技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的頻率可重構(gòu)全息天線制備方法，所述全息天線包括GeOI襯底(1)、第一天線臂(2)、第二天線臂(3)、同軸饋線(4)、直流偏置線及全息圓環(huán)(14)；其中，所述制備方法包括：在所述GeOI襯底上制作AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的固態(tài)等離子pin二極管；由多個(gè)所述AlAs/Ge/AlAs結(jié)構(gòu)的固態(tài)等離子pin二極管依次首尾相連形成等離子pin二極管串；由多個(gè)所述等離子pin二極管串制作所述第一天線臂和第二天線臂；在所述GeOI襯底上制作所述直流偏置線；在所述第一天線臂和第二天線臂上制作同軸饋線以形成所述可重構(gòu)全息天線；本發(fā)明制備的全息天線體積小、結(jié)構(gòu)簡單、易于加工、無復(fù)雜饋源結(jié)構(gòu)、頻率可快速跳變，且天線關(guān)閉時(shí)將處于電磁波隱身狀態(tài)，易于組陣，可用作相控陣天線的基本組成單元。

技術(shù)研發(fā)人員：尹曉雪;張亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安科銳盛創(chuàng)新科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611183888
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.05.31