技術(shù)編號:12275117
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。可改善電流崩塌效應(yīng)的GaNHEMT技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種GaNHEMT(氮化鎵高電子遷移率晶體管),尤其是一種可改善電流崩塌效應(yīng)的GaNHEMT。背景技術(shù)目前,GaNHEMT已應(yīng)用于微波通訊和電力電子轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域。現(xiàn)有的GaNHEMT的結(jié)構(gòu)是以硅、藍(lán)寶石或碳化硅為襯底,在襯底上依次有AlxGa1-xN緩沖層、GaN或InGaN溝道層及InxAlyGa1-x-yN勢壘層(可有GaN或SiN帽層覆蓋其上),在InxAlyGa1-x-yN勢壘層上的有源區(qū)內(nèi)設(shè)有源電極、柵電極及漏電極,在柵電極上表面依次有...
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