本發(fā)明涉及電池片加工技術領域，特別涉及一種全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備。

背景技術：

隨著光伏太陽能晶硅電池片已發(fā)展為綠色新能源的主流，光伏產(chǎn)業(yè)已具規(guī)模化，提升晶硅電池片的發(fā)電效率和光致衰減率，已成為業(yè)界的追求的目標。晶體硅太陽能電池片由于光照下硼氧復合物的形成，導致LID現(xiàn)象的發(fā)生，摻硼p型電池片功率衰減可高達5％；對于目前已實現(xiàn)量產(chǎn)的p型高效電池結構-PERC(鈍化發(fā)射極與背表面電池)技術，由于其效率提升源于電池片背面鈍化和背反射性能的提高，硼氧復合物的存在阻礙載流子向背面遷移，極大吞噬了高效電池結構帶來的功率提升，導致PERC高效結構比常規(guī)鋁背場電池出現(xiàn)更嚴重的效率衰減。因此，LID問題的解決不僅是常規(guī)p型電池結構效率的保證，更是p型高效電池得以真正應用推廣的關鍵所在。

目前，p型高效太陽能電池片光衰問題可以通過抑制光衰減的缺陷生成-硼氧復合體的方法來解決，抑制硼氧復合體的方法包括①降低氧含量②降低硼濃度③p型摻鎵硅晶體(鎵取代硼)④n型硅晶體(不含硼)⑤同族摻雜鍺、錫和碳硅晶體⑥高溫熱處理，但上述方法加工效率均不理想，且處理時工藝比較復雜，不適于高效生產(chǎn)。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備，有效的解決了現(xiàn)有技術的缺陷。

本發(fā)明解決上述技術問題的技術方案如下：一種全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備，包括加工臺面、機械旋轉臂總成、旋轉溫控吸附工作臺、電池片傳送模組和激光發(fā)生器模組；

上述機械旋轉臂總成、旋轉溫控吸附工作臺、電池片傳送模組分別安裝在加工臺面上，上述旋轉溫控吸附工作臺和電池片傳送模組分布在上述機械旋轉臂總成兩側，且均可在上述加工臺面上水平轉動；

上述旋轉溫控吸附工作臺上端設有兩組并列且對稱分布的溫控吸盤模組，上述機械旋轉臂總成兩端具有上料吸盤和冷卻下料吸盤；

上述機械旋轉臂總成轉動過程中，上述上料吸盤和冷卻下料吸盤可分別轉動至其中一組上述溫控吸盤模組或電池片傳送模組的上方；

上述激光發(fā)生器模組通過支架安裝在加工臺面上，并位于另外一組上述溫控吸盤模組的上方。

本發(fā)明的有益效果是：結構簡單，使用方便，在電池片加工過程中可實現(xiàn)預加熱及加工后的快速冷卻，加工效率較高。

在上述技術方案的基礎上，本發(fā)明還可以做如下改進。

進一步，上述加工臺面下端設置有機箱，上述機箱內(nèi)設有抽真空系統(tǒng)，上述抽真空系統(tǒng)分別通過管路連接每組溫控吸盤模組以及上料吸盤和冷卻下料吸盤。

采用上述進一步方案的有益效果是整個設備結構緊湊，使用簡單、方便。

進一步，上述機械旋轉臂總成包括第一旋轉驅(qū)動裝置和機械臂，上述第一旋轉驅(qū)動裝置安裝在上述加工臺面上，且其驅(qū)動端向上，上述機械臂水平安裝在上述第一旋轉驅(qū)動裝置的驅(qū)動端，且上述機械臂中部與上述第一旋轉驅(qū)動裝置的驅(qū)動端固定連接，上述上料吸盤和冷卻下料吸盤分別固定在上述機械臂的兩端。

采用上述進一步方案的有益效果是機械旋轉臂總成結構簡單，使用方便。

進一步，上述旋轉溫控吸附工作臺包括第二旋轉驅(qū)動裝置和安裝板，上述第二旋轉驅(qū)動裝置安裝在加工臺面上，且其驅(qū)動端向上，上述安裝板水平固定在上述第二旋轉驅(qū)動裝置的驅(qū)動端，且其底部的中部與上述第二旋轉驅(qū)動裝置的驅(qū)動端固定連接，兩組上述溫控吸盤模組均通過墊板并列且對稱分布的安裝在上述安裝板上。

