技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種離子束照射裝置，與以往相比能夠使包含在離子束中的不需要的離子減少。該離子束照射裝置包括：離子源(2)；質(zhì)量分離器(3)，從由離子源(2)引出的離子束(IB)中挑選并導(dǎo)出確定的質(zhì)量和價(jià)數(shù)的摻雜離子；以及能量過(guò)濾器，形成離子束(IB)通過(guò)的束通過(guò)區(qū)域，并且通過(guò)被施加過(guò)濾器電壓(VF)而成為規(guī)定的過(guò)濾器電位(Vfil)，利用離子的能量差，區(qū)分通過(guò)所述束通過(guò)區(qū)域的通過(guò)離子和不通過(guò)所述束通過(guò)區(qū)域的非通過(guò)離子，以使所述通過(guò)離子中包含所述摻雜離子并且使所述非通過(guò)離子中包含在質(zhì)量分離器(3)中不能與所述摻雜離子區(qū)分的不需要的離子的至少一部分的方式設(shè)定過(guò)濾器電位(Vfil)。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋直也;藤田秀樹(shù);吉村洋祐;酒井滋樹(shù)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日新離子機(jī)器株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.21
技術(shù)公布日：2017.08.29