本發(fā)明屬于微波技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器。

背景技術(shù)：

在電子回旋共振加熱系統(tǒng)中，微波達(dá)到共振層需要特定的微波極化形式以開展尋常(o)?；蚍菍こ?x)模加熱。o模及x模的比例依賴于微波極化形式和入射角度而變化，在改變等離子體運(yùn)行參數(shù)或微波入射角度的同時必須改變微波極化形式，以達(dá)到波與等離子體的高效耦合。波源回旋管輸出的微波通常為線極化波，一般在波的傳輸過程中需要利用極化器改變波的極化方式，以獲得可使波與等離子體高效耦合的橢圓極化波或圓極化波。

現(xiàn)有技術(shù)中的極化器，主要應(yīng)用于功率為500mw、脈沖寬度為1s的電子回旋非真空傳輸系統(tǒng)中，存在以下不足之處：只能手動控制極化鏡轉(zhuǎn)動，響應(yīng)速度慢、精度低，從而無法與天線實(shí)時聯(lián)動，保證波與等離子體的高效耦合；傳輸系統(tǒng)中只配置一面極化鏡，只能實(shí)現(xiàn)一定范圍內(nèi)微波極化形式的改變，無法實(shí)現(xiàn)微波極化特性的任意控制，從而導(dǎo)致波與等離子體的耦合效率降低；只能使用于非真空環(huán)境中，無法滿足現(xiàn)在電子回旋單系統(tǒng)傳輸mw量級功率的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明要提供一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器，用以解決現(xiàn)有技術(shù)無法使用在電子回旋真空傳輸系統(tǒng)中，并只能手動而導(dǎo)致定位精度不高且無法與天線自動匹配實(shí)現(xiàn)高效耦合的技術(shù)問題；本發(fā)明還用以解決真空條件下極化鏡快速轉(zhuǎn)動、旋轉(zhuǎn)角度高定位精度精確控制等技術(shù)問題，以保證真空環(huán)境下極化鏡平滑、可靠、準(zhǔn)確轉(zhuǎn)動。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器，包括微波換向彎頭，安裝基板，極化鏡，極化鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

微波換向彎頭與電子回旋傳輸系統(tǒng)相連，用于傳輸高功率微波，實(shí)現(xiàn)微波傳輸方向90度換向；

安裝基板設(shè)置在微波換向彎頭上，用于將極化鏡、極化鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置在微波換向彎頭上；

極化鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下極化鏡的轉(zhuǎn)動；

轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)對極化鏡旋轉(zhuǎn)的精確定位控制及保護(hù)。

進(jìn)一步所述微波換向彎頭為一體式換向彎頭；所述微波換向彎頭內(nèi)壁為光滑曲面。

進(jìn)一步所述微波換向彎頭硬鋁材料加工。

進(jìn)一步所述微波換向彎頭通過連接法蘭與電子回旋傳輸系統(tǒng)對接，兩者之間設(shè)置靜密封o型圈實(shí)現(xiàn)真空密封。

進(jìn)一步所述安裝基板中心開孔，安裝基板與微波換向彎頭通過螺釘連接，安裝基板與微波換向彎頭之間設(shè)置靜密封o型圈實(shí)現(xiàn)真空密封。

進(jìn)一步所述極化鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括支撐軸承、軸承座和旋轉(zhuǎn)軸；軸承座為階梯型圓筒結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)軸穿過軸承座，并在旋轉(zhuǎn)軸與軸承座上段之間設(shè)置支撐軸承，旋轉(zhuǎn)軸下段與軸承座之間設(shè)置多級動密封o型圈，軸承座下端固定在安裝基板。

進(jìn)一步所述軸承座與安裝基板通過螺釘連接，軸承座與安裝基板之間設(shè)置靜密封o型圈實(shí)現(xiàn)真空密封。

進(jìn)一步所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)平臺、聯(lián)軸器、電機(jī)、渦輪和蝸桿；電機(jī)通過聯(lián)軸器驅(qū)動蝸桿轉(zhuǎn)動，蝸桿帶動渦輪轉(zhuǎn)動，渦輪帶動旋轉(zhuǎn)平臺轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)平臺帶動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)軸帶動極化鏡轉(zhuǎn)動。

進(jìn)一步所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置、應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在電機(jī)上，保證在停電及控制故障情況下實(shí)現(xiàn)電機(jī)的應(yīng)急制動保護(hù)。