采用上述進一步方案的有益效果是旋轉溫控吸附工作臺結構簡單，使用方便，溫控吸盤模組布局合理，便于雙工位加工。

進一步，還包括設置在機箱內(nèi)的水冷循環(huán)系統(tǒng)，上述安裝板內(nèi)具有水冷循環(huán)腔，上述安裝板上具有分別連通水冷循環(huán)腔的進水接頭和出水接頭，上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸入端和輸出端分別通過管路連接出水接頭和進水接頭。

采用上述進一步方案的有益效果是便于通過水冷循環(huán)系統(tǒng)對安裝板進行循環(huán)水冷，使得整個旋轉溫控吸附工作臺環(huán)境溫度降低，避免出現(xiàn)高溫引發(fā)的不安全事故。

進一步，每組上述溫控吸盤模組均由至少兩個并列且水平設置的溫控吸盤組成，每個上述溫控吸盤均通過墊板安裝在上述安裝板上，上述上料吸盤和冷卻下料吸盤分別設置有至少兩個，并分別與其中一組的至少兩個上述溫控吸盤一一對應，上述上料吸盤和冷卻下料吸盤分別并列設置在上述機械臂的兩端，上述機械旋轉臂總成轉動過程中，每個上述上料吸盤和冷卻下料吸盤可分別轉動至對應的上述溫控吸盤以及電池片傳送模組的上方，每個上述溫控吸盤分別通過管路連接上述抽真空系統(tǒng)。

采用上述進一步方案的有益效果是溫控吸盤模組設計合理，便于實現(xiàn)多片電池片的加工，提高整體加工效率。

進一步，每個上述溫控吸盤均包括吸盤本體和設置在吸盤本體內(nèi)的加熱裝置，上述吸盤本體內(nèi)具有獨立的冷卻氣流流動風腔和抽真空腔；上述吸盤本體上設有分別連通冷卻氣流流動風腔的進風口和出風口，上述進風口處連通設有第一氣管接頭，上述機箱內(nèi)具有風冷系統(tǒng)，上述風冷系統(tǒng)連通上述第一氣管接頭；上述吸盤本體上設有連通上述抽真空腔的抽真空口，上述抽真空口處連通設有第二氣管接頭，上述第二氣管接頭連接上述抽真空系統(tǒng)；上述吸盤本體上端端面設為吸附面，上述吸附面上開有多個均勻布置并連通抽真空腔的吸附孔，上述吸附孔均與上述抽真空腔氣流連通。

采用上述進一步方案的有益效果是溫控吸盤結構簡單，設計合理，可通過調(diào)節(jié)溫度對電池片進行預加熱或降溫處理。

進一步，上述第一旋轉驅(qū)動裝置和第二旋轉驅(qū)動裝置均為DD馬達，其中部均同軸設有上下貫穿其的通孔。

采用上述進一步方案的有益效果是便于通過第一旋轉驅(qū)動裝置和第二旋轉驅(qū)動裝置中部的通孔布置管路，使得整個設備結構緊湊，外形美觀。

進一步，兩組上述溫控吸盤模組之間設有由上向下依次穿過安裝板、第二旋轉驅(qū)動裝置中部通孔以及加工臺面的分路器，上述分路器內(nèi)具有相互獨立的真空吸腔、進水腔、出水腔和風冷腔，上述分路器上、下端分別設置有與上述真空吸腔、進水腔、出水腔和風冷腔對應連通的接頭，每個上述第二氣管接頭均通過管路連接上述分路器上端對應真空吸腔的接頭，每個上述第一氣管接頭均通過管路連接上述分路器上端對應風冷腔的接頭，每個上述進水接頭均通過管路連接上述分路器上端對應進水腔的接頭，每個上述出水接頭均通過管路連接上述分路器上端對應出水腔的接頭，上述分路器下端對應真空吸腔的接頭通過管路連通上述抽真空系統(tǒng)，上述分路器下端對應風冷腔的接頭通過管路連通上述風冷系統(tǒng)，上述分路器下端對應進水腔的接頭通過管路連通上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸出端，上述分路器下端對應出水腔的接頭通過管路連通上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸入端。

