一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，其特征在于包括箱體、箱門和防震裝置；所述箱體安裝有單向閥門、過濾器、自動泄氣閥、壓力表以及壓力保護裝置和報警器，通過單向閥門和過濾器向箱體內(nèi)通入潔凈的壓縮干燥氣體，使箱體內(nèi)部氣壓大于外部大氣壓，以防止外部空氣進入箱體內(nèi)，從而避免了外部空氣中雜質(zhì)、顆粒對硅片的污染；所述防震裝置包括防震彈性體和防震底座，防震底座上設(shè)有固定扣，用于固定硅片，防震底座通過防震彈性體與箱體內(nèi)底部相連；該實用新型用于硅片的周轉(zhuǎn)，無需預(yù)包裝，成本低，且使得操作輕便自如。
【專利說明】一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種硅片周轉(zhuǎn)箱，特別是涉及一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片作為半導(dǎo)體材料，在光伏行業(yè)發(fā)展中占據(jù)至關(guān)重要的地位。硅片的生產(chǎn)過程需要經(jīng)過多道工序，而硅片在工序之間的周轉(zhuǎn)過程中長時間暴露在空氣中，將極大地增加其受污染的可能，粘附在硅片表面的小灰塵、毛狀物、顆粒等會對后續(xù)的工序帶來困難。目前，通常先將待周轉(zhuǎn)的硅片拿到指定區(qū)域用特定機器進行雙層塑料密封包裝，然后再用防震推車進行周轉(zhuǎn)；在周轉(zhuǎn)過程中對硅片的雙層包裝增加了生產(chǎn)工序，浪費時間且增大了生產(chǎn)成本。
[0003]如何保證硅片在工序之間進行成本低且輕便潔凈的周轉(zhuǎn)，成為了每個硅片生產(chǎn)企業(yè)需要解決的問題。現(xiàn)有技術(shù)CN201010177255.7公開了減震型硅片工序周轉(zhuǎn)手推車，仍需將待周轉(zhuǎn)的硅片進行雙層包裝后再周轉(zhuǎn)，未涉及上述問題的解決。CN201220489128.5公開了一種硅片中轉(zhuǎn)儲存車，采用水清洗的方法保持硅片在周轉(zhuǎn)過程中的潔凈，因需在中轉(zhuǎn)儲存車中存儲足量的水，增加了儲存車的重量，操作不輕便，給周轉(zhuǎn)工作增加了困難。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是為了解決硅片在工序之間進行成本低且輕便潔凈的周轉(zhuǎn)，提供了一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，包括箱體和箱門，其特征在于:所述箱門設(shè)有密封條以密封箱體，并通過扣門把手固定在箱體上；所述箱體還安裝有單向閥門、過濾器、自動泄氣閥、壓力表以及壓力保護裝置和報警器，通過單向閥門和過濾器向箱體內(nèi)通入潔凈的壓縮干燥氣體，使箱體內(nèi)部氣壓大于外部大氣壓。
[0006]對本實用新型所做的進一步改進是:所述潔凈的壓縮干燥氣體為壓縮干燥空氣或N2 ;所述周轉(zhuǎn)箱還包括防震裝置，所述防震裝置包括防震彈性體和防震底座，所述防震底座上設(shè)有固定扣，用于固定硅片，所述防震底座通過所述防震彈性體與箱體內(nèi)底部相連；所述箱體的頂部安裝有把手，底部安裝有定向輪和萬向輪。
[0007]本實用新型的有益效果:向周轉(zhuǎn)箱體內(nèi)充入潔凈的壓縮干燥氣體，維持箱體內(nèi)氣壓大于外部大氣壓，使得外部的空氣無法進入箱體內(nèi)，從而保證了放置在箱體內(nèi)的硅片的潔凈周轉(zhuǎn)；因向箱體內(nèi)通入的是氣體，重量輕，使得操作輕便；該實用新型用于硅片在工序之間的周轉(zhuǎn)，無需進行預(yù)包裝，降低了生產(chǎn)成本；安裝在周轉(zhuǎn)箱內(nèi)的防震裝置，避免了在周轉(zhuǎn)過程中因震動而引起硅片的破碎。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱的結(jié)構(gòu)圖。

【具體實施方式】
[0009]對照圖1對本實用新型作進一步說明:一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，包括箱體14、箱門I和防震裝置，所述箱門I設(shè)有密封條2以密封箱體14，并通過扣門把手13固定在箱體14上；箱體14的頂部安裝有把手4，底部安裝有定向輪10和萬向輪9 ;所述防震裝置包括防震彈性體11和防震底座12，防震底座12上設(shè)有固定扣15，用于固定硅片16，防震底座12通過防震彈性體11與箱體內(nèi)底部相連，安裝在周轉(zhuǎn)箱內(nèi)的防震裝置，避免了在周轉(zhuǎn)過程中因震動而引起硅片的破碎；箱體14還安裝有單向閥門6、過濾器5、自動泄氣閥8、壓力表3以及壓力保護裝置和報警器7。
[0010]將待周轉(zhuǎn)的硅片盒直接放進箱體內(nèi)，無需對其進行雙層包裝，然后密封箱體，通過單向閥門6和過濾器5向箱體內(nèi)通入潔凈的壓縮干燥氣體N2，使箱體內(nèi)部氣壓大于外部大氣壓，為了避免因箱體內(nèi)的氣壓過大對硅片造成損傷，安裝壓力表3以及壓力保護裝置和報警器7，壓力過高時自動泄氣閥門8打開，使箱體內(nèi)氣壓降低至設(shè)定值；當(dāng)箱體內(nèi)氣壓大于30psi時,會發(fā)出報警,停止通氣加壓；當(dāng)箱體內(nèi)的氣壓過低不能起到阻止箱體外空氣進入箱體內(nèi)作用時，也會發(fā)出報警，報警的下限為17.7psi。箱體內(nèi)部氣壓大于外部大氣壓，阻止了外部的空氣進入箱體內(nèi)，從而保證了放置在箱體內(nèi)的硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)，當(dāng)需要取出硅片時，打開扣門把手13取出硅片盒，對硅片進行下一個工藝操作即可。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，包括箱體和箱門，其特征在于:所述箱門設(shè)有密封條以密封箱體，并通過扣門把手固定在箱體上；所述箱體還安裝有單向閥門、過濾器、自動泄氣閥、壓力表以及壓力保護裝置和報警器，通過單向閥門和過濾器向箱體內(nèi)通入潔凈的壓縮干燥氣體，使箱體內(nèi)部氣壓大于外部大氣壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，其特征在于:所述潔凈的壓縮干燥氣體為壓縮干燥空氣或N2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，其特征在于:還包括防震裝置，所述防震裝置包括防震彈性體和防震底座，所述防震底座上設(shè)有固定扣，用于固定硅片，所述防震底座通過所述防震彈性體與箱體內(nèi)底部相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片的輕便潔凈周轉(zhuǎn)箱，其特征在于:所述箱體的頂部安裝有把手，底部安裝有定向輪和萬向輪。
【文檔編號】H01L31/18GK204011459SQ201420376253
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月9日
【發(fā)明者】林清華, 黃金順 申請人:無錫易比達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司