進(jìn)一步所述旋轉(zhuǎn)平臺包括上蓋板和外套筒，外套筒套在軸承座外，上端蓋中心開非圓形孔，上蓋板蓋合在外套筒上，旋轉(zhuǎn)平臺與軸承座間隙配合，旋轉(zhuǎn)平臺繞軸承座旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)軸上部與旋轉(zhuǎn)平臺上蓋板的中心非圓形孔配合。

進(jìn)一步所述極化鏡位于安裝基板與微波換向彎頭形成的空腔中，極化鏡鏡面朝向微波入口，且與微波入射方向呈45度夾角，旋轉(zhuǎn)軸為階梯圓柱結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)軸下端穿過安裝基板的中心開孔與極化鏡背面連接，安裝基板的中心開孔半徑小于極化鏡半徑。

進(jìn)一步所述極化鏡為衍射光柵極化鏡，用于反射微波，并在極化鏡旋轉(zhuǎn)時實(shí)現(xiàn)微波極化形式的改變。

進(jìn)一步所述極化鏡為矢量衍射光柵極化鏡，極化鏡鏡面加工有均勻?qū)ΨQ槽紋結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面加工的均勻?qū)ΨQ槽紋結(jié)構(gòu)為矩形槽紋結(jié)構(gòu)或非矩形槽紋結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面加工的均勻?qū)ΨQ槽紋結(jié)構(gòu)為連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面的連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)的中心位置為波谷。

進(jìn)一步所述極化鏡由無氧銅材料加工制成。

進(jìn)一步所述極化鏡表面連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)的正弦波振幅和周期依據(jù)微波的波長、微波入射角、微波反射角、極化鏡的橢圓主軸旋轉(zhuǎn)角α和極化鏡的橢圓率β角確定。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面為連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)f(x)＝dcos(2πx/p)/2，其中d表示槽紋深度，單位，mm；p表示槽紋周期，單位，mm；x表示槽紋的橫向截面方向。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面的槽紋深度取微波波長的不同倍數(shù)時，可分別改變微波的橢圓極化參數(shù)與線極化參數(shù)。

進(jìn)一步所述極化鏡鏡面的槽紋深度均選定為微波波長的0.35倍。

進(jìn)一步改變微波橢圓極化參數(shù)的極化鏡鏡面的槽紋深度為微波波長的0.3倍，改變微波線極化參數(shù)的極化鏡鏡面的槽紋深度為微波波長的0.434倍。

進(jìn)一步該極化鏡還包括轉(zhuǎn)動控制系統(tǒng)，轉(zhuǎn)動控制系統(tǒng)包括控制器和邏輯控制器，控制器實(shí)時準(zhǔn)確獲知極化器轉(zhuǎn)動方位信息；邏輯控制器對電機(jī)進(jìn)行遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置及轉(zhuǎn)動控制，并通過以太網(wǎng)與電子回旋主控系統(tǒng)通訊。

進(jìn)一步所述轉(zhuǎn)動控制系統(tǒng)用于對電機(jī)的遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置及轉(zhuǎn)動控制；電機(jī)的控制方式為脈沖控制方式控制。

進(jìn)一步所述渦輪的輸出孔內(nèi)徑為60mm。

進(jìn)一步所述靜密封o型圈為金屬密封圈結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步所述靜密封o型圈為helicoflex型金屬密封圈。

進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)軸和軸承座之間所設(shè)置多級動密封o型圈為為威爾遜動密封結(jié)構(gòu)；多級動密封o型圈之間填充黏度高，揮發(fā)性小的潤滑脂。

進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)軸和軸承座之間所設(shè)置多級動密封o型圈級數(shù)為3級或3級以上。

進(jìn)一步所述旋轉(zhuǎn)平臺分辨率小于0.1°，重復(fù)定位精度小于0.01°。

本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：

(1)本發(fā)明合理優(yōu)化設(shè)計(jì)極化鏡的槽紋結(jié)構(gòu)，以滿足任意極化的需求；

(2)本發(fā)明旋轉(zhuǎn)定位精度滿足要求，以保證微波以特定的極化形式注入等離子體；

(3)本發(fā)明作為一種高功率長脈沖毫米波傳輸部件，要求極化器所造成的微波功率損耗應(yīng)盡可能小，以保證傳輸系統(tǒng)的效率；

(4)本發(fā)明考慮到快速可控極化器將用于真空傳輸系統(tǒng)中，其真空度要求為10^-3pa，真空漏率要求為10^-9pa·m³/s；

(5)本發(fā)明能夠在控制室進(jìn)行遠(yuǎn)程精確控制，以便于工作人員在實(shí)驗(yàn)期間執(zhí)行極化器轉(zhuǎn)動動作且能夠?qū)崿F(xiàn)與天線的聯(lián)動控制；