采用上述進一步方案的有益效果是通過分路器可連接機箱內(nèi)的抽真空系統(tǒng)、風冷系統(tǒng)和水冷循環(huán)系統(tǒng)相連，避免整個設備中管路布置復雜，影響正常使用。

進一步，每個上述上料吸盤和冷卻下料吸盤均通過穿過第一旋轉驅(qū)動裝置中部通孔的管路與上述抽真空系統(tǒng)連接。

采用上述進一步方案的有益效果是避免上料吸盤和冷卻下料吸盤與抽真空系統(tǒng)之間管路布置復雜，影響正常使用的狀況出現(xiàn)。

進一步，上述電池片傳送模組包括呈直線分布的上料傳送模組、至少兩個緩存?zhèn)魉湍＝M和下料傳送模組，至少兩個上述緩存?zhèn)魉湍＝M依次順序設置在上料傳送模組和下料傳送模組之間，并分別與上述上料吸盤和冷卻下料吸盤一一對應，上述機械旋轉臂總成轉動過程中，上述上料吸盤和冷卻下料吸盤可分別轉動至對應的上述緩存?zhèn)魉湍＝M上方。

采用上述進一步方案的有益效果是電池片傳送模組結構簡單，使用方便，便于上、下料和緩存電池片。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備的結構示意圖；

圖2為本發(fā)明中機械旋轉臂總成的結構示意圖；

圖3為本發(fā)明中旋轉溫控吸附工作臺的結構示意圖；

圖4為本發(fā)明中溫控吸盤的結構示意圖；

圖5為本發(fā)明中旋轉溫控吸附工作臺的仰視結構示意圖；

圖6為本發(fā)明中旋轉溫控吸附工作臺的另一實施例的結構示意圖；

圖7為本發(fā)明的全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備中電池片傳送模組的結構示意圖；

圖8為本發(fā)明中冷卻下料吸盤的結構示意圖；

圖9為本發(fā)明中冷卻板的結構示意圖。

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1、加工臺面，2、機械旋轉臂總成，3、旋轉溫控吸附工作臺，4、電池片傳送模組，5、激光發(fā)生器模組，6、溫控吸盤模組，7、分路器，11、支架，12、機箱，21、第一旋轉驅(qū)動裝置，22、機械臂，23、上料吸盤，24、冷卻下料吸盤，31、第二旋轉驅(qū)動裝置，32、安裝板，33、墊板，41、上料傳送模組，42、緩存?zhèn)魉湍＝M，43、下料傳送模組，51、激光發(fā)生器，61、溫控吸盤，71、防護罩，241、冷卻板，242、冷卻密封板，243、吸板，321、進水接頭，322、出水接頭，323、盤管，611、吸盤本體，612、加熱裝置，2411、凹槽，2412、吸氣通道，2413、冷卻液流通槽，2422、進液接頭，2423、出液接頭，2431、氣孔，6111、第一氣管接頭，6112、第二氣管接頭，6113、吸附孔。

具體實施方式

以下結合附圖對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。

實施例：如圖1所示，本實施例的全自動太陽能電池片抗光衰激光加工設備，包括加工臺面1、機械旋轉臂總成2、旋轉溫控吸附工作臺3、電池片傳送模組4和激光發(fā)生器模組5；

上述機械旋轉臂總成2、旋轉溫控吸附工作臺3、電池片傳送模組4分別安裝在加工臺面1上，上述旋轉溫控吸附工作臺3和電池片傳送模組4分布在上述機械旋轉臂總成2兩側，且均可在上述加工臺面1上水平轉動；

上述旋轉溫控吸附工作臺3上端設有兩組并列且對稱分布的溫控吸盤模組6，上述機械旋轉臂總成2兩端具有上料吸盤23和冷卻下料吸盤24；

上述機械旋轉臂總成2轉動過程中，上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24可分別轉動至其中一組上述溫控吸盤模組6或電池片傳送模組4的上方；

