一種圓片清洗機、噴嘴及其噴嘴移動方法、圓片移動方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種圓片清洗機及其噴頭、控制噴頭移動或圓片移動的方法，所述噴頭包括套于其外可旋轉(zhuǎn)的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，水流大小控制閥門3，水流大小控制閥門3通往水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2一側(cè)設置有水流扁平通道5，清洗液經(jīng)過閥門芯3調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道5。本發(fā)明的技術(shù)方案中還包括根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度x移動噴嘴或圓片。本發(fā)明的圓片清洗機可以用于清洗不同尺寸的圓片而無需更換噴嘴；通過圓片旋轉(zhuǎn)速度以及噴嘴出水寬度來控制圓片或者清洗手臂的移動速度，能夠在充分清洗圓片的同時不降低機器的產(chǎn)能和效率。
【專利說明】一種圓片清洗機、噴嘴及其噴嘴移動方法、圓片移動方法

【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及圓片清洗機中中噴嘴移動方法、圓片移動方法及噴嘴，屬于集成電路封裝【技術(shù)領域】。

【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是娃半導體集成電路制作所用的娃晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。制造半導體器件時，通常是在一個公共半導體圓片上形成多個芯片，這要經(jīng)過多道處理工序，包括腐蝕、涂敷、摻雜、鍍敷等工序，直到最后形成多層結(jié)構(gòu)為止。
[0003]隨著半導體工藝技術(shù)向精細化方向邁進，大規(guī)模集成電路(LSI)封裝過程中，輕微的污染(例如微粒、金屬和有機物等)將影響大規(guī)模集成電路的良率和可靠性，導致LSI電路產(chǎn)品的良率、穩(wěn)定性下降。因此，在每一工藝流程環(huán)節(jié)里多要清除掉附著在硅圓片上的污染物，防止污染擴散到下一工藝。晶圓清洗對半導體工業(yè)的重要性早在50年代初即已引起人們的高度重視，這是由于晶圓表面的污染物會嚴重影響器件的性能、可靠性和產(chǎn)品良率。隨著集成電路的發(fā)展，電路的密集度日益提高、微結(jié)構(gòu)的尺寸日益微化，污染物對器件的影響也愈加突出，以致于潔凈表面的制備技術(shù)已成為制作各種集成電路的關鍵技術(shù)。晶圓表面的污染物通常以原子、離子、分子、粒子或膜的形式以化學或物理吸附的方式存在晶圓表面或晶圓自身的氧化膜中。晶圓清洗要求既能去除各類雜質(zhì)又不損壞晶圓。清洗可分為物理清洗和化學清洗，化學清洗又包括水溶液清洗和氣相清洗等。由于有較多的方案可供選用，價廉而安全，對雜質(zhì)和基體選擇性好，可將雜質(zhì)清洗至非常低的水平等諸多優(yōu)勢，水溶液清洗在清洗技術(shù)中一直占據(jù)主導地位。
[0004]晶圓清洗技術(shù)的研究和改進近年來被眾多半導體設備生產(chǎn)制造廠商所關注。部分企業(yè)對上述清洗裝置進行了改進，但都致力于提高清洗的質(zhì)量。例如，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司對上述裝置進行了改進，其在申請?zhí)枮镃N03279085.6的中國實用新型專利公開了一種晶圓清洗液水柱位置監(jiān)控裝置，用于晶圓清洗液水柱位置檢測，其包含光學信號發(fā)射裝置，具有光學信號發(fā)射源，該光學信號發(fā)射裝置設于一晶圓清洗承載臺的第一側(cè)邊，且該光學信號發(fā)射源中心正對該晶圓清洗承載臺的旋轉(zhuǎn)中心；光學信號接收裝置，設于一晶圓清洗承載臺第一側(cè)邊的對面?zhèn)冗?，具有接收該光學信號發(fā)射源射出的光學信號能力；及信號處理裝置，與該光學信號接收裝置相連接，可判定該光學信號接收裝置的接收狀況；其中該光學信號接收裝置在該光學信號穿越清洗液水柱時接收到較微弱的光學信號；由晶圓清洗液水柱位置檢測裝置檢測該清洗液水柱位置的信號來達成告知晶圓清洗系統(tǒng)的操作人員，以做出適當處理。
[0005]然而，除了清洗質(zhì)量外，圓片清洗機的清洗效率同樣重要。在圓片清洗機的配方設定中，除了水柱的壓力與流量之外，圓片的轉(zhuǎn)速與噴水手臂(噴嘴)移動速度的相互搭配也是影響清洗效果以及機臺產(chǎn)能的重要因素。例如，假設在噴水手臂固定不動的情況下，圓片轉(zhuǎn)動一圈，則在水柱的輻射范圍圓片就會被清洗一遍；而當噴水手臂開始移動時，如果其移動速度過快，則可能圓片還未轉(zhuǎn)動一圈噴水手臂就已經(jīng)移走了，這樣會造成清洗的盲區(qū)、降低清洗的效果；而噴水手臂移動速度設定的很過，雖然清洗效果可以保證，但會造成清洗液的浪費，也將降低機臺的產(chǎn)能。
[0006]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)中沒有解決圓片轉(zhuǎn)速與噴水手臂各自的速度設定應如何搭配，以及噴嘴的結(jié)構(gòu)如何合理設計，才能達到機臺產(chǎn)能與清洗效果的最佳化這一技術(shù)問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為了解決上述問題，本發(fā)明首先提供了一種圓片清洗過程中噴嘴移動的方法，包括以下步驟:
[0008]檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ；
[0009]檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ；
[0010]根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。
[0011]優(yōu)選地，根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴的步驟為:以V =[RPM.x/60].2移動噴嘴，其中V為噴水手臂的移動速度，單位為毫米/秒。
