用于激光器的等離子體激勵源裝置制造方法
【專利摘要】一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，涉及到等離子體激勵源裝置，由陰極基座、陰極、螺旋導(dǎo)流器、陽極組件和絕緣機(jī)架組成，陰極基座的回轉(zhuǎn)體中有冷卻回路和氣室，陰極由空心的圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陰極的圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻室，螺旋導(dǎo)流器的回轉(zhuǎn)體中有螺旋導(dǎo)流肋，螺旋導(dǎo)流肋的螺距空間構(gòu)成螺旋氣流通道，陰極連接在陰極基座的回轉(zhuǎn)體前端，螺旋導(dǎo)流器安裝在陰極基座的回轉(zhuǎn)體上，陰極的頭部從螺旋導(dǎo)流器前端的約束口中伸出；陽極組件包括陽極座和陽極，陽極安裝在陽極座的回轉(zhuǎn)體前端；陰極基座和陽極組件分別安裝在絕緣機(jī)架的兩端，陽極頭端與陰極頭端之間的空間構(gòu)成放電區(qū)。本發(fā)明在放電現(xiàn)象下產(chǎn)生強(qiáng)烈弧光和高能電子束，使激光器的功率強(qiáng)大、結(jié)構(gòu)簡單和能耗低。
【專利說明】用于激光器的等離子體激勵源裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光設(shè)備，特別是涉及到一種等離子體激勵源裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]激光是20世紀(jì)以來，繼原子能、計算機(jī)、半導(dǎo)體之后，人類的又一重大發(fā)明，被稱為“最快的刀”、“最準(zhǔn)的尺”、“最亮的光”和“奇異的激光”。激光應(yīng)用最大的領(lǐng)域為激光加工技術(shù)，激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用對金屬材料和非金屬材料進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔、微加工等。
[0003]激光器的激勵方式有光泵方式激勵、氣體放電方式激勵、高能電子束注入方式激勵、核泵浦方式激勵等。等離子體是在氣體放電現(xiàn)象下所形成的一種狀態(tài)，伴隨著放電現(xiàn)象將會產(chǎn)生強(qiáng)光和高能電子束，如作為大功率激光器的激勵源應(yīng)用，不僅能使激光器的功率強(qiáng)大，而且具有結(jié)構(gòu)簡單、能耗低的特點。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的目的是提供一種大功率激光器的激勵源裝置，應(yīng)用等離子體技術(shù)，在放電現(xiàn)象下產(chǎn)生強(qiáng)烈弧光和高能電子束，作為大功率激光器的激勵源，使激光器的功率強(qiáng)大、結(jié)構(gòu)簡單和能耗低。
[0005]本發(fā)明的用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是裝置由陰極基座(I )、陰極
(4)、螺旋導(dǎo)流器(3 )、陽極組件和絕緣機(jī)架(13 )組成，其中，陰極基座(I)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻回路和氣室(II);陰極(4)由空心的圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陰極(4)的圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻室(III);螺旋導(dǎo)流器(3)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，螺旋導(dǎo)流器(3)的回轉(zhuǎn)體中有螺旋導(dǎo)流肋(3-1)，在螺旋導(dǎo)流器(3)的前端有約束環(huán)壁(3-2)，約束環(huán)壁(3-2)為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，約束環(huán)壁(3-2 )的內(nèi)空間構(gòu)成約束口( X );陰極(4 )連接在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端，螺旋導(dǎo)流器(3)的后端安裝在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體上，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端和陰極(4)的圓棒體部位處于螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的內(nèi)環(huán)空間中，螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的螺距空間構(gòu)成螺旋氣流通道(珊)，陰極(4)的頭部從螺旋導(dǎo)流器(3)前端的約束口( X )中伸出，氣室(II)通過螺旋氣流通道(VDI)和約束口(X )連通到陰極(4)頭端外空間；陽極組件包括陽極座(6)和陽極(5)，陽極座(6)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻通道；陽極(5)由空心圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陽極(5)的空心圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻腔(V)，陽極(5)安裝在陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體前端；陰極基座(I)和陽極組件分別安裝在絕緣機(jī)架(13)的兩端，陽極(5)的頭端指向陰極(4)的頭端，陽極(5)頭端與陰極(4)頭端之間的空間構(gòu)成放電區(qū)(IV)。
[0006]本發(fā)明中，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體外壁上有安裝螺口(1-3)，螺旋導(dǎo)流器(3)的后端有螺紋槽口(3-3)，螺旋導(dǎo)流器(3)的螺紋槽口(3-3)旋合在陰極基座(I)的安裝螺口(1-3)上；陰極基座(I)呈水平設(shè)置，陽極組件呈垂直設(shè)置或傾斜設(shè)置，當(dāng)陽極組件呈傾斜設(shè)置時，傾斜角度為45° -90° ;陰極基座(I)回轉(zhuǎn)體中的冷卻回路有冷卻導(dǎo)流管(1-4)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻供水通道(IX)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管外空間構(gòu)成冷卻回水通道(I )，冷卻供水通道(IX)有冷卻水輸入接口(1-5)接入，冷卻供水通道(IX)通過陰極(4)內(nèi)的冷卻室(III)連通到冷卻回水通道(I )，冷卻回水通道(I )有冷卻水輸出接口(1-1)接出；陰極(4)的實體頭部后端有冷卻尾錐(4-3)，冷卻尾錐(4-3)伸入到冷卻室
(III)中；陰極基座(I)中的氣室(II)有保護(hù)氣輸入接口(1-2)接入；陰極(4)的實體頭部為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，陰極(4)的頭端為圓弧形結(jié)構(gòu)；陽極座(6)回轉(zhuǎn)體中的冷卻通道有冷卻導(dǎo)向管(6-2 )，冷卻導(dǎo)向管(6-2 )的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻水輸入通道(VD，冷卻導(dǎo)向管(6-2)的管外空間構(gòu)成冷卻水回流通道(VI)，冷卻水輸入通道(YD)有冷卻劑進(jìn)口(6-3)接入，冷卻水輸入通道(YD)通過陽極(5)內(nèi)的冷卻腔(V)連通到冷卻水回流通道(VI)，冷卻水回流通道(VI)有冷卻劑出口(6-1)接出；裝置中有引弧電極(11)和驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12 )，引弧電極(11)的工作電位與陰極(4)的工作電位相同，驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)為轉(zhuǎn)軸工作方式，引弧電極
(11)的尾端連接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)的轉(zhuǎn)軸上；在裝置進(jìn)行引弧時，引弧電極(11)的頭端由陽極(5)的頭端向陰極(4)的頭端活動，完成引弧后，引弧電極(11)的頭端限定在陰極(4)的頭立而。
