1.一種磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器(2)位于磁絕緣線振蕩器(1)和微波模式轉換器(3)之間,磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器(2)由氣體捕集腔(20)、吸氣劑(24)、真空閥門(25)、真空變送器(26)、襯環(huán)(27)組成:
氣體捕集腔(20)為采用不銹鋼材料制成的兩側帶有環(huán)面底的圓筒,長度為l1,外徑d1,側壁和兩個環(huán)面底的厚度均為m1;在氣體捕集腔(20)入口環(huán)面底(28)上角向均勻焊接有8個第一法蘭(21),通過第一法蘭(21)將1支真空閥門(25)、1支真空變送器(26)、6支吸氣劑(24)密封固定在入口環(huán)面底(28)上;
磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器(2)與磁絕緣線振蕩器(1)通過焊接在氣體捕集腔(20)入口環(huán)面底(28)的第二法蘭(22)進行密封連接,與微波模式轉換器(3)通過焊接在氣體捕集腔(20)出口環(huán)面底(29)的第三法蘭(23)進行密封連接;
吸氣劑(24)采用非蒸散型吸氣劑;真空閥門(25)采用真空金屬閥門,真空閥門(25)將氣體捕集腔(20)和外部真空抽氣環(huán)境相連,當吸氣劑(24)被激活后正常吸氣時,關閉真空閥門(25),實現(xiàn)氣體捕集腔(20)和外部真空抽氣環(huán)境脫離;真空變送器(26)采用冷陰極真空變送器;
氣體捕集腔(20)內部同軸嵌套有一個帶網孔的襯環(huán)(27),襯環(huán)(27)是一個圓筒,襯環(huán)(27)內直徑為d2,與磁絕緣線振蕩器(1)外筒的內直徑相同,長度為l2,氣體捕集腔(20)壁厚m2;襯環(huán)(27)上分布有n個直徑為d3的圓形通孔,當磁絕緣線振蕩器工作時,放出的氣體通過這些通孔進入氣體捕集腔(20)內,并被吸氣劑(24)吸收。
2.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述第一法蘭(21)采用通徑CF35法蘭,所述第二法蘭(22)與第三法蘭(23)均采用通徑CF200法蘭。
3.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述吸氣劑(24)采用意大利SAES公司生產的CapaciTorr D400-2型非蒸散型吸氣劑。
4.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述真空閥門(25)要求全開時有效流導不低于40L/s,全閉合時的漏率不高于1×10-9Pa.L/s。
5.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述真空變送器(26)采用的冷陰極真空變送器(26)量程范圍為10-7Pa-10-1Pa。
6.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述第一法蘭(21)與真空閥門(25)、真空變送器(26)及吸氣劑(24)的密封連接,第二法蘭(22)與磁絕緣線振蕩器(1)的密封連接,第三法蘭(23)與微波模式轉換器(3)的密封連接均采用無氧銅墊圈。
7.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于所述氣體捕集腔(20)的長度l1≥110mm,外徑d1≥350mm,氣體捕集腔(20)的壁厚m1取3-5mm。
8.如權利要求1所述的磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器,其特征在于襯環(huán)(27)的內直徑d2與磁絕緣線振蕩器(1)出口的內直徑相同,襯環(huán)(27)的長度l2=氣體捕集腔(20)的長度l1,氣體捕集腔(20)壁厚m2取3-5mm;襯環(huán)(27)上圓形通孔直徑d3的取值通過設定磁絕緣線振蕩器輸出的微波經過襯環(huán)(27)的傳輸效率大于99%得到,在保證通孔之間沒有貫通的情況下,n的取值越大越好。
9.一種采用如權利要求1所述磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器捕集磁絕緣線振蕩器放出的氣體的方法,其特征在于包括以下步驟:
第一步,初始化,令重復次數(shù)M=1;
第二步,激活吸氣劑(24):真空變送器(26)監(jiān)測氣體捕集腔(20)內的壓強,當外部真空抽氣環(huán)境使氣體捕集腔(20)內的壓強小于5×10-4Pa時,開始對吸氣劑(24)進行全部加熱激活,激活時間不超過60分鐘;
第三步,后處理:激活結束后,繼續(xù)由外部真空抽氣環(huán)境抽氣4小時,之后,關閉真空閥門(25);
第四步,啟動磁絕緣線振蕩器(1),磁絕緣線振蕩器放出氣體,氣體通過磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器(2)襯環(huán)(27)上的通孔被吸氣劑(24)吸收;
第五步,若真空變送器(26)監(jiān)測的壓強高于10-2Pa,且M小于等于20,M增1,轉第一步,使磁絕緣線振蕩器重頻運行氣體捕集器(2)重新恢復功能,若真空變送器(26)監(jiān)測的壓強高于10-2Pa且M大于20,結束。