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一種用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜制備方法、該方法制備的薄膜及包含該薄膜的太陽電池與流程

文檔序號:11925760閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,包括如下步驟:

步驟1:在襯底溫度450℃至550℃時,通過真空共蒸發(fā)法蒸發(fā)Cu、ZnS、Sn和Se;

步驟2:降低襯底溫度,通過真空共蒸法蒸發(fā)Se和Sn;

步驟3:在襯底溫度500℃至550℃時,單獨蒸發(fā)Se。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟1中,所述共蒸發(fā)的時間為30min至60min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟2中,所述共蒸發(fā)的時間為7min至18min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,單獨蒸發(fā)Se的時間為15min至30min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟2中,所述襯底以20-30℃/min的速率降溫,至襯底溫度200℃至250℃時停止。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟1和2中,蒸發(fā)腔室的壓強(qiáng)為3×10-4Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,通入氮氣,使蒸發(fā)腔室內(nèi)壓強(qiáng)為104Pa。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,Se蒸發(fā)源的溫度為450℃。

9.一種根據(jù)權(quán)利要求1至8所述的方法制造的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜。

10.一種包含通過權(quán)利要求1至8所述的方法制造的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的太陽電池。

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