[0007]上述的發(fā)明工作時，一路冷卻水通過冷卻水輸入接口(1-5)進(jìn)入到冷卻導(dǎo)流管(1-4)內(nèi)的冷卻供水通道(IX)中，經(jīng)冷卻導(dǎo)流管(1-4)前端的出水口對陰極(4)頭部后端的冷卻尾錐(4-3)進(jìn)行沖刷冷卻，冷卻水吸收了陰極(4)頭部的熱量后，再經(jīng)冷卻室(III)進(jìn)入到冷卻回水通道(I )，然后由冷卻水輸出接口(1-1)返回到冷卻系統(tǒng)的回路中；另一路冷卻水通過冷卻劑進(jìn)口(6-3)進(jìn)入到冷卻水輸入通道(YD)中，經(jīng)冷卻導(dǎo)向管(6-2)的出水口進(jìn)入到陽極(5)內(nèi)的冷卻腔(V)，吸收陽極(5)頭部的熱量后，進(jìn)入到冷卻水回流通道(VI)，再由冷卻劑出口(6-1)返回到冷卻系統(tǒng)的回路中；保護(hù)氣體由保護(hù)氣輸入接口(1-2)進(jìn)入到氣室(II)中，然后由螺旋氣流通道(VDI)以螺旋方式進(jìn)入到放電區(qū)(IV)，保護(hù)氣體受到螺旋導(dǎo)流器(3)前端約束口(X)的約束而掃過陰極(4)的頭端，起到對陰極(4)的保護(hù)作用；陰極基座(I)作為陰極(4)的電氣連接件，陽極座(6)作為陽極(5)的電氣連接件，在陽極(5)與陰極(4)之間施加電能，再通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)驅(qū)動引弧電極(11)的頭端靠近陽極(5)的頭端或接觸到陽極(5)的頭端，然后使引弧電極(11)的頭端離開陽極(5)的頭端而向陰極(4)的頭端接近，便在引弧電極(11)的頭端與陽極(5)的頭端之間產(chǎn)生電弧，當(dāng)引弧電極(11)的頭端與陰極(4)的頭端接近時，便在陰極(4)的頭端與陽極(5)的頭端之間形成等離子體電弧，輻射能量，產(chǎn)生強(qiáng)烈的弧光和高能電子束，作為激勵源提供給大功率激光器應(yīng)用。
[0008]上述的發(fā)明工作時，陰極(4)的頭部需承受電流沖擊及數(shù)萬度的高溫?zé)?，因此，必需對陰極的頭部采取有效的冷卻措施和氣體保護(hù)才能增加陰極的使用壽命。本發(fā)明采取在螺旋導(dǎo)流器(3)中設(shè)置螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的措施，以形成螺旋保護(hù)氣流，氣流中心不會產(chǎn)生真空或負(fù)壓，使保護(hù)氣流能全面覆蓋陰極(4)的頭端，實現(xiàn)對陰極進(jìn)行有效的氣體保護(hù)，結(jié)合冷卻保護(hù)措施，使陰極不易被燒蝕。本發(fā)明還在陰極(4)的頭部后端上設(shè)置冷卻尾錐(4-3),使冷卻導(dǎo)流管(1-4)的出水口對著冷卻尾錐(4-3)沖刷，快速把陰極(4)頭部的熱量帶走，增強(qiáng)了陰極的冷卻效果。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:應(yīng)用等離子體技術(shù)，在放電現(xiàn)象下產(chǎn)生強(qiáng)烈弧光和高能電子束，作為大功率激光器的激勵源，使激光器的功率強(qiáng)大、結(jié)構(gòu)簡單和能耗低。本發(fā)明實現(xiàn)對陰極進(jìn)行有效的氣體保護(hù)，結(jié)合冷卻保護(hù)措施，使陰極不易被燒蝕，提高生產(chǎn)效率及節(jié)約生產(chǎn)成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的用于激光器的等離子體激勵源裝置結(jié)構(gòu)圖。
[0011]圖2是圖1中的螺旋導(dǎo)流器結(jié)構(gòu)圖。
[0012]圖3是圖1的等離子體激勵源裝置放電示意圖。
[0013]圖中:1.陰極基座，1-1.冷卻水輸出接口，1-2.保護(hù)氣輸入接口，1-3.安裝螺口，1-4.冷卻導(dǎo)流管，1-5.冷卻水輸入接口，2.密封圈，3.螺旋導(dǎo)流器，3-1.螺旋導(dǎo)流肋，3-2.約束環(huán)壁，3-3.螺紋槽口，4.陰極，4-1.陰極的圓棒體，4-2.陰極的實體頭部，4-3.冷卻尾錐，5.陽極，6.陽極座，6-1.冷卻劑出口，6-2.冷卻導(dǎo)向管，6-3.冷卻劑進(jìn)口，7.陽極的連接導(dǎo)線，8.固定螺栓，9.連接板，10.引弧軌跡，11.引弧電極，12.引弧電極的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，13.絕緣機(jī)架，14.安裝板，15.緊固螺栓，16.陰極的連接電線，17.等離子體弧光，1.冷卻回水通道，I1.氣室，II1.冷卻室，IV.放電區(qū)，V.冷卻腔，V1.冷卻水回流通道，νπ.冷卻水輸入通道，VD1.螺旋氣流通道，IX.冷卻供水通道，X.約束口。
【具體實施方式】
[0014]實施例圖1所示的實施方式中，用于激光器的等離子體激勵源裝置由陰極基座