上述激光發(fā)生器模組5通過支架11安裝在加工臺面1上，并位于另外一組上述溫控吸盤模組6的上方。

生產(chǎn)過程中，電池片在電池片傳送模組4上依次傳送，機械旋轉臂總成2通過上料吸盤23吸取電池片轉動180°后放置在旋轉溫控吸附工作臺3的其中一組溫控吸盤模組6上被其吸附，通過溫控吸盤模組6對電池片進行預加熱，之后，旋轉溫控吸附工作臺3旋轉180°，吸附有電池片的一組上述溫控吸盤模組6轉動至激光發(fā)生器模組5下方，激光發(fā)生器模組5對電池片進行加工，加工過程中，旋轉溫控吸附工作臺3可調(diào)節(jié)降低激光加工對太陽能電池片溫升的影響，同步，機械旋轉臂總成2在另一組上述溫控吸盤模組6放片，加工完成后，旋轉溫控吸附工作臺3回轉，另一組上述溫控吸盤模組6轉動至激光發(fā)生器模組5下方進行加工，機械旋轉臂總成2通過冷卻下料吸盤24將加工好的電池片吸取并回轉180°后放置在電池片傳送模組4上傳送出，在加工過程中，電池片傳送模組4上可同步實現(xiàn)上料和放料的動作，整個設備在加工過程中可對旋轉溫控吸附工作臺3可對電池片進行預加熱，同時，冷卻下料吸盤24可將加工好的電池片快速降溫處理，有效的降低了電池片加工后LID現(xiàn)象的問題出現(xiàn)。

考慮到，旋轉溫控吸附工作臺3以及上料吸盤23和冷卻下料吸盤24均需介入抽真空系統(tǒng)，在上述加工臺面1下端設置有機箱12，上述機箱12內(nèi)設有抽真空系統(tǒng)，上述抽真空系統(tǒng)分別通過管路連接每組上述溫控吸盤模組6以及上料吸盤23和冷卻下料吸盤24，使得整個設備可獨立生產(chǎn)加工，其結構緊湊，使用方便。

優(yōu)選的，如圖2所示，上述機械旋轉臂總成2包括第一旋轉驅(qū)動裝置21和機械臂22，上述第一旋轉驅(qū)動裝置21安裝在上述加工臺面1上，且其驅(qū)動端向上，上述機械臂22水平安裝在上述第一旋轉驅(qū)動裝置21的驅(qū)動端，且上述機械臂22中部與上述第一旋轉驅(qū)動裝置21的驅(qū)動端固定連接，上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24分別固定在上述機械臂22的兩端，使用時，第一旋轉驅(qū)動裝置21驅(qū)動機械臂22實現(xiàn)180°轉動以及回轉，使得上料吸盤23和冷卻下料吸盤24可分別轉動至旋轉溫控吸附工作臺3對應的位置以及電池片傳送模組4上，進行上料和下料的操作。

優(yōu)選的，如圖3所示，上述旋轉溫控吸附工作臺3包括第二旋轉驅(qū)動裝置31和安裝板32，上述第二旋轉驅(qū)動裝置31安裝在加工臺面1上，且其驅(qū)動端向上，上述安裝板32水平固定在上述第二旋轉驅(qū)動裝置31的驅(qū)動端，且其底部的中部與上述第二旋轉驅(qū)動裝置31的驅(qū)動端固定連接，兩組上述溫控吸盤模組6均通過墊板33并列且對稱分布的安裝在上述安裝板32上，實現(xiàn)雙工位的加工和電池片預熱工藝，實現(xiàn)高效的加工生產(chǎn)，同時，墊板33可避免溫控吸盤模組6在加工生產(chǎn)中的高溫傳遞到安裝板32以及第二旋轉驅(qū)動裝置31上對安裝板32或第二旋轉驅(qū)動裝置31造成損壞。

優(yōu)選的，每組上述溫控吸盤模組6均由至少兩個并列且水平設置的溫控吸盤61組成，每個上述溫控吸盤61均通過墊板33安裝在上述安裝板32上，上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24分別設置有至少兩個，并分別與其中一組的至少兩個上述溫控吸盤61一一對應，上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24分別并列設置在上述機械臂22的兩端，上述機械旋轉臂總成2轉動過程中，每個上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24可分別轉動至對應的上述溫控吸盤61以及電池片傳送模組4的上方，每個上述溫控吸盤61分別通過管路連接上述抽真空系統(tǒng)，加工過程中，每個上述溫控吸盤61均進行放片，即可實現(xiàn)每組上述溫控吸盤模組6上放置至少兩個電池片進行同步加工以及同步取放片工序，實現(xiàn)雙工位多片加工模式，保證生產(chǎn)加工高效進行。

