一種鍍銀激光泵浦聚光反射腔的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及激光器【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及閃光燈泵浦的固體激光器【技術(shù)領(lǐng)域】。本發(fā)明提供一種鍍銀激光泵浦聚光反射腔的制造方法，其包含有，工序一，無(wú)煙化學(xué)鏡面拋光處理金屬聚光腔基底；工序二，基于金屬介質(zhì)增強(qiáng)型薄膜干涉理論進(jìn)行耐久性多層復(fù)合反射膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；工序三，采用濺射沉積技術(shù)進(jìn)行多層復(fù)合膜制備。本發(fā)明還提供一種激光泵浦聚腔反射腔表面多層復(fù)合膜，由基層表面、附著層、銀反射層、阻隔層和增強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。利用本發(fā)明的制作出的激光泵浦聚光反射腔可以提高激光器可靠性和輸出效率，減少維護(hù)次數(shù)和成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種鍍銀激光泵浦聚光反射腔的制造方法
[0001]

【技術(shù)領(lǐng)域】： 本發(fā)明涉及激光器【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及閃光燈泵浦的固體激光器【技術(shù)領(lǐng)域】。
[0002]

【背景技術(shù)】： 現(xiàn)有的閃光燈泵浦的激光器的聚光反射腔，內(nèi)壁通常采用：鍍金，鍍金的特點(diǎn)是反射率 高、耐久性好、但成本高昂；鍍銀，鍍銀的特點(diǎn)為反射率最高，但環(huán)境穩(wěn)定性不好，易氧化、硫 化；不銹鋼拋光，其特點(diǎn)是便宜、耐用，但反射率很低；漫反射陶瓷，其特點(diǎn)為便宜、反射率 低，不易加工成比較復(fù)雜的形狀；及其方法。綜合來(lái)說(shuō)，高性能、高效率的激光器，需要穩(wěn)定、 高反射率的泵浦聚光反射腔，只有鍍金滿足條件，但鍍金成本高昂。鍍銀的反射率是最高 的，成本也低，但是耐久性不好，在空氣和水中很容易變色。其他方法都達(dá)不到高反射率的 要求。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)制作的反射腔，對(duì)很寬范圍內(nèi)的波長(zhǎng)都有接近的反射率。要在固體激光 增益介質(zhì)內(nèi)形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，又只需要對(duì)應(yīng)于材料本身泵浦吸收帶的波長(zhǎng)。反射腔的光譜 范圍過(guò)寬，會(huì)造成多余的光譜能量進(jìn)入激光增益介質(zhì)，這部分能量不能被激活離子吸收，形 成能級(jí)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，只會(huì)沉積在增益介質(zhì)里形成廢熱，加重激光器的熱效應(yīng)。
[0004]


【發(fā)明內(nèi)容】
： 本發(fā)明的目的就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足而提供一種鍍銀激光泵浦聚光反射腔的 制造方法及由該制造方法制造出的具有波長(zhǎng)選擇性的高反射率耐久性鍍銀激光泵浦聚光 反射腔。
[0005] 為達(dá)到本發(fā)明的目的，本發(fā)明采用通過(guò)在金屬反射腔基底上，針對(duì)特定的泵浦吸 收帶波長(zhǎng)，設(shè)計(jì)具有耐久性、高反射率的反射腔多層復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，用濺射的方法制備上述多 層復(fù)合膜層，該多層復(fù)合膜由附著層、銀反射層、阻隔層和增強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。該多層復(fù) 合膜層具有如下功能：（1)有效地提高了銀層和基底以及銀層和保護(hù)膜層間的粘接強(qiáng)度； (2)有效地阻止了銀層的硫化、氧化以及與水汽的接觸，提高了銀反射層的耐久性；（3)對(duì) 特定吸收帶波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)了較高的反射率。從而達(dá)到提高由該方法制造出的激光器的可靠性， 并減少維護(hù)次數(shù)和成本的目的。
[0006]

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】： 圖1是本發(fā)明聚光反射腔體表面多層復(fù)合膜的結(jié)構(gòu)圖。
[0007] 圖2是本發(fā)明的具體實(shí)施例的閃光燈、反射腔與增益介質(zhì)的關(guān)系圖。
[0008] 圖3是本發(fā)明的具體實(shí)施例的閃光燈光譜示意圖。
[0009] 圖4是本發(fā)明的具體實(shí)施例的具有波長(zhǎng)選擇性反射腔的反射率光譜分布示意 圖。
[0010] 圖5是本發(fā)明的具體實(shí)施例的經(jīng)波長(zhǎng)選擇性反射后的閃光燈光譜。
[0011] 圖6是本發(fā)明的具體實(shí)施例的增益介質(zhì)吸收譜示意圖。
[0012]

【具體實(shí)施方式】： 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明： 圖1是本發(fā)明的聚光腔體表面多層復(fù)合膜的結(jié)構(gòu)圖。
[0013] 由圖1可知，本發(fā)明的聚光腔體表面多層復(fù)合膜由附著層、銀反射層、阻隔層和增 強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。
[0014] 本發(fā)明的多層復(fù)合膜采用通過(guò)在金屬反射器基底上，按照特定的方案，用濺射的 方法鍍制多層功能膜層，該多層功能膜層讓銀層和基底牢固結(jié)合的同時(shí)具有足夠高的反射 率。
[0015] 具體的工藝流程如下： 工序一、金屬聚光腔基底處理： 根據(jù)金屬聚光腔反射腔的形狀要求，采用合適的模具，模壓成型。一次擠壓出聚光腔毛 坯，采用無(wú)煙化學(xué)鏡面拋光技術(shù)將聚光反射腔表面拋光至鏡面水平。
[0016] 工序二、膜層設(shè)計(jì)： 基于薄膜光學(xué)基本理論，對(duì)于含金屬和介質(zhì)材料的多層膜系組 合，它的特征矩陣是一個(gè)復(fù)數(shù)矩陣，每個(gè)元素都由實(shí)部和虛部?jī)刹糠纸M 成。采用導(dǎo)納遞推來(lái)分析多層吸收膜系的特性。整個(gè)膜系特征矩陣如公式

【權(quán)利要求】
1. 一種鍍銀激光泵浦聚光反射腔的制造方法，包含有： -工序一，無(wú)煙化學(xué)鏡面拋光處理金屬聚光腔基底； -工序二，基于金屬介質(zhì)增強(qiáng)型薄膜干涉理論進(jìn)行耐久性多層復(fù)合反射膜結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)； -工序三，采用濺射沉積技術(shù)進(jìn)行多層復(fù)合膜制備。
2. -種鍍銀激光泵浦聚光反射腔表面的多層復(fù)合膜，由附著層、銀反射層、阻隔層和 增強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。
3. -種鍍銀激光泵浦聚光反射腔，其特征在于，其反射腔表面覆蓋有多層復(fù)合膜，所述 復(fù)合膜由附著層、銀反射層、阻隔層和增強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。
4. 一種具有鍍銀激光泵浦聚光反射腔的激光器，其特征在于，其反射腔表面覆蓋多 層復(fù)合膜，所述復(fù)合膜由附著層、銀反射層、阻隔層和增強(qiáng)型保護(hù)膜層組成。
【文檔編號(hào)】H01S3/08GK104269724SQ201410555483
【公開(kāi)日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年10月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月20日
【發(fā)明者】羅亦鳴 申請(qǐng)人:四川卓眾科技有限公司