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硅片插片的制造方法

文檔序號:7073557閱讀:405來源:國知局
硅片插片的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種硅片插片機,包括載片裝置及輔助工裝,所述載片裝置設(shè)有多個可以移動的用以放置硅片的托盤,所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺,所述硅片插片機還包括工裝板,所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺相貼合的校準平面。利用工裝板來實現(xiàn)校準對齊,當(dāng)工裝板同時與滑動臺及托盤水平貼合時,即保證滑動臺已經(jīng)與載片裝置對齊,這種方式較經(jīng)驗?zāi)繙y的校準對齊方式,極大提高了校準對齊的效率及準確度。
【專利說明】硅片插片機

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池片的制備領(lǐng)域,特別是涉及一種硅片插片機。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片生產(chǎn)過程中,在硅片清洗環(huán)節(jié)需要使用到硅片插片機。硅片插片機在使用時,工人利用輔助工裝將硅片插入到放置在載片裝置上的硅片盒中。硅片盒設(shè)有多個容納硅片的插槽。為了保證硅片能夠準確插入到硅片盒上的插槽中,在插入硅片前,需要將輔助工裝與載片裝置進行對齊校準。傳統(tǒng)的校準方法,大多是由工人憑借經(jīng)驗進行目測對齊,然后調(diào)整輔助工裝及載片裝置,但這種方式調(diào)整工裝時誤差較大,控制精度低,易形成卡片現(xiàn)象。
實用新型內(nèi)容
[0003]基于此,有必要提供一種能實現(xiàn)輔助工裝與載片裝置快速準確對齊校準的硅片插片機。
[0004]一種硅片插片機,包括載片裝置及輔助工裝,所述載片裝置設(shè)有多個可以移動的用以放置硅片的托盤,所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺,所述硅片插片機還包括工裝板,所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺相貼合的校準平面。
[0005]在其中一個實施例中,所述輔助工裝還包括支撐所述滑片臺的支撐裝置,所述支撐裝置包括支座、可轉(zhuǎn)動地安裝在所述支座上的支軸,所述滑片臺可移動地安裝在所述支軸上,所述支撐通過螺絲限制轉(zhuǎn)動。
[0006]在其中一個實施例中,所述工裝板包括寬度相對窄的第一部分和寬度相對寬的第二部分,所述滑片臺的表面間隔設(shè)置有一對擋板,所述一對擋板之間的間隔與所述第一部分的寬度匹配,所述第二部分的寬度與所述托盤的寬度匹配。
[0007]在其中一個實施例中,所述一對擋板之間的間隔為156.3mm,所述第一部分的寬度為 156.2mm。
[0008]在其中一個實施例中,所述工裝板的厚度為10mm。
[0009]在其中一個實施例中,所述載片裝置還包括固定架,所述多個托盤在所述固定架上沿垂直方向依次設(shè)置。
[0010]在其中一個實施例中,所述多個托盤等間距排列。
[0011]上述硅片插片機,設(shè)置有能同時與輔助工裝的滑動臺及載片裝置的托盤相貼合的工裝板,因此可以利用工裝板來實現(xiàn)校準對齊,當(dāng)工裝板同時與滑動臺及托盤水平貼合時,即保證滑動臺已經(jīng)與載片裝置對齊,這種方式較經(jīng)驗?zāi)繙y的校準對齊方式,極大提高了校準對齊的效率及準確度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為載片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0013]圖2為載片裝置的托盤傾斜時的示意圖;
[0014]圖3為托盤與輔助工裝的相對位置的示意圖;
[0015]圖4為工裝板的示意圖。