更優(yōu)選的，每組上述溫控吸盤模組6均由兩個并列且水平設置的溫控吸盤61組成。

優(yōu)選的，如圖4所示，每個上述溫控吸盤61均包括吸盤本體611和設置在吸盤本體611內(nèi)的加熱裝置612，上述加熱裝置612安裝在吸盤本體611內(nèi)，上述吸盤本體611內(nèi)具有獨立的冷卻氣流流動風腔和抽真空腔；上述吸盤本體611上設有分別連通冷卻氣流流動風腔的進風口和出風口，上述進風口處連通設有第一氣管接頭6111，上述機箱12內(nèi)具有風冷系統(tǒng)，上述風冷系統(tǒng)連通上述第一氣管接頭6111；上述吸盤本體611上設有連通上述抽真空腔的抽真空口，上述抽真空口處連通設有第二氣管接頭6112，上述第二氣管接頭6112連接上述抽真空系統(tǒng)；上述吸盤本體611上端端面設為吸附面，上述吸附面上開有多個均勻布置并連通抽真空腔的吸附孔6113，上述吸附孔6113均與上述抽真空腔氣流連通，溫控吸盤61結構簡單，使用方便，生產(chǎn)過程中，可通過加熱裝置612對溫控吸盤61進行加熱，還可通過風冷系統(tǒng)對冷卻氣流流動風腔導入冷風對整個溫控吸盤61進行降溫處理，確保對電池片在激光加工前進行預加熱和激光加工過程中恒溫處理。

上述加熱裝置612為加熱棒。

在一些實施例中，如圖1所示，還包括設置在機箱12內(nèi)的水冷循環(huán)系統(tǒng)，上述安裝板32內(nèi)具有水冷循環(huán)腔，上述安裝板32上具有分別連通水冷循環(huán)腔的進水接頭321和出水接頭322，上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸入端和輸出端分別通過管路連接出水接頭322和進水接頭321，因溫控吸盤61在加熱過程中，會輻射熱量到周圍環(huán)境中，因此，通過水冷循環(huán)系統(tǒng)對安裝板32進行循環(huán)冷卻，可避免高溫對管線路和電機的損傷。

優(yōu)選的，上述第一旋轉驅(qū)動裝置21和第二旋轉驅(qū)動裝置31均為DD馬達，其中部均同軸設有上下貫穿其的通孔，通孔處可穿過管路進行相關管路布置，避免管路布置時錯綜復雜影響正常使用。

優(yōu)選的，如圖3所示，兩組上述溫控吸盤模組6之間設有由上向下依次穿過安裝板32、第二旋轉驅(qū)動裝置31中部通孔以及加工臺面1的分路器7，上述分路器7內(nèi)具有相互獨立的真空吸腔、進水腔、出水腔和風冷腔，上述分路器7上、下端分別設置有與上述真空吸腔、進水腔、出水腔和風冷腔對應連通的接頭，每個上述第二氣管接頭6112均通過管路連接上述分路器7上端對應真空吸腔的接頭，每個上述第一氣管接頭6111均通過管路連接上述分路器7上端對應風冷腔的接頭，每個上述進水接頭321均通過管路連接上述分路器7上端對應進水腔的接頭，每個上述出水接頭322均通過管路連接上述分路器7上端對應出水腔的接頭，上述分路器7下端對應真空吸腔的接頭通過管路連通上述抽真空系統(tǒng)，上述分路器7下端對應風冷腔的接頭通過管路連通上述風冷系統(tǒng)，上述分路器7下端對應進水腔的接頭通過管路連通上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸出端，上述分路器7下端對應出水腔的接頭通過管路連通上述水冷循環(huán)系統(tǒng)的輸入端，通過分路器7可更好的布置與抽真空系統(tǒng)、水冷循環(huán)系統(tǒng)和風冷系統(tǒng)的管路連接，是整個設備中涉及的管路能更好的走線布置，是設備結構緊湊，外形美觀。

