濕法刻蝕機防結(jié)晶組件的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，它包括刻蝕槽體、可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述刻蝕槽體內(nèi)的一排輥軸，所述刻蝕槽體對應(yīng)的兩側(cè)設(shè)置有可開合的擋板，所述擋板上安裝有用于開合其的把手，它還包括設(shè)置于所述把手下方的浸潤槽以及與所述浸潤槽相連通且設(shè)置于所述輥軸上方的虹吸霧化噴淋器。本實用新型濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，一方面在把手下方設(shè)置浸潤槽，當(dāng)擋板向下旋轉(zhuǎn)而開啟時，其與把手一起浸泡于浸潤槽中，避免了結(jié)晶物的積留；另一方面在輥軸上方設(shè)置虹吸霧化噴淋器，并將其與浸潤槽相連通，能夠加濕整個刻蝕槽體、節(jié)約用水并延緩結(jié)晶的產(chǎn)生。
【專利說明】濕法刻蝕機防結(jié)晶組件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種防結(jié)晶組件，具體地涉及一種濕法刻蝕機防結(jié)晶組件。

【背景技術(shù)】
[0002]在部分鏈式清洗機中，由于其某段工序使用的某些化學(xué)介質(zhì)容易結(jié)晶，在這樣的環(huán)境下，為了避免化學(xué)藥水對相鄰工段的影響，一般采用隔離法阻止該工段的藥水蒸汽向兩邊擴散，即使用旋轉(zhuǎn)擋板系統(tǒng)隔離藥水蒸汽。當(dāng)產(chǎn)品需要進入工藝段時，擋板自動開啟，產(chǎn)品進入工藝段；當(dāng)產(chǎn)品完成工藝制程需要離開該工藝段時，擋板開啟，產(chǎn)品離開工藝段。在這個過程中，擋板開閉的瞬間，仍然存在不少藥水蒸汽或液態(tài)藥水被清洗產(chǎn)品帶出，因此該擋板對結(jié)晶的防止是有限的，特別是這種擋板使用一段時間以后，因結(jié)晶物在其表面大量積留，如繼續(xù)使用下去，會造成擋板卡死或損壞。目前，部分設(shè)備制造商一般是采取噴淋法對擋板進行噴淋清洗，從而達到防止結(jié)晶物在擋板表面產(chǎn)生。這種方法雖然對擋板表面的結(jié)晶物形成有一定延緩作用，但是卻浪費了大量的水，并且不能根本阻擋藥水蒸汽在其它零件上的結(jié)晶，因此，設(shè)備使用方急需有一種新型的防結(jié)晶辦法應(yīng)用在此類設(shè)備中。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而一種濕法刻蝕機防結(jié)晶組件。
[0004]為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，它包括刻蝕槽體、可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述刻蝕槽體內(nèi)的一排輥軸，所述刻蝕槽體對應(yīng)的兩側(cè)設(shè)置有可開合的擋板，所述擋板上安裝有用于開合其的把手，它還包括設(shè)置于所述把手下方的浸潤槽以及與所述浸潤槽相連通且設(shè)置于所述輥軸上方的虹吸霧化噴淋器。
[0005]優(yōu)化地，所述浸潤槽下方安裝有與其相連通的流量計和閥門。
[0006]由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:本實用新型濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，一方面在把手下方設(shè)置浸潤槽，當(dāng)擋板向下旋轉(zhuǎn)而開啟時，其與把手一起浸泡于浸潤槽中，避免了結(jié)晶物的積留；另一方面在輥軸上方設(shè)置虹吸霧化噴淋器，并將其與浸潤槽相連通，能夠加濕整個刻蝕槽體、節(jié)約用水并延緩結(jié)晶的產(chǎn)生。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]附圖1為本實用新型濕法刻蝕機防結(jié)晶組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]其中，1、刻蝕槽體；11、擋板；12、把手；2、輥軸；3、浸潤槽；4、流量計；5、閥門；6、虹吸霧化噴淋器。

【具體實施方式】
[0009]下面將結(jié)合附圖對本實用新型優(yōu)選實施方案進行詳細說明:
[0010]如圖1所示的濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，主要包括刻蝕槽體1、輥軸2、浸潤槽3以及虹吸霧化噴淋器6。
[0011]其中，輥軸2有一排，它們水平設(shè)置并且能夠在刻蝕槽體I內(nèi)轉(zhuǎn)動，從而將上面放置的玻璃片向下游工藝傳輸；這些輥軸2通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)氣缸進行連接，即它們的轉(zhuǎn)動由旋轉(zhuǎn)氣缸控制?？涛g槽體I對應(yīng)的兩側(cè)設(shè)置有擋板11，即擋板11與刻蝕槽體I的側(cè)壁相樞軸連接，該擋板11的樞軸水平設(shè)置使得擋板11能夠以該樞軸向下轉(zhuǎn)動。把手12安裝在擋板11上，用于擋板11的開合。浸潤槽3設(shè)置在把手12的下方，當(dāng)擋板11向下旋轉(zhuǎn)而開啟時，擋板11與把手12 —起浸泡于浸潤槽3中，避免了結(jié)晶物的積留。虹吸霧化噴淋器6與浸潤槽3相連通，它設(shè)置在輥軸2的上方，通過壓縮空氣的作用使從浸潤槽3中吸入的水從液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)，加濕整個空間大大延緩了結(jié)晶的產(chǎn)生。
[0012]在本實施例中，浸潤槽3下方安裝有與其相連通的流量計4和閥門5，從而可以將浸潤槽3內(nèi)積蓄的水分泵入浸潤槽3內(nèi)，實現(xiàn)對水的循環(huán)在利用。
[0013]上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，它包括刻蝕槽體〔0、可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述刻蝕槽體(I)內(nèi)的一排輥軸(2),所述刻蝕槽體(1)對應(yīng)的兩側(cè)設(shè)置有可開合的擋板(11),所述擋板(II)上安裝有用于開合其的把手(12),其特征在于:它還包括設(shè)置于所述把手(12)下方的浸潤槽(3)以及與所述浸潤槽(3)相連通且設(shè)置于所述輥軸(2)上方的虹吸霧化噴淋器(6)0
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕機防結(jié)晶組件，其特征在于:所述浸潤槽(3)下方安裝有與其相連通的流量計(4 )和閥門(5 )。
【文檔編號】H01L21/67GK204243012SQ201420847361
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月26日
【發(fā)明者】施利君, 徐鴿 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司