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方向性可重構的微電子機械天線及其制備方法與流程

文檔序號:12130523閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明公開了一種方向性可重構的微電子機械天線及其制備方法,該微電子機械天線以砷化鎵為襯底,在襯底上設有微帶天線饋線、星型結構微帶天線輻射元、MEMS懸臂梁、懸臂梁橋墩。通過對懸臂梁同側下拉電極施加極性相同大小不同的電壓,這樣MEMS懸臂梁就會有不同程度的彎曲,從而實現對微波天線方向性的小重構;通過對懸臂梁左右兩側下拉電極施加極性相反的電壓,這樣MEMS懸臂梁兩側就會產生方向相反的彎曲,從而實現對微波天線方向性的大重構。

技術研發(fā)人員:王德波
受保護的技術使用者:南京郵電大學
文檔號碼:201611041699
技術研發(fā)日:2016.11.24
技術公布日:2017.03.22

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