(6)本發(fā)明的電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器適用于電子回旋mw量級真空傳輸系統(tǒng)中，能夠?qū)崿F(xiàn)對極化鏡的可靠、精確、快速的轉(zhuǎn)動控制，同時本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)微波極化形式任意改變、高定位精度、遠(yuǎn)程快速可控的極化器。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器主視圖；

圖2為本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器俯視圖；

圖3為本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器剖視圖；

圖4為本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)示意圖；

圖5為微波極化參數(shù)主軸旋轉(zhuǎn)角α以及橢圓率β的定義示意圖；

圖6為本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器的極化鏡示意圖；

圖7為本發(fā)明橢圓極化鏡理論計(jì)算與低功率實(shí)測結(jié)果對比圖；

圖8為本發(fā)明線極化鏡理論計(jì)算與低功率實(shí)測結(jié)果對比圖；

圖中：1-微波換向彎頭，2-安裝基板，3-極化鏡，4-靜密封o型圈，5-動密封o型圈，6-支撐軸承，7-軸承座，8-旋轉(zhuǎn)軸，9-旋轉(zhuǎn)平臺，10-聯(lián)軸器，11-電機(jī)，12-應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置，13-渦輪，14-蝸桿。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本發(fā)明作詳細(xì)說明。

如圖1至圖4所示，本發(fā)明一種大功率電子回旋共振加熱系統(tǒng)快速可控極化器，包括：微波換向彎頭1，安裝基板2，極化鏡3，靜密封o型圈4，動密封o型圈5，支撐軸承6，軸承座7，旋轉(zhuǎn)軸8，旋轉(zhuǎn)平臺9，聯(lián)軸器10，電機(jī)11，應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置12，13-渦輪，14-蝸桿；

微波換向彎頭1，與電子回旋傳輸系統(tǒng)相連，用于傳輸高功率微波，實(shí)現(xiàn)微 波傳輸方向90度換向；綜合考慮換向彎頭的損耗問題，所述微波換向彎頭1為一體式換向彎頭，即輸入與輸出波導(dǎo)段與彎頭加工為一個整體工件；考慮到需要高效低耗傳輸高功率長脈沖毫米波，所述微波換向彎頭1內(nèi)壁為光滑曲面；綜合考慮微波傳輸時的歐姆損耗問題，所述微波換向彎頭1采用適宜大功率微波傳輸系統(tǒng)的硬鋁材料加工；微波換向彎頭1輸入輸出端口導(dǎo)波通道通徑與傳輸系統(tǒng)導(dǎo)波部件的一致，通過連接法蘭與電子回旋傳輸系統(tǒng)導(dǎo)波部件對接，兩者之間設(shè)置靜密封o型圈實(shí)現(xiàn)真空密封；靜密封o型圈為金屬密封圈結(jié)構(gòu)，優(yōu)選helicoflex金屬密封圈；

安裝基板2中心開孔，設(shè)置在微波換向彎頭1上，安裝基板2與微波換向彎頭1通過螺釘連接，安裝基板2與微波換向彎頭1之間設(shè)置靜密封o型圈4實(shí)現(xiàn)真空密封；靜密封o型圈4為金屬密封圈結(jié)構(gòu)，優(yōu)選helicoflex金屬密封圈；安裝基板2用于將極化鏡3及其轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置在微波換向彎頭1上；

極化鏡3位于安裝基板2與微波換向彎頭1形成的空腔中，且鏡面向內(nèi)朝向空腔且與微波入射方向呈45度夾角，旋轉(zhuǎn)軸8為階梯圓柱結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)軸8下端穿過安裝基板2的中心開孔與極化鏡3背面連接，安裝基板2的中心開孔半徑小于極化鏡3半徑；

極化鏡3為衍射光柵極化鏡，用于反射微波，并在其旋轉(zhuǎn)時實(shí)現(xiàn)微波極化形式的改變；為了實(shí)現(xiàn)對微波極化參數(shù)的改變，極化鏡3為矢量衍射光柵極化鏡，極化鏡3鏡面為均勻?qū)ΨQ槽紋結(jié)構(gòu)；為了避免尖端放電，極化鏡3鏡面采用連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)；極化鏡3鏡面的連續(xù)正弦波紋結(jié)構(gòu)的中心位置為波谷；綜合考慮微波經(jīng)極化鏡3鏡面反射的歐姆損耗、熱負(fù)荷與溫升等要求，所述極 化鏡3采用無氧銅材料加工；所述極化鏡3表面波紋波導(dǎo)波紋振幅為1.08mm、周期為0.8mm；