[0012]可選地，在上述方法中先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X;后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。
[0013]本發(fā)明還提供一種圓片清洗過程中圓片移動的方法，包括以下步驟:
[0014]檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ；
[0015]檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ；
[0016]根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片。
[0017]優(yōu)選地，根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片移動的步驟為:以v = [RPM.χ/60].2移動噴嘴，其中V為噴水手臂的移動速度，單位為毫米/秒。
[0018]可選地，在上述方法中，先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X;后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。
[0019]本發(fā)明還提供一種圓片清洗機用的噴頭:包括套于其外可旋轉(zhuǎn)的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，水流大小控制閥門3，水流大小控制閥門3通往水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2 —側(cè)設置有水流扁平通道5，清洗液經(jīng)過閥門芯3調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道5。
[0020]進一步，所述水流扁平通道5的橫截面呈橢圓柱形，清洗液經(jīng)過閥門芯3調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道5，其形狀有圓柱形變?yōu)闄E圓柱形，而后流至水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，通過水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2可調(diào)節(jié)水流的形狀。所述水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2和噴頭螺紋連接；水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2為一閥門，通過螺紋與噴頭連接，其內(nèi)部橫截面為橢圓形。旋轉(zhuǎn)水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)可控制出水孔的出水寬度X，經(jīng)過調(diào)節(jié)出水寬度X后的清洗液直接噴出。
[0021]另一方面，本發(fā)明還提供了一種圓片清洗機，包括上述噴頭。優(yōu)選地，還包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，噴嘴移動控制單元或圓片移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴或圓片。噴嘴或圓片的移動速度V = [RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
[0022]本發(fā)明還提供了一種圓片清洗機，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，噴嘴移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。噴嘴的移動速度V = [RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
[0023]另一方面，本發(fā)明還提供了一種圓片清洗機，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，圓片移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片。圓片的移動速度V =[RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
[0024]本發(fā)明能帶來以下有益效果:第一、當從可調(diào)噴頭噴水時，可調(diào)噴頭噴出的水形是可調(diào)的，清洗液的寬度可調(diào)，因此可以用于清洗不同尺寸的圓片而無需更換噴嘴；第二、通過圓片旋轉(zhuǎn)速度以及噴嘴出水寬度來控制圓片或者清洗手臂的移動速度，能夠在充分清洗圓片的同時不降低機器的產(chǎn)能和效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的圓片清洗機的原理；
[0026]圖2為本發(fā)明根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴或圓片的示意圖；
[0027]圖3為本發(fā)明圓片清洗機的噴頭結(jié)構(gòu)圖；
[0028]圖4為本發(fā)明中圓片清洗機中噴頭的水流扁平通道的截面圖；
[0029]圖5為本發(fā)明中圓片清洗機中噴頭的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)的截面圖；
[0030]圖6為本發(fā)明中當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)最大遮擋水流扁平通道的出水孔時的示意圖；
[0031]圖7為本發(fā)明中噴嘴移動圓片清洗機的邏輯圖；
[0032]圖8為本發(fā)明中圓片移動圓片清洗機的邏輯圖。

【具體實施方式】
[0033]下面將結(jié)合本發(fā)明中的附圖，對本發(fā)明中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0034]在本發(fā)明的第一實施方式中提供了一種圓片清洗過程中噴嘴移動的方法。該方法包括以下步驟:
[0035]檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。如圖1所示，圓片位于圓片承載臺上，圓片承載臺轉(zhuǎn)動帶動圓片同步轉(zhuǎn)動。