【具體實施方式】
[0016]為了便于理解本實用新型,下面將參照相關(guān)附圖對本實用新型進行更全面的描述。附圖中給出了本實用新型的較佳的實施例。但是,本實用新型可以以許多不同的形式來實現(xiàn),并不限于本文所描述的實施例。相反地,提供這些實施例的目的是使對本實用新型的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0017]需要說明的是,當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個元件,它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個元件被認為是“連接”另一個元件,它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。相反,當(dāng)元件被稱作“直接在”另一元件“上”時,則不存在中間元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。
[0018]除非另有定義,本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的,不是旨在于限制本實用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。
[0019]下面結(jié)合附圖,說明硅片插片機的較佳實施方式。
[0020]請參考圖1至圖4,本實用新型提供一種硅片插片機100,用于供操作者使用,以將硅片插入到硅片盒上的插槽中,以進行后續(xù)的清洗工序。
[0021]硅片插片機100包括載片裝置110及輔助工裝120。載片裝置110用以承載硅片盒,其包括固定架112、可移動地設(shè)置在固定架112上的多個托盤114。托盤114可通過升降機構(gòu)(未圖示)控制升降,用以放置硅片。多個托盤114在固定架112上沿垂直方向依次設(shè)置,多個托盤114等間距排列。
[0022]輔助工裝120用以供操作者將硅片插入到放置在托盤114上的硅片盒中。輔助工裝120包括支撐裝置122,及位置可調(diào)地安裝在支撐裝置122上的滑片臺124。支撐裝置122包括支座1222、可轉(zhuǎn)動地安裝在支座1222上的支軸1224。支軸1224通過螺絲1226來限制轉(zhuǎn)動?;_124可移動地安裝在支軸1224上。這樣,滑片臺124的左右位置及傾斜角度可以進行調(diào)整。
[0023]插片時,操作者利用滑片臺124將硅片插入到硅片盒中。因此,需要保證滑片臺124與硅片插11片機100有準確的校準對齊,這種校準對齊包括垂直上的高度對齊、水平上的左右對齊以及角度的校準對齊。
[0024]傳統(tǒng)的校準對齊方式,主要靠操作者憑經(jīng)驗調(diào)整固定架112及滑片臺124的位置,校準對齊的效率比較低。而如果校準不到位,發(fā)生如圖2所示的傾斜狀況,則會造成硅片的卡片的現(xiàn)象,將造成較大的生產(chǎn)損失。為此,本實用新型的輔助工裝還包括工裝板126。操作者可以利用工裝板126來實現(xiàn)滑片臺124與托盤114的高效校準對齊。
[0025]滑片臺124的表面上間隔設(shè)置有一對擋板1242,能夠引導(dǎo)硅片插入到硅片盒中。工裝板126包括寬度相對窄的第一部分1262和寬度相對寬的第二部分1264。第一部分1262的寬度與一對擋板1242之間的間隔匹配。第二部分1264的寬度與托盤114的寬度匹配。本實用新型中一對擋板之間的間隔為156.3mm,以適應(yīng)硅片的插入,而第一部分1262的寬度為156.2mm。工裝板126的厚度一般為10mm,其具有能與托盤114及滑片臺124同時相貼合的校準平面1266,圖4中工裝板126背對圖面的表面為校準平面1266。
[0026]請參考圖3及圖4,需要將滑片臺124與托盤114對齊時,將工裝板126的第一部分1262放置在滑片臺124上或?qū)⒌诙糠?264放置在托盤114上。然后調(diào)整滑片臺124在水平上的位置及傾斜的角度,及調(diào)整固定架112的位置。當(dāng)校準平面1266同時與滑片臺124的表面及托盤114的表面相貼合時,即代表對齊到位,此時將滑片臺124及固定架112定位即可。
[0027]本實用新型的硅片插片機100,輔助工裝120增設(shè)了可與滑片臺124及托盤114匹配的工裝板126,能一次性實現(xiàn)水平、垂直度等的調(diào)整,不需要分步驟進行,因此可以實現(xiàn)滑片臺124與托盤114的快速對齊。
[0028]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細,但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此,本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片插片機,包括載片裝置及輔助工裝,所述載片裝置設(shè)有多個可以移動的用以放置硅片的托盤,所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺,其特征在于,所述硅片插片機還包括工裝板,所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺相貼合的校準平面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機,其特征在于,所述輔助工裝還包括支撐所述滑片臺的支撐裝置,所述支撐裝置包括支座、可轉(zhuǎn)動地安裝在所述支座上的支軸,所述滑片臺可移動地安裝在所述支軸上,所述支撐通過螺絲限制轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機,其特征在于,所述工裝板包括寬度相對窄的第一部分和寬度相對寬的第二部分,所述滑片臺的表面間隔設(shè)置有一對擋板,所述一對擋板之間的間隔與所述第一部分的寬度匹配,所述第二部分的寬度與所述托盤的寬度匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片插片機,其特征在于,所述一對擋板之間的間隔為156.3mm,所述第一部分的寬度為156.2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機,所述工裝板的厚度為10_。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機,其特征在于,所述載片裝置還包括固定架,所述多個托盤在所述固定架上沿垂直方向依次設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片插片機,其特征在于,所述多個托盤等間距排列。
【文檔編號】H01L31/18GK203859135SQ201420175095
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月11日
【發(fā)明者】劉小濤, 周宏震, 胡澤其 申請人:揚州協(xié)鑫光伏科技有限公司
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