優(yōu)選的，如圖5所示，上述安裝板32底部對應每個上述溫控吸盤61的位置均設有與上述溫控吸盤61一一對應的盤管323，每個上述盤管323的一端分別通過管路與對應的上述第二氣管接頭6112，另一端分別通過管路連接上述分路器7上端對應真空吸腔的接頭，通過盤管323能更好的連接每個上述溫控吸盤61上第二氣管接頭6112與分路器7的連通，縮短管路的尺寸，利于整體管路的布局。

如圖6所示，上述分路器7外覆蓋設有防護罩71，通過防護罩可對分路器7進行安全防護，避免在激光加工過程中由于誤操作而損壞分路器7的狀況發(fā)生。

優(yōu)選的，每個上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24均通過穿過第一旋轉驅(qū)動裝置21中部通孔的管路與上述抽真空系統(tǒng)連接，確保上料吸盤23和冷卻下料吸盤24與抽真空系統(tǒng)之間連接的管路能部分隱藏在第一旋轉驅(qū)動裝置21中，使得管路不影響上料吸盤23和冷卻下料吸盤24的取、放片動作。

優(yōu)選的，如圖7所示，上述電池片傳送模組4包括呈直線分布的上料傳送模組41、至少兩個緩存?zhèn)魉湍＝M42和下料傳送模組43，至少兩個上述緩存?zhèn)魉湍＝M42依次順序設置在上料傳送模組41和下料傳送模組43之間，并分別與上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24一一對應，上述機械旋轉臂總成2轉動過程中，上述上料吸盤23和冷卻下料吸盤24可分別轉動至對應的上述緩存?zhèn)魉湍＝M42上方，并確保每個緩存?zhèn)魉湍＝M42緩存一張電池片，取片時，上料吸盤23在對應的緩存?zhèn)魉湍＝M42上進行取片，取片完畢后機械臂22旋轉180°在對應的一組上述溫控吸盤模組6上進行放片，當加工完畢后，冷卻下料吸盤24旋轉至對應的上述溫控吸盤模組6上進行取片，并在取片過程中，冷卻下料吸盤24對加工完畢的電池片進行快速冷卻降溫處理，之后旋轉在對應的緩存?zhèn)魉湍＝M42上進行放片，最終由下料傳送模組43傳送出。

在一些實施例中，如圖8和9所示，上述冷卻下料吸盤24包括冷卻板241和分別密封固定在冷卻板241上、下端面上的冷卻密封板242和吸板243；

上述冷卻板241下端面開有凹槽2411，上述吸板243覆蓋住上述凹槽2411，上述吸板243與凹槽2411之間形成氣腔；

上述冷卻板241上設有上下貫穿其并連通上述氣腔的吸氣通道2412，上述冷卻密封板242上對應吸氣通道2412的位置設有上下貫穿其的裝配孔2421，上述冷卻板241上端面設置有冷卻液流通槽2413，上述冷卻密封板242覆蓋住上述冷卻液流通槽2413，上述冷卻密封板242上安裝有分別與上述冷卻液流通槽2413連通的進液接頭2422和出液接頭2423；

上述吸板243上設有多個均勻設置并上下貫穿其的氣孔2431，且上述氣孔2431均與氣腔連通；上述吸氣通道2412通過穿過第一旋轉驅(qū)動裝置21中部通孔的管路與抽真空系統(tǒng)連接，上述機箱12內(nèi)設有冷卻液循環(huán)供給系統(tǒng)，上述冷卻液循環(huán)供給系統(tǒng)的輸出端和輸入端分別通過穿過第一旋轉驅(qū)動裝置21中部通孔的管路與進液接頭2422和出液接頭2423連通，取片時，吸板吸附加工完畢的電池片，電池片熱量傳遞給吸板243，熱量被流經(jīng)冷卻液流通槽2413的冷卻液吸收并帶走，使得吸板243快速冷卻降溫，進而達到對電池片進行快速冷卻處理的目的。

上述吸板243及冷卻板241均采用鋁合金材料制成，其質(zhì)量輕，強度高，熱傳遞效果好。

上述激光發(fā)生器模組5包括至少兩個并列設置且與每組上述溫控吸盤模組6中溫控吸盤61一一對應的激光發(fā)生器51，加工過程中，每個激光發(fā)生器51均向下發(fā)生光束打在對應的溫控吸盤61上的電池片上進行加工。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。