[0036]檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X。在另一實施方式中，上述兩個步驟的先后順序可以置換。也就是說，先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ;然后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM，即每分鐘(60秒)旋轉(zhuǎn)次數(shù)。
[0037]優(yōu)選地，在檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X步驟前還包括調(diào)整噴嘴噴水落點，使得噴水落點落于晶圓旋轉(zhuǎn)中心以提高清洗質(zhì)量。
[0038]根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。如圖2所示，設r為圓片的半徑，I為橫跨整片圓片的長度，相當于2r，則噴水手臂完成一次全距移動所需的次數(shù)為l/χ，或2r/x。圓片旋轉(zhuǎn)一圈所需時間為60/RPM(單位:秒)。
[0039]為了提高清洗機的清洗效率，圓片旋轉(zhuǎn)一圈完成一次整體清洗，這樣所需的時間是最短的，即l/χ = 1，或2r/x = I。因此，本發(fā)明提供的圓片清洗過程中噴嘴移動移動方法中，所需的清洗最短時間為t = l/χ.60/RPM。因此實施過程中，可以在噴水手臂的移動范圍覆蓋整片圓片時噴水手臂完成一次移動，圓片的每個區(qū)域都能被清洗一次。則圓片轉(zhuǎn)速與噴水手臂移動速度的關系為:
[0040]V = 1/t.2 = 2r/1.2 = 2r.RPM/60.x/2r.2 = [RPM.x/60].2
[0041]上述V為噴水手臂的移動速度，也就是噴嘴的移動速度，單位為毫米/秒。V = I/t.2，乘2是因為I為橫跨整片圓片的長度，相當于2r，也就是每圈清洗了 2次，乘2相當于速度加倍則清洗次數(shù)減半。
[0042]在示意性的實施例中，假設圓片轉(zhuǎn)速為300RPM，噴水有效寬度為0.0linch(0.254mm)，則
[0043]V = [RPM.x/60].2 = [300.0.254/60].2 = 1.27.2 = 2.54mm/sec
[0044]也就是說，為當噴水手臂移動速度超過2.54mm/sec時，圓片清洗就可能會出現(xiàn)盲區(qū)；雖然圓片清洗時，噴水手臂不會只有擺動一次，而是會來來回回擺動一段時間，但噴水手臂移動速度過快還是會降低清洗的效果，部分區(qū)域尚未被清洗到；另一方面，噴水手臂移動速度過慢會降低機器的產(chǎn)能和效率。
[0045]因為圓片移動和噴水手臂移動是相對的，圓片不移動噴水手臂移動的效果和圓片移動而噴水手臂不移動的效果一樣。因此，在本發(fā)明的第二實施方式中提供了一種圓片清洗過程中圓片移動的方法。該方法包括以下步驟:
[0046]步驟一:檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM，即每分鐘(60秒)旋轉(zhuǎn)次數(shù)。
[0047]步驟二:檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X。本領域的技術(shù)人員應當理解，上述兩個步驟的先后順序可以置換。也就是說，先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ;然后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。
[0048]步驟三:根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片。如圖2所示，設r為圓片的半徑，I為橫跨整片圓片的長度，相當于2r，則噴水手臂完成一次全距移動所需的次數(shù)為l/χ，或2r/x。本發(fā)明提供的圓片清洗過程中圓片移動移動方法中，所需的清洗最短時間為t = l/χ.60/ΚΡΜ。因此實施過程中，可以在噴水手臂的移動范圍覆蓋整片圓片時圓片完成一次移動，圓片的每個區(qū)域都能被清洗一次。則圓片轉(zhuǎn)速與噴水手臂移動速度的關系為:
[0049]V = 1/t.2 = 2r/1.2 = 2r.RPM/60.x/2r.2 = [RPM.x/60].2
[0050]上述V為圓片的移動速度，單位為毫米/秒。V = Ι/t.2，乘2是因為I為橫跨整片圓片的長度，相當于2r，也就是每圈清洗了 2次，乘2相當于速度加倍則清洗次數(shù)減半。
[0051]在示意性的實施例中，假設圓片轉(zhuǎn)速為300RPM，噴水有效寬度為0.0linch(0.254mm)，則
[0052]V = [RPM.x/60].2 = [300.0.254/60].2 = 1.27.2 = 2.54mm/sec
[0053]也就是說，為當圓片移動速度超過2.54mm/sec時，圓片清洗就可能會出現(xiàn)盲區(qū)；保持噴水手臂不動而圓片移動，當圓片移動速度過快時會降低清洗的效果，部分區(qū)域尚未被清洗到，而圓片移動速度過慢會降低機器的產(chǎn)能和效率。
[0054]在本發(fā)明的第三實施方式中，提供了一種與實施方式一、實施方式二配套使用的圓片清洗機用的可調(diào)節(jié)噴頭結(jié)構(gòu)。如圖3所示，該噴頭結(jié)構(gòu)I包括:套于其外可旋轉(zhuǎn)的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，所述水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2和噴頭I為螺紋配合。噴頭上設有水流大小控制閥門3，其與噴頭螺紋連接，包括與噴頭I連通的閥門芯3-1，旋轉(zhuǎn)螺絲3-2，通過旋轉(zhuǎn)螺絲3-2的旋動帶動閥門芯3-1往噴頭內(nèi)部的水流通道4移動而控制水流大小，水流通道4呈圓柱形。
