壞。

3．本實(shí)用新型的彈簧結(jié)構(gòu)可以有效緩沖被測物體的運(yùn)動余量，降低沖擊力。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方法對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型安裝在掃描電鏡上的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型保護(hù)網(wǎng)的示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的局部結(jié)構(gòu)放大示意圖。

圖中：1-主體結(jié)構(gòu)，2-彈性支架，3-彈簧結(jié)構(gòu)，4-電子束發(fā)射孔，5-保護(hù)網(wǎng)，6-背散射電子接收器，7-V形保護(hù)結(jié)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

一種掃描電鏡背散射電子接收器保護(hù)裝置，其組成包括彈性支架2，所述的彈性支架2的一端采用銷釘固定安裝在掃描電鏡的主體結(jié)構(gòu)1上，另一端固定連接保護(hù)網(wǎng)5，所述的彈性支架2經(jīng)過多次纏繞形成彈簧結(jié)構(gòu)3，用來緩沖被測物體的運(yùn)動余量，所述的保護(hù)網(wǎng)5安裝在背散射電子接收器6的正下方，所述的保護(hù)網(wǎng)5包括V形保護(hù)結(jié)構(gòu)7，用來保護(hù)背散射電子接收器6，電子束發(fā)射孔4在水平面上的垂直投影應(yīng)全部包含在V形保護(hù)結(jié)構(gòu)7的V形區(qū)域里，所述的V形保護(hù)結(jié)構(gòu)7不能遮擋電子束發(fā)射孔4，同時應(yīng)盡可能減少對背散射電子的干擾。

所述的保護(hù)網(wǎng)5與背散射電子接收器6之間的距離為3mm—5mm。

本實(shí)用新型利用掃描電鏡系統(tǒng)本身所帶有的程序（sample touch alarm）的停止動作功能，來防止試樣撞擊背散射電子接收器。

當(dāng)然，上述說明并非是對本實(shí)用新型的限制，本實(shí)用新型也并不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。