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薄膜晶體管及其制造方法、顯示面板及顯示裝置與流程

文檔序號(hào):11388188閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種薄膜晶體管及其制造方法、顯示面板及顯示裝置,所述薄膜晶體管包括依次形成于柔性襯底上的有源區(qū)、柵極絕緣層、柵極、源極、漏極、鈍化層以及平坦化層,在所述鈍化層與所述平坦化層之間形成有保護(hù)層,所述保護(hù)層位于所述有源區(qū)及所述柵極的正上方;通過保護(hù)層對(duì)薄膜晶體管垂直區(qū)域的半導(dǎo)體材料產(chǎn)生保護(hù)作用,從而降低薄膜晶體管部分材料在彎曲過程中受到的應(yīng)力,避免薄膜晶體管器件在彎曲過程中可能會(huì)造成半導(dǎo)體材料的損傷,進(jìn)而提高器件的質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員:單奇;胡坤;林立;劉嵩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.02.29
技術(shù)公布日:2017.09.05
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