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影像感測器及其制作方法與流程

文檔序號:11586887閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種影像感測器及其制作方法,該影像感測器包括半導(dǎo)體基材、多個光電轉(zhuǎn)換元件以及介電隔離結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體基材具有后側(cè)表面以及與后側(cè)表面相對的前側(cè)表面。光電轉(zhuǎn)換元件形成于前側(cè)表面上。介電隔離結(jié)構(gòu)由前側(cè)表面延伸進(jìn)入半導(dǎo)體基材之中,并穿過后側(cè)表面,用于隔離這些光電轉(zhuǎn)換元件,且形成一個格柵狀結(jié)構(gòu)凸設(shè)于后側(cè)表面。

技術(shù)研發(fā)人員:游世仲;莊凱杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:聯(lián)華電子股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.08.06
技術(shù)公布日:2017.08.11
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