1.一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，具體操作步驟如下：
(1)將刻蝕后的硅片以100-150片/疊的方式疊放整齊，放入退火用的石英片架中；
(2)用石英蓋板蓋在石英片架的硅片上并壓好硅片，將石英片架送入高溫擴散/氧化爐中；
(3)將高溫擴散/氧化爐的爐管升溫并穩(wěn)定至在650-850℃，進行退火，保溫時間10-30min，通入20000sccm的氮氣；
(4)降溫出爐：將高溫擴散/氧化爐的爐管降溫至600-700℃，保溫時間600s，出爐。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，在步驟(1)和步驟(2)中，所述的石英片架包括石英底板(1)、石英擋板(7)和若干石英細桿(3)，所述石英細桿(3)的一部分置于石英底板(1)的左右兩側邊上，所述石英細桿(3)的另一部分置于石英擋板(7)上，所述的石英擋板(7)置于石英底板(1)的前后兩側邊上。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，所述石英底板(1)的左右兩側邊上設有四根石英細桿(3)，其中石英底板(1)的左側邊上有兩根石英細桿(3)，石英底板(1)的右側邊上有兩根石英細桿(3)，石英底板(1)上左右兩側邊的石英細桿(3)左右對稱分布。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，所述石英底板(1)上左右兩側邊的兩根石英細桿(3)上端外側面上均設有小石英管(5)，所述的小石英管(5)與石英細桿(3)之間采用焊接連接。
5.根據(jù)權利要求2所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，所述石英底板(1)的形狀為正方形，所述的石英擋板(7)上設有至少一根石英細桿(3)，其中石英底板(1)上前后兩側邊的石英擋板(7)前后對稱分布。
6.根據(jù)權利要求2或3或4或5所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，所述石英底板(1)的前后兩側邊中間處均設有出片槽(6)，所述石英底板(1)的底部四周設有支撐腳(4)。
7.根據(jù)權利要求2或3或4或5所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，所述的石英底板(1)上設有若干鏤空窗(2)，所述的鏤空窗(2)均勻分布在石英底板(1)上。
8.根據(jù)權利要求2所述的一種堆疊式高溫退火工藝，其特征是，在步驟(2)中，所述的石英蓋板包括蓋板本體(8)和石英蓋頂(9)，所述蓋板本體(8)的形狀與石英底板(1)的形狀相一致，所述蓋板本體(8)的四周邊緣上設有與石英細桿(3)相對應的凹槽(10)，所述的石英蓋頂(9)置于蓋板本體(8)的中心處。