技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種固態(tài)等離子可重構(gòu)偶極子天線的制備方法，其中，所述可重構(gòu)偶極子天線包括：半導體基片、固態(tài)等離子pin二極管天線臂、同軸饋線以及直流偏置線；所述天線制備方法包括：選取SOI襯底，形成臺面的有源區(qū)；有源區(qū)四周平坦化處理并分別淀積p型和n型硅形成P區(qū)和N區(qū)；在所述SOI襯底上形成引線，形成依次首尾相連的固態(tài)等離子pin二極管串；所述固態(tài)等離子pin二極管串組成所述固態(tài)等離子pin二極管天線臂；制作所述直流偏置線和同軸饋線；以形成所述可重構(gòu)偶極子天線，本發(fā)明制備的可重構(gòu)偶極子天線等離子天線臂長度可調(diào)，從而實現(xiàn)天線工作頻率的可重構(gòu)，具有易集成、可隱身、頻率可快速跳變的特點。

技術(shù)研發(fā)人員：尹曉雪;張亮
受保護的技術(shù)使用者：西安科銳盛創(chuàng)新科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.07.14