技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種抑制在結(jié)束了給定的基板的處理之后進(jìn)行并未打算進(jìn)行的基板的處理的技術(shù)。本發(fā)明具備：基板支承部，在處理室內(nèi)對(duì)基板進(jìn)行支承；處理氣體供給部，對(duì)處理室內(nèi)供給；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在處理室內(nèi)使基板支承部在第一位置與第二位置之間移動(dòng)，第一位置被噴射從處理氣體供給部供給的處理氣體，第二位置不被噴射從處理氣體供給部供給的處理氣體。

技術(shù)研發(fā)人員：藤倉(cāng)序章;今野泰一郎;野中岳宏;沼田隆之
受保護(hù)的技術(shù)使用者：住友化學(xué)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.17
技術(shù)公布日：2017.08.01