[0055]優(yōu)選地，水流大小控制閥門3通往水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2 —側(cè)設置有水流扁平通道5，水流扁平通道5的橫截面呈橢圓柱形，如圖4所示。清洗液經(jīng)過閥門芯3調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道5，其形狀有圓柱形變?yōu)闄E圓柱形，而后流至水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，通過水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2可以調(diào)節(jié)水流的形狀。水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2為一閥門，通過螺紋與噴頭連接，可繞噴頭旋轉(zhuǎn)，其內(nèi)部橫截面為橢圓形，如圖5所示。通過旋轉(zhuǎn)水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)，可以控制出水孔的出水形狀進而控制其出水寬度X，經(jīng)過調(diào)節(jié)出水寬度X后的清洗液直接噴出。當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2未擋住水流扁平通道5的出水孔時，此時噴嘴的出水寬度最大。因為此時出水形狀為橢圓形，因此清洗液呈扁平狀噴出；此時若旋動水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，則水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2將部分遮擋水流扁平通道5，當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2部分擋住水流扁平通道5的出水孔時，噴頭噴出的清洗液趨于圓柱形，即通常所說的直線型。圖6示意了當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2最大遮擋水流扁平通道5的出水孔時的情形，此時噴嘴的出水寬度最小。
[0056]在本發(fā)明的第四實施方式中，提供了一種圓片清洗機。其包括第三實施方式所述的噴頭，該噴頭結(jié)構(gòu)I包括:套于其外可旋轉(zhuǎn)的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，所述水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2和噴頭I為螺紋配合。噴頭上設有水流大小控制閥門3，其與噴頭螺紋連接，包括與噴頭I連通的閥門芯3-1，旋轉(zhuǎn)螺絲3-2，通過旋轉(zhuǎn)螺絲3-2的旋動帶動閥門芯3-1往噴頭內(nèi)部的水流通道4移動而控制水流大小,水流通道4呈圓柱形。水流大小控制閥門3通往水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2 —側(cè)設置有水流扁平通道5，水流扁平通道5的橫截面呈橢圓柱形，清洗液經(jīng)過閥門芯3調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道5，其形狀有圓柱形變?yōu)闄E圓柱形，而后流至水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，通過水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2可以調(diào)節(jié)水流的形狀。水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2為一閥門，通過螺紋與噴嘴連接，可繞噴頭旋轉(zhuǎn)，其內(nèi)部橫截面為橢圓形。通過旋轉(zhuǎn)水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)，可以控制出水孔的出水形狀進而控制其出水寬度X，經(jīng)過調(diào)節(jié)出水寬度X后的清洗液直接噴出。當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2未擋住水流扁平通道5的出水孔時，此時噴嘴的出水寬度最大。因為此時出水形狀為橢圓形，因此清洗液呈扁平狀噴出；此時若旋動水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2，則水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2將部分遮擋水流扁平通道5，當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2部分擋住水流扁平通道5的出水孔時，噴頭噴出的清洗液趨于圓柱形，即通常所說的直線型。圖6示意了當水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)2最大遮擋水流扁平通道5的出水孔時的情形，此時噴嘴的出水寬度最小。
[0057]在本發(fā)明的第五實施方式中，提供了一種基于第四實施方式所述的圓片清洗機。如圖7所示，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，安裝在圓片承載臺上，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，噴嘴移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。優(yōu)選地，V = [RPM.x/60].2。上述V為噴水手臂，即噴嘴的移動速度，單位為毫米/秒。
[0058]在本發(fā)明的第六實施方式中，提供了一種基于第四實施方式所述的圓片清洗機。如圖8所示，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，安裝在圓片承載臺上，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，圓片移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動，圓片。優(yōu)選地，V= [RPM.χ/60].2。上述V為圓片的移動速度，單位為毫米/秒。
[0059]本發(fā)明能帶來以下有益效果:第一、當從可調(diào)噴頭噴水時，可調(diào)噴頭噴出的水形是可調(diào)的，清洗液的寬度可調(diào)，因此可以用于清洗不同尺寸的圓片而無需更換噴嘴；第二、通過圓片旋轉(zhuǎn)速度以及噴嘴出水寬度來控制圓片或者清洗手臂的移動速度，能夠在充分清洗圓片的同時不降低機器的產(chǎn)能和效率。