極化鏡轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括支撐軸承6、軸承座7和旋轉(zhuǎn)軸8；用于實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下極化鏡3的轉(zhuǎn)動；軸承座7為圓筒形結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)軸8上段兩側(cè)設(shè)置支撐軸承6穿過軸承座7，旋轉(zhuǎn)軸8下段兩側(cè)與軸承座7之間設(shè)置動密封o型圈5，動密封o型圈5為威爾遜動密封結(jié)構(gòu)；軸承座7下端固定在安裝基板2；軸承座7與安裝基板2通過螺釘連接，軸承座7與安裝基板2之間設(shè)置靜密封o型圈4實(shí)現(xiàn)真空密封；

旋轉(zhuǎn)平臺9包括上蓋板和外套筒，外套筒套在軸承座7外，上端蓋中心開非圓形孔，上蓋板蓋合在外套筒上，旋轉(zhuǎn)平臺9與軸承座7間隙配合，旋轉(zhuǎn)平臺9繞軸承座7旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)軸8上部與旋轉(zhuǎn)平臺9上蓋板的中心非圓形孔配合；旋轉(zhuǎn)平臺9分辨率小于0.1°，重復(fù)定位精度小于0.01°。

轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)平臺9、聯(lián)軸器10、電機(jī)11、應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置12、渦輪13和蝸桿14；用于實(shí)現(xiàn)對極化鏡3旋轉(zhuǎn)的精確定位控制及保護(hù)；電機(jī)11通過聯(lián)軸器10驅(qū)動蝸桿14轉(zhuǎn)動，蝸桿14帶動渦輪13轉(zhuǎn)動，渦輪13帶動旋轉(zhuǎn)平臺9轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)平臺9帶動旋轉(zhuǎn)軸8轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)軸8帶動極化鏡3轉(zhuǎn)動；應(yīng)急手動調(diào)節(jié)裝置12設(shè)置在電機(jī)11上，保證在停電及控制故障情況下實(shí)現(xiàn)電機(jī)11的應(yīng)急制動；所述電機(jī)11為步進(jìn)電機(jī)，優(yōu)選42系列步進(jìn)電機(jī)。

轉(zhuǎn)動控制系統(tǒng)包括控制器和邏輯控制器，用于對電機(jī)11的遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置及轉(zhuǎn)動控制；采用脈沖控制方式控制電機(jī)11實(shí)現(xiàn)高精度轉(zhuǎn)動定位；控制器功能為實(shí)時準(zhǔn)確獲知極化器轉(zhuǎn)動方位信息；通過邏輯控制器功能為對電機(jī)進(jìn)行遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置及轉(zhuǎn)動控制，并通過以太網(wǎng)與電子回旋主控系統(tǒng)通訊，從而實(shí)現(xiàn)對極化 器的遠(yuǎn)程控制及安全互鎖。

真空環(huán)境下的電機(jī)11的驅(qū)動旋轉(zhuǎn)定位，目前主要有兩種解決途徑：一是將整個驅(qū)動、傳動、執(zhí)行機(jī)構(gòu)置于真空環(huán)境內(nèi)，這種結(jié)構(gòu)采用需要特殊定制的電機(jī)及傳動機(jī)構(gòu)，且散熱及潤滑難度極高；另一種是將驅(qū)動及傳動部分置于真空環(huán)境以外，通過傳統(tǒng)的機(jī)械動密封機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)部分和機(jī)體靜止部分的動密封，這種密封結(jié)構(gòu)體積龐大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，并且轉(zhuǎn)軸靜止時密封效果差、泄露點(diǎn)多，此外，以上兩種方案均成本昂貴，且不易于后期維護(hù)。

為了低成本地解決極化器轉(zhuǎn)動時的真空密封和精準(zhǔn)定位兩個難題，本發(fā)明實(shí)施例將驅(qū)動和傳動部分置于真空環(huán)境外，電機(jī)11作為驅(qū)動動力源且采用脈沖控制方式實(shí)現(xiàn)高精度定位，渦輪13、蝸桿14和旋轉(zhuǎn)平臺9作為傳動機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)定位的反向鎖定，解決了將所有機(jī)構(gòu)置于真空室內(nèi)而過分占用真空體積和體積過大、成本高昂的問題，并且主體機(jī)構(gòu)在真空環(huán)境外，結(jié)構(gòu)簡單、便于拆裝、維護(hù)方便；

在本實(shí)施例中，為解決普通的渦輪蝸桿減速機(jī)動定子之間無法實(shí)現(xiàn)真空密封的問題，對標(biāo)準(zhǔn)的渦輪蝸桿電動平臺進(jìn)行了修改：

