柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板，屬于顯示【技術(shù)領(lǐng)域】。其中，柔性顯示基板的制作方法包括：在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸；在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，所述柔性襯底基板能夠與所述粘結(jié)層形成可逆接觸；在所述柔性襯底基板上制備顯示器件；對所述載體基板進行加熱，將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來，得到柔性顯示基板。通過本發(fā)明的技術(shù)方案，在將柔性顯示基板與載體基板分離時，不會對柔性顯示基板造成破壞。
【專利說明】柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是指一種柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板。

【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示(Flexible Display)技術(shù)在近十年有了飛速地發(fā)展，由此帶動柔性顯示器從屏幕的尺寸到顯示的質(zhì)量都取得了很大進步。柔性顯示器又稱為可卷曲顯示器，是用柔性材料制成可視柔性面板而構(gòu)成的可彎曲變形的顯示裝置。無論是瀕臨消失的CRT(Cathode Ray Tube,陰極射線管)顯示器，還是現(xiàn)今主流的LCD (Liquid CrystalDisplay，液晶顯示器)，本質(zhì)上都屬于傳統(tǒng)的剛性顯示器。與普通的剛性顯示器相比，柔性顯示器具有諸多優(yōu)點:耐沖擊，抗震能力更強；重量輕、體積小，攜帶更加方便；采用類似于報紙印刷工藝的卷帶式工藝,成本更加低廉等。
[0003]目前的幾種柔性顯示器的制造方法雖然各有特點，但也有一些相同之處，例如它們都需要在一個堅硬而平坦的載體基板上粘合一層柔性襯底基板，再在柔性襯底基板上制作電子元件完成柔性顯示基板的制作，然后再把完工的柔性顯示基板從載體基板上揭下來。目前常用的柔性顯示基板與載體基板的分離技術(shù)是采用激光剝離的方式，這種方式的缺點在于激光照射會影響柔性顯示基板的性能及顯示效果。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板，在將柔性顯示基板與載體基板分離時，不會對柔性顯示基板造成破壞。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實施例提供技術(shù)方案如下:
[0006]一方面，提供一種柔性顯示基板的制作方法，包括:
[0007]在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸；
[0008]在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，所述柔性襯底基板能夠與所述粘結(jié)層形成可逆接觸；
[0009]在所述柔性襯底基板上制備顯示器件；
[0010]對所述載體基板進行加熱，將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來，得到柔性顯示基板。
[0011]進一步地，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同。
[0012]進一步地，所述粘結(jié)層的材料為聚二甲基硅氧烷。
[0013]進一步地,所述載體基板為玻璃基板、石英基板或娃片。
[0014]進一步地，所述在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸包括:
[0015]用氧等離子體對所述載體基板表面進行處理，在所述載體基板表面形成S1-O鍵；
[0016]在處理后的載體基板表面旋涂一層聚二甲基硅氧烷，并對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化，使聚二甲基硅氧烷與載體基板表面的S1-O鍵反應(yīng)形成O-S1-O鍵，形成載體基板與聚二甲基硅氧烷之間的不可逆接觸。
[0017]進一步地，對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化包括:
[0018]在25?90度的溫度下對所述聚二甲基硅氧烷層進行固化。
[0019]進一步地，所述在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板之前還包括:
[0020]將形成有所述粘結(jié)層的載體基板放入氧等離子體環(huán)境中進行活化處理。
[0021]進一步地，所述柔性襯底基板的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜樹脂和聚酰亞胺中的一種或多種。
[0022]進一步地，所述柔性襯底基板的厚度為10微米至300微米。
[0023]進一步地，所述對所述載體基板進行加熱包括:
[0024]將所述載體基板放置在溫度為100-150度的加熱臺上。
[0025]進一步地，將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來包括:
[0026]通過機械方式將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來。
[0027]本發(fā)明實施例還提供了一種柔性顯示基板母板，包括:
[0028]載體基板；
[0029]形成在所述載體基板上的粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸；
[0030]形成在所述粘結(jié)層上的柔性襯底基板，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同；
[0031]形成在所述柔性襯底基板上的顯示器件。
[0032]進一步地，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同。
[0033]進一步地，所述粘結(jié)層的材料為聚二甲基硅氧烷。
[0034]本發(fā)明的實施例具有以下有益效果:
