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飛秒激光刻蝕增強(qiáng)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池性能的方法與流程

文檔序號(hào):12370501閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種飛秒激光刻蝕增強(qiáng)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池性能的方法,將p?i?n結(jié)構(gòu)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池,固定于飛秒激光微納加工平臺(tái),飛秒激光脈沖經(jīng)10倍物鏡的顯微鏡系統(tǒng)垂直入射,聚焦在薄膜太陽(yáng)能電池n型非晶硅膜表面上;線偏振飛秒激光脈沖將對(duì)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池n型非晶硅膜表面上進(jìn)行絨化處理,得到高效的p?i?n結(jié)構(gòu)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池。優(yōu)點(diǎn)是:工藝簡(jiǎn)單,成本低廉,光電轉(zhuǎn)換性能提高顯著,得到的太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率達(dá)到14.9%,是未經(jīng)處理非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的2倍。

技術(shù)研發(fā)人員:邵珠峰;楊秀娟;朱革;張宇峰;曲士良
受保護(hù)的技術(shù)使用者:渤海大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610905685
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.17
技術(shù)公布日:2017.01.04

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