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抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管及有源尋址電路的制作方法

文檔序號:12451105閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管,包括襯底,襯底上表面的中部沉積有柵絕緣層,在柵絕緣層上有多晶硅或金屬形成柵極,通過離子注入在襯底兩端形成的源極和漏極,其特征在于,在柵極、源極與漏極上方沉積有隔離層,源極和漏極上方的隔離層刻蝕有用于引出源極和漏極的接觸孔,在源極和漏極上的接觸孔中沉積有金屬,漏極上接觸孔中金屬刻蝕有用于隔離源極和漏極的隔離缺口,源極上的金屬直接延伸覆蓋過有源溝道區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管,其特征在于,所述襯底為硅基材料襯底,玻璃石英襯底或氮化物襯底。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管,其特征在于,所述襯底和柵極之間的柵氧化層為SiO2、HfO、Al2O3或ZrO氧化物,隔離層為SiO2或SiNx隔離層。

4.一種應(yīng)用權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管的有源尋址電路,其特征在于,所述有源尋址電路中的MOS管為抑制有源溝道區(qū)光致漏電流產(chǎn)生的MOS管。

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