1.一種用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,包括如下步驟:
步驟1:在襯底溫度450℃至550℃時,通過真空共蒸發(fā)法蒸發(fā)Cu、ZnS、Sn和Se;
步驟2:降低襯底溫度,通過真空共蒸法蒸發(fā)Se和Sn;
步驟3:在襯底溫度500℃至550℃時,單獨蒸發(fā)Se。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟1中,所述共蒸發(fā)的時間為30min至60min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟2中,所述共蒸發(fā)的時間為7min至18min。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,單獨蒸發(fā)Se的時間為15min至30min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟2中,所述襯底以20-30℃/min的速率降溫,至襯底溫度200℃至250℃時停止。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟1和2中,蒸發(fā)腔室的壓強(qiáng)為3×10-4Pa。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,通入氮氣,使蒸發(fā)腔室內(nèi)壓強(qiáng)為104Pa。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟3中,Se蒸發(fā)源的溫度為450℃。
9.一種根據(jù)權(quán)利要求1至8所述的方法制造的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜。
10.一種包含通過權(quán)利要求1至8所述的方法制造的用于太陽電池的銅鋅錫硫硒薄膜的太陽電池。