(I)、陰極(4)、螺旋導(dǎo)流器(3)、陽極組件和絕緣機(jī)架(13)組成，其中，陰極基座(I)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體外壁上有安裝螺口(1-3)，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻回路和氣室(II )，冷卻回路中有冷卻導(dǎo)流管(1-4)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻供水通道(IX)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管外空間構(gòu)成冷卻回水通道(I )，冷卻供水通道(IX)有冷卻水輸入接口(1-5)接入，冷卻供水通道(IX)通過陰極(4)內(nèi)的冷卻室(III)連通到冷卻回水通道(I )，冷卻回水通道(I )有冷卻水輸出接口(1-1)接出，氣室(II)有保護(hù)氣輸入接口(1-2)接入；陰極(4)由空心的圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陰極(4)的圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻室(III)，陰極(4)的實體頭部為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，陰極(4)的頭端為圓弧形結(jié)構(gòu)，陰極(4)的實體頭部后端有冷卻尾錐(4-3)，冷卻尾錐(4-3)伸入到冷卻室(III)中；螺旋導(dǎo)流器(3)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，螺旋導(dǎo)流器(3)的回轉(zhuǎn)體中有螺旋導(dǎo)流肋(3-1)，在螺旋導(dǎo)流器(3)的前端有約束環(huán)壁(3-2)，約束環(huán)壁(3-2)為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，約束環(huán)壁(3-2)的內(nèi)空間構(gòu)成約束口(X)，在螺旋導(dǎo)流器(3)的后端有螺紋槽口(3-3);陰極(4)連接在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端，螺旋導(dǎo)流器(3)的螺紋槽口(3-3)旋合在陰極基座(I)的安裝螺口(1-3)上，螺旋導(dǎo)流器(3)的后端安裝在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體上，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端和陰極(4)的圓棒體部位處于螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的內(nèi)環(huán)空間中，螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的螺距空間構(gòu)成螺旋氣流通道(珊)，陰極(4)的頭部從螺旋導(dǎo)流器(3)前端的約束口(X)中伸出，氣室(II)通過螺旋氣流通道(VDI)和約束口(X)連通到陰極(4)頭端外空間；陽極組件包括陽極座(6)和陽極(5)，陽極座(6)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻通道，冷卻通道中有冷卻導(dǎo)向管(6-2)，冷卻導(dǎo)向管(6-2)的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻水輸入通道(通)，冷卻導(dǎo)向管(6-2)的管外空間構(gòu)成冷卻水回流通道(VI)，冷卻水輸入通道(YD)有冷卻劑進(jìn)口(6-3)接入，冷卻水輸入通道(VD通過陽極(5)內(nèi)的冷卻腔(V )連通到冷卻水回流通道(VI)，冷卻水回流通道(VI)有冷卻劑出口(6-1)接出；陽極(5)由空心圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陽極(5)的空心圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻腔(V)，陽極(5)安裝在陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體前端；陰極基座(I)和陽極組件分別安裝在絕緣機(jī)架(13)的兩端，陰極基座(I)呈水平設(shè)置，陽極組件呈傾斜設(shè)置，傾斜角度為45°，陽極(5)的頭端指向陰極(4)的頭端，陽極(5)頭端與陰極(4)頭端之間的空間構(gòu)成放電區(qū)(IV)。本實施例的裝置中有引弧電極(11)和驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12 )，引弧電極(11)的工作電位與陰極(4 )的工作電位相同，驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12 )為轉(zhuǎn)軸工作方式，引弧電極(11)的尾端連接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)的轉(zhuǎn)軸上；在裝置進(jìn)行引弧時，引弧電極(11)的頭端由陽極(5)的頭端向陰極(4)的頭端活動，完成引弧后，引弧電極(11)的頭端限定在陰極(4)的頭端。