1、根據(jù)極化鏡3轉(zhuǎn)軸機(jī)構(gòu)的安裝需求確定加大渦輪13的輸出孔內(nèi)徑，本實(shí)施例使渦輪13的輸出孔內(nèi)徑達(dá)到60mm，這樣解決極化鏡3安裝旋轉(zhuǎn)軸8的支撐問題，并且為密封結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)預(yù)留空間；

2、關(guān)于真空密封的實(shí)現(xiàn)，考慮真空室內(nèi)外壓差大，單級的o型圈密封難以防止泄漏，經(jīng)過反復(fù)試驗(yàn)，在旋轉(zhuǎn)軸8和軸承座7之間設(shè)置多級動密封o型圈5，動密封o型圈5之間填充專門供真空環(huán)境下使用黏度高，揮發(fā)性小的潤滑脂，保證密封的可靠性；優(yōu)選設(shè)置3級以上動密封o型圈5。

如圖5所示，微波的極化形式由橢圓主軸旋轉(zhuǎn)角α(即長軸與波的傳播方向的夾角)以及橢圓率β兩個參數(shù)決定；極化器是一種用于改變微波極化形式的微波器件；極化鏡表面波紋的振幅和周期依據(jù)微波的波長、微波入射角及反射角和極化鏡的α角和β角確定；由于電子回旋共振加熱系統(tǒng)微波的波長較短，通常采用準(zhǔn)光學(xué)方法，利用矢量衍射光柵極化器來實(shí)現(xiàn)改變微波極化形式的目的，常見的方法有模式匹配方法及矢量積分方法兩種，前者主要用于矩形槽紋光柵設(shè)計(jì)，而后者主要用于非矩形槽紋光柵設(shè)計(jì)。

考慮到電子回旋傳輸系統(tǒng)需要其功率容量達(dá)到1mw，為提高功率容量，本發(fā)明實(shí)施例在極化鏡光柵的設(shè)計(jì)過程中采用非矩形槽紋進(jìn)行設(shè)計(jì)，以避免系統(tǒng)運(yùn)行過程中光柵處出現(xiàn)電擊穿等問題。

如圖6所示，本發(fā)明所述極化鏡3為矢量衍射光柵極化鏡，采用正弦波紋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；在電子回旋傳輸系統(tǒng)中配置兩個槽紋深度為波長1/4與1/8的極化器，分別用于改變微波極化的線極化參數(shù)和橢圓極化參數(shù)，即可以實(shí)現(xiàn)極化形式的任意改變；極化器所能改變極化特性的作用效果與光柵槽紋結(jié)構(gòu)、槽紋深度及周期密切相關(guān)，本發(fā)明實(shí)施例中確定的線極化鏡波紋結(jié)構(gòu)為f(x)＝dcos(2πx/p)/2，其中d表示槽紋深度，單位mm；p表示槽紋周期，單位，mm；x表示槽紋的橫向截面方向。極化鏡3鏡面的槽紋深度為微波波長的0.35倍，本實(shí)施例選為1mm，改變微波橢圓極化參數(shù)的極化鏡3鏡面的槽紋深度為微波波長的0.3倍，本實(shí)施例選為0.86mm，改變微波線極化參數(shù)的極化鏡鏡面的槽紋深度為微波波長的0.434倍，本實(shí)施例選為1.24mm。

圖7和圖8為本發(fā)明橢圓極化鏡、線極化鏡的理論計(jì)算與低功率實(shí)測結(jié)果對比圖；上述結(jié)果通過低功率測量平臺獲得，低功率測量平臺包括波源、模式 轉(zhuǎn)換器、波紋波導(dǎo)、被測極化器及探測器，測量原理為：當(dāng)被測極化鏡3旋轉(zhuǎn)角固定時，通過旋轉(zhuǎn)探測器的接收天線，將測量得到的數(shù)據(jù)經(jīng)過處理后得到極化波的旋轉(zhuǎn)角α及橢圓角β參數(shù)，探測器測得的信號最大值處對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度為極化波的旋轉(zhuǎn)角α，檢波晶體測得的信號最大值imax和最小值imin與極化波橢圓角β的關(guān)系為圖7給出了橢圓極化器的測試結(jié)果，圖8給出了線極化器的測試結(jié)果，圖中橫坐標(biāo)表示極化器旋轉(zhuǎn)角度，縱坐標(biāo)表示極化參數(shù)α及β；測試結(jié)果表明所有性能均能夠滿足電子回旋系統(tǒng)的使用需求。