[0060]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種圓片清洗過程中噴嘴移動的方法，包括以下步驟: 檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM; 檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ； 根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。
2.如權(quán)利要求1所述的圓片清洗過程中噴嘴移動的方法，其特征在于:根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴的步驟為:以V = [RPM.x/60].2移動噴嘴，其中V為噴水手臂的移動速度，單位為毫米/秒。
3.如權(quán)利要求1或2所述的圓片清洗過程中噴嘴移動的方法，其特征在于:先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ;后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。
4.一種圓片清洗過程中圓片移動的方法，包括以下步驟: 檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ； 檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ； 根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片。
5.如權(quán)利要求1所述的圓片清洗過程中圓片移動的方法，其特征在于:根據(jù)圓片的轉(zhuǎn)速和噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片移動的步驟為:以V = [RPM.x/60].2移動噴嘴，其中V為噴水手臂的移動速度，單位為毫米/秒。
6.如權(quán)利要求4或5所述的圓片清洗過程中圓片移動的方法，其特征在于:先檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X ;后檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM。
7.一種圓片清洗機用的噴頭，其特征在于:包括套于其外可旋轉(zhuǎn)的水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2)，水流大小控制閥門(3)，水流大小控制閥門(3)通往水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2) —側(cè)設置有水流扁平通道(5)，清洗液經(jīng)過閥門芯(3)調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道(5)。
8.如權(quán)利要求7所述的圓片清洗機用的噴頭，其特征在于:所述水流扁平通道(5)的橫截面呈橢圓柱形，清洗液經(jīng)過閥門芯(3)調(diào)節(jié)水流大小后流入水流扁平通道(5)，其形狀有圓柱形變?yōu)闄E圓柱形，而后流至水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2)，通過水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2)可調(diào)節(jié)水流的形狀。
9.如權(quán)利要求8所述的圓片清洗機用的噴頭，其特征在于:所述水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2)和噴頭螺紋連接；水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)(2)為一閥門，通過螺紋與噴頭連接，其內(nèi)部橫截面為橢圓形。
10.如權(quán)利要求9所述的圓片清洗機用的噴頭，其特征在于:旋轉(zhuǎn)水流形狀調(diào)節(jié)環(huán)可控制出水孔的出水寬度X，經(jīng)過調(diào)節(jié)出水寬度X后的清洗液直接噴出。
11.一種圓片清洗機，其包括權(quán)利要求7-10任意一項所述的圓片清洗機用的噴頭。
12.如權(quán)利要求11所述的圓片清洗機，其特征在于，還包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM ;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，噴嘴移動控制單元或圓片移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴或圓片。
13.如權(quán)利要求12所述的圓片清洗機，其特征在于:噴嘴或圓片的移動速度V=[RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
14.一種圓片清洗機，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，噴嘴移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動噴嘴。
15.如權(quán)利要求14所述的圓片清洗機，其特征在于:噴嘴的移動速度V=[RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
16.一種圓片清洗機，其包括:圓片轉(zhuǎn)速檢測單元，用于檢測圓片的轉(zhuǎn)速RPM;噴嘴噴水寬度檢測單元，用于檢測噴嘴噴水的有效清洗寬度X，圓片移動控制單元，接收圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X，根據(jù)圓片轉(zhuǎn)速檢測單元檢測的圓片的轉(zhuǎn)速RPM和噴嘴噴水寬度檢測單元檢測的噴嘴噴水的有效清洗寬度X移動圓片。
17.如權(quán)利要求16所述的圓片清洗機，其特征在于:圓片的移動速度V=[RPM.x/60].2，單位為毫米/秒。
【文檔編號】H01L21/02GK104377153SQ201410660929
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月18日
【發(fā)明者】胡振峰 申請人:南通富士通微電子股份有限公司