技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種非晶態(tài)材料制備方法，即根據(jù)非晶態(tài)材料所需的各成分材料的分布規(guī)則，周期性的依次將各成分材料沉積在基片上以制成超晶格結(jié)構(gòu)樣品，然后對超晶格結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行低溫?zé)崽幚?，進(jìn)而制成非晶態(tài)材料。在每層成分材料沉積前，分別調(diào)節(jié)對應(yīng)沉積源的工作參數(shù)、調(diào)節(jié)對應(yīng)沉積源與基片之間的相對位置。各成分材料在基片上的單層沉積厚度分別對應(yīng)遠(yuǎn)小于各成分材料的擴(kuò)散-結(jié)晶臨界厚度。該非晶態(tài)材料制備方法能夠?qū)崿F(xiàn)不同成分材料間原子狀態(tài)下的均勻擴(kuò)散，且制備過程中要求的材料沉積方法簡單、熱處理溫度要求低。相應(yīng)的在較短時(shí)間內(nèi)，較低溫度下即能完成非晶態(tài)材料制備，降低了非晶態(tài)材料的制備成本，提高了制備效率。

技術(shù)研發(fā)人員：向勇;閆宗楷;徐子明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧波國際材料基因工程研究院有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.25
技術(shù)公布日：2017.08.01