1.一種太陽(yáng)能電池的制造方法，包括：
準(zhǔn)備具有構(gòu)成受光面的第1面和與所述第1面對(duì)置的第2面的第1導(dǎo)電類(lèi)型的半導(dǎo)體基板的工序；
第1擴(kuò)散工序，在所述第1面形成第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散層；
第2工序，在形成有所述第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散層的所述半導(dǎo)體基板的所述第1面的一部分，形成包含第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散源的膜；
第3工序，在氧化氣氛中對(duì)形成有所述擴(kuò)散源的所述半導(dǎo)體基板進(jìn)行熱處理，通過(guò)來(lái)自所述擴(kuò)散源的擴(kuò)散而形成高濃度擴(kuò)散層；
在所述高濃度擴(kuò)散層上形成第1電極的工序；以及
在所述第2面形成第2電極的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，
所述第3工序包括在水蒸汽氣氛中進(jìn)行熱處理的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，
在所述第1擴(kuò)散工序之后，在所述第2工序之前，包括去除在所述第1擴(kuò)散工序中生成的氧化膜的工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，
在形成所述第1電極的工序之前，包括去除在所述第3工序中生成的熱氧化膜的工序。
5.一種太陽(yáng)能電池，具備：
第1導(dǎo)電類(lèi)型的半導(dǎo)體基板，具有構(gòu)成受光面的第1面和與所述第1面對(duì)置的第2面；
第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散層，形成于所述第1面；
高濃度擴(kuò)散層，在形成有所述第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散層的所述半導(dǎo)體基板的所述第1面的一部分形成；
第1電極，形成在所述高濃度擴(kuò)散層上；以及
第2電極，形成于所述第2面，
從所述第1面的所述高濃度擴(kuò)散層暴露的所述第2導(dǎo)電類(lèi)型的擴(kuò)散層在最表面具有雜質(zhì)濃度比內(nèi)部低的低濃度層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，
所述第1面的除了所述第1電極以外的區(qū)域被鈍化膜覆蓋。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，
所述鈍化膜是含有與所述擴(kuò)散層相同的雜質(zhì)的熱氧化膜。