[0015]本實施例采取在螺旋導(dǎo)流器(3)中設(shè)置螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的措施，以形成螺旋保護(hù)氣流，氣流中心不會產(chǎn)生真空或負(fù)壓，使保護(hù)氣流能全面覆蓋陰極(4)的頭端，實現(xiàn)對陰極進(jìn)行有效的氣體保護(hù)，結(jié)合冷卻保護(hù)措施，使陰極不易被燒蝕；在陰極(4)的頭部后端上設(shè)置冷卻尾錐(4-3 )、使冷卻導(dǎo)流管(1-4)的出水口對著冷卻尾錐(4-3 )沖刷，快速把陰極(4 )頭部的熱量帶走，增強(qiáng)了陰極的冷卻效果。
[0016]上述實施例工作時，一路冷卻水通過冷卻水輸入接口(1-5)進(jìn)入到冷卻導(dǎo)流管(1-4)內(nèi)的冷卻供水通道(IX)中，經(jīng)冷卻導(dǎo)流管(1-4)前端的出水口對陰極(4)頭部后端的冷卻尾錐(4-3)進(jìn)行沖刷冷卻，冷卻水吸收了陰極(4)頭部的熱量后，再經(jīng)冷卻室(III)進(jìn)入到冷卻回水通道(I )，然后由冷卻水輸出接口(1-1)返回到冷卻系統(tǒng)的回路中；另一路冷卻水通過冷卻劑進(jìn)口(6-3)進(jìn)入到冷卻水輸入通道(YD)中，經(jīng)冷卻導(dǎo)向管(6-2)的出水口進(jìn)入到陽極(5)內(nèi)的冷卻腔(V)，吸收陽極(5)頭部的熱量后，進(jìn)入到冷卻水回流通道(VI)，再由冷卻劑出口(6-1)返回到冷卻系統(tǒng)的回路中；保護(hù)氣體由保護(hù)氣輸入接口(1-2)進(jìn)入到氣室(II)中，然后由螺旋氣流通道(VDI)以螺旋方式進(jìn)入到放電區(qū)(IV)，保護(hù)氣體受到螺旋導(dǎo)流器(3)前端約束口(X)的約束而掃過陰極(4)的頭端，起到對陰極(4)的保護(hù)作用；陰極基座(I)作為陰極(4)的電氣連接件，陽極座(6)作為陽極(5)的電氣連接件，在陽極(5)與陰極(4)之間施加電能，再通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)驅(qū)動引弧電極(11)的頭端靠近陽極(5)的頭端或接觸到陽極(5)的頭端，然后使引弧電極(11)的頭端離開陽極(5)的頭端而向陰極(4)的頭端接近，便在引弧電極(11)的頭端與陽極(5)的頭端之間產(chǎn)生電弧，當(dāng)引弧電極(11)的頭端與陰極(4)的頭端接近時，便在陰極(4)的頭端與陽極(5)的頭端之間形成等離子體電弧，輻射能量，產(chǎn)生強(qiáng)烈的弧光和高能電子束，作為激勵源提供給大功率激光器應(yīng)用。
【權(quán)利要求】
1.一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是裝置由陰極基座(I)、陰極(4)、螺旋導(dǎo)流器(3 )、陽極組件和絕緣機(jī)架(13 )組成，其中，陰極基座(I)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻回路和氣室(II);陰極(4)由空心的圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陰極(4)的圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻室(III);螺旋導(dǎo)流器(3)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，螺旋導(dǎo)流器(3)的回轉(zhuǎn)體中有螺旋導(dǎo)流肋(3-1)，在螺旋導(dǎo)流器(3)的前端有約束環(huán)壁(3-2)，約束環(huán)壁(3-2)為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，約束環(huán)壁(3-2 )的內(nèi)空間構(gòu)成約束口( X );陰極(4 )連接在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端，螺旋導(dǎo)流器(3)的后端安裝在陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體上，陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體前端和陰極(4)的圓棒體部位處于螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的內(nèi)環(huán)空間中，螺旋導(dǎo)流肋(3-1)的螺距空間構(gòu)成螺旋氣流通道(珊)，陰極(4)的頭部從螺旋導(dǎo)流器(3)前端的約束口(X)中伸出，氣室(II)通過螺旋氣流通道(VDI)和約束口(X)連通到陰極(4)頭端外空間；陽極組件包括陽極座(6)和陽極(5)，陽極座(6)為回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)，陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體中有冷卻通道；陽極(5)由空心圓棒體和實體頭部構(gòu)成，陽極(5)的空心圓棒內(nèi)空間構(gòu)成冷卻腔(V)，陽極(5)安裝在陽極座(6)的回轉(zhuǎn)體前端；陰極基座(I)和陽極組件分別安裝在絕緣機(jī)架(13)的兩端，陽極(5)的頭端指向陰極(4)的頭端，陽極(5)頭端與陰極(4)頭端之間的空間構(gòu)成放電區(qū)(IV)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極基座(I)的回轉(zhuǎn)體外壁上有安裝螺口(1-3)，螺旋導(dǎo)流器(3)的后端有螺紋槽口(3-3)，螺旋導(dǎo)流器(3 )的螺紋槽口( 3-3 )旋合在陰極基座(I)的安裝螺口( 1-3 )上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極基座(I)呈水平設(shè)置，陽極組件呈垂直設(shè)置或傾斜設(shè)置，當(dāng)陽極組件呈傾斜設(shè)置時，傾斜角度為45。-90。。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極基座(I)回轉(zhuǎn)體中的冷卻回路有冷卻導(dǎo)流管(1-4)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻供水通道(IX)，冷卻導(dǎo)流管(1-4)的管外空間構(gòu)成冷卻回水通道(I )，冷卻供水通道(IX)有冷卻水輸入接口(1-5)接入，冷卻供水通道(IX)通過陰極(4)內(nèi)的冷卻室(III)連通到冷卻回水通道(I )，冷卻回水通道(I )有冷卻水輸出接口(1-1)接出。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極(4)的實體頭部后端有冷卻尾錐(4-3)，冷卻尾錐(4-3)伸入到冷卻室(III)中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極基座(O中的氣室(II)有保護(hù)氣輸入接口(1-2)接入。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陰極(4)的實體頭部為由后向前收窄的圓錐形結(jié)構(gòu)，陰極(4)的頭端為圓弧形結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是陽極座(6)回轉(zhuǎn)體中的冷卻通道有冷卻導(dǎo)向管(6-2)，冷卻導(dǎo)向管(6-2)的管內(nèi)空間構(gòu)成冷卻水輸入通道(VD，冷卻導(dǎo)向管(6-2)的管外空間構(gòu)成冷卻水回流通道(VI)，冷卻水輸入通道(YD)有冷卻劑進(jìn)口(6-3)接入，冷卻水輸入通道(VD通過陽極(5)內(nèi)的冷卻腔(V)連通到冷卻水回流通道(VI)，冷卻水回流通道(VI)有冷卻劑出口(6-1)接出。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光器的等離子體激勵源裝置，其特征是裝置中有引弧電極(11)和驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12)，引弧電極(11)的工作電位與陰極(4)的工作電位相同，驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12 )為轉(zhuǎn)軸工作方式，引弧電極(11)的尾端連接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(12 )的轉(zhuǎn)軸上；在裝置進(jìn)行引弧時，引弧電極(11)的頭端由陽極(5)的頭端向陰極(4)的頭端活動，完成引弧后，引弧電極(11)的頭端限定在陰極(4)的頭端。
【文檔編號】H01S3/0955GK104409955SQ201410621908
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月7日
【發(fā)明者】周開根 申請人:周開根