1.一種抗PID太陽能電池返工片的處理方法，其特征在于，包括將返工片去膜清洗、在線式鈍化爐鈍化、鍍膜、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)的步驟，所述去膜清洗包括將返工片進(jìn)行酸洗、水洗、風(fēng)干的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述去膜清洗的具體過程為：
1)將太陽能電池返工片置于氫氟酸溶液中進(jìn)行酸洗，以去除表面受損的二氧化硅薄膜；
2)將酸洗后的太陽能電池返工片用去離子水噴淋進(jìn)行水洗，以去除步驟1)酸洗后的酸殘留；
3)將經(jīng)水洗后的太陽能電池返工片用熱風(fēng)吹干。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法，其特征在于，步驟1)中，所述氫氟酸的濃度為8～12％，所述酸洗的溫度為22～28℃，所述酸洗的時(shí)間為40～80s。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法，其特征在于，步驟2)中，所述水洗的時(shí)間為10～15s，所述水洗的溫度為22～28℃，所述水洗的次數(shù)為1次。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理方法，其特征在于，所述在線式鈍化爐鈍化的過程為臭氧氧化工藝。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理方法，其特征在于，所述臭氧氧化工藝為：利用格瑞特在線式鈍化爐，把氧氣通入到臭氧發(fā)生器中產(chǎn)生臭氧，其中O2流量≥5L/min，O2通入壓強(qiáng)≥0.1MPa，臭氧濃度≥800ppm，將太陽能電池返工片置于臭氧氛圍中氧化，得到帶有二氧化硅層的太陽能電池返工片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的處理方法，其特征在于，所述鍍膜過程為：將帶有二氧化硅層的太陽能電池返工片利用管式PECVD沉積一層氮化硅薄膜，具體工藝參數(shù)為：沉積壓力為1600～1700mtorr，氨氣流量為5000～8000sccm，硅烷流量為800～1150sccm，射頻功率為5500～7500w，沉積溫度為450～500℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理方法，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷過程為：將鍍膜后的太陽能電池返工片首先進(jìn)行背銀印刷/烘干，所述烘干溫度為150～300℃；然后進(jìn)行背場印刷/烘干，所述烘干溫度為260～360℃；最后進(jìn)行正柵印刷。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的處理方法，其特征在于，所述燒結(jié)過程為：將絲網(wǎng)印刷后的太陽能電池返工片使用燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)，烘干區(qū)溫度設(shè)置如下：一區(qū)溫度為270～370℃，二區(qū)溫度為290～390℃，三區(qū)溫度為310～410℃，四區(qū)溫度為330～430℃，CAD流量為50L/min；燒結(jié)區(qū)溫度如下：一區(qū)溫度為460～560℃，二區(qū)溫度為490～590℃，三區(qū)溫度為530～630℃，四區(qū)溫度為610～710℃，五區(qū)溫度為680～780℃，六區(qū)溫度為880～980℃。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述在線式鈍化爐鈍化處理與所述鍍膜處理之間間隔時(shí)間控制在2h以內(nèi)。