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可改善電流崩塌效應的GaNHEMT的制作方法

文檔序號:12275117閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明公開一種可改善電流崩塌效應的GaN?HEMT,有溝道層(3)及勢壘層(4),在有源區(qū)內設有源電極(5)、漏電極(6)及柵電極(7),所述漏電極(6)的寬度為W,所述源電極(5)與柵電極(7)之間的間距為Ls,所述柵電極(7)與漏電極(6)之間的間距為Ld,其特征在于:在柵電極(7)與漏電極(6)之間的勢壘層(4)上設有可阻擋部分柵電極電子通過施主能級向漏電極遷移的阻擋區(qū)(9),使800V下歸一化后的動態(tài)導通電阻趨于1。

技術研發(fā)人員:王榮華
受保護的技術使用者:大連芯冠科技有限公司
文檔號碼:201610908528
技術研發(fā)日:2016.10.19
技術公布日:2017.02.22

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