[0035]上述方案中，首先在載體基板上形成能夠與載體基板形成不可逆接觸的粘結(jié)層，在粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，并在柔性襯底基板上制備顯示器件，對載體基板進行加熱，根據(jù)柔性襯底基板與粘結(jié)層的接觸為可逆的這一特性，將柔性襯底基板從粘結(jié)層上剝離下來，由于粘結(jié)層與載體基板之間為不可逆接觸，柔性襯底基板與粘結(jié)層之間為可逆接觸，因此在剝離柔性襯底基板時，粘結(jié)層仍然會與載體基板牢固結(jié)合在一起，不會被同時剝離下來，不會導(dǎo)致剝離下來的柔性顯示基板上連帶有粘結(jié)層。這種剝離柔性顯示基板的方法可以簡化柔性顯示基板的制作工藝，降低柔性顯示基板的制作成本，并且不會對柔性顯示基板的性能產(chǎn)生影響，提高了柔性顯示基板的成品率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1為本發(fā)明實施例柔性顯示基板的制作方法的流程示意圖；
[0037]圖2為本發(fā)明具體實施例柔性顯示基板的制作方法的流程示意圖；
[0038]圖3為本發(fā)明具體實施例在柔性襯底基板上制備顯示器件之后的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0039]附圖標(biāo)記
[0040]I載體基板2粘結(jié)層3柔性襯底基板4顯示器件

【具體實施方式】
[0041]為使本發(fā)明的實施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0042]本發(fā)明的實施例提供一種柔性顯示基板的制作方法及柔性顯示基板母板，在將柔性顯示基板與載體基板分離時，不會對柔性顯示基板造成破壞。
[0043]本發(fā)明實施例提供了一種柔性顯示基板的制作方法，如圖1所示，本實施例包括:
[0044]步驟11:在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸；
[0045]步驟12:在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，所述柔性襯底基板能夠與所述粘結(jié)層形成可逆接觸；
[0046]步驟13:在所述柔性襯底基板上制備顯示器件；
[0047]步驟14:對所述載體基板進行加熱，并將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來，得到柔性顯示基板。
[0048]本發(fā)明的柔性顯示基板的制作方法，首先在載體基板上形成能夠與載體基板形成不可逆接觸的粘結(jié)層，在粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，并在柔性襯底基板上制備顯示器件，之后對載體基板進行加熱，根據(jù)柔性襯底基板與粘結(jié)層的接觸為可逆的這一特性，將柔性襯底基板從粘結(jié)層上剝離下來，由于粘結(jié)層與載體基板之間為不可逆接觸，柔性襯底基板與粘結(jié)層之間為可逆接觸，因此在剝離柔性襯底基板時，粘結(jié)層仍然會與載體基板牢固結(jié)合在一起，不會被同時剝離下來，不會導(dǎo)致剝離下來的柔性顯示基板上連帶有粘結(jié)層。這種剝離柔性顯示基板的方法可以簡化柔性顯示基板的制作工藝，降低柔性顯示基板的制作成本，并且不會對柔性顯示基板的性能產(chǎn)生影響，提高了柔性顯示基板的成品率。
[0049]其中，上述的柔性顯示基板可以是完整的顯示面板也可以是柔性陣列基板。
[0050]進一步地，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同，這樣可以利用熱應(yīng)力將柔性襯底基板從粘結(jié)層上剝離下來。
[0051]具體地，所述粘結(jié)層的材料可以為聚二甲基硅氧烷；所述載體基板可以為玻璃基板、石英基板或硅片。
[0052]進一步地，在所述粘結(jié)層的材料為聚二甲基硅氧烷，所述載體基板為玻璃基板、石英基板或硅片時，所述在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸包括:
[0053]用氧等離子體對所述載體基板表面進行處理，在所述載體基板表面形成S1-O鍵；
[0054]在處理后的載體基板表面旋涂一層聚二甲基硅氧烷，并對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化，使聚二甲基硅氧烷與載體基板表面的S1-O鍵反應(yīng)形成O-S1-O鍵，形成載體基板與聚二甲基硅氧烷之間的不可逆接觸。
[0055]在載體基板表面旋涂的聚二甲基硅氧烷溶液的制備過程如下:將聚二甲基硅氧烷和固化劑按質(zhì)量比10:1進行混合，使得兩者之間的混合均勻，之后將混合物放入真空環(huán)境中除氣，備用。
[0056]進一步地，對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化包括:
[0057]在25?90度的溫度下對所述聚二甲基硅氧烷層進行固化。
[0058]進一步地，所述在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板之前還包括:
[0059]將形成有所述粘結(jié)層的載體基板放入氧等離子體環(huán)境中進行活化處理，以達到清潔粘結(jié)層表面的目的，使得粘結(jié)層與柔性襯底基板之間有更好的粘附性。
[0060]進一步地，所述柔性襯底基板的材料可以為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜樹脂和聚酰亞胺中的一種或多種，所述柔性襯底基板的厚度優(yōu)選為10微米至300微米。
[0061]進一步地，所述對所述載體基板進行加熱包括:
[0062]將所述載體基板放置在溫度為100-150度的加熱臺上，具體地，可以將載體基板放置在100度左右的加熱臺上。
[0063]進一步地，所述將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來包括:
[0064]通過機械方式將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來。
[0065]下面結(jié)合附圖以及具體的實施例對本發(fā)明的柔性顯示基板的制作方法進行詳細介紹:
[0066]聚二甲基娃氧燒(PDMS)是一種高分子有機娃化合物,通常被稱為有機娃,它具有光學(xué)透明性，且在一般情況下，被認(rèn)為是惰性、無毒的。PDMS不僅能與其自身、硅、玻璃等形成不可逆接觸，也可以與自身、硅、玻璃以及氧化型多聚物等形成可逆接觸。比如用氧等離子體對玻璃表面進行處理，在玻璃表面形成S1-O鍵，之后在處理后的玻璃表面旋涂一層聚二甲基硅氧烷，并對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化，這樣能夠使聚二甲基硅氧烷與玻璃表面的S1-O鍵反應(yīng)形成O-S1-O鍵，從而形成玻璃與聚二甲基硅氧烷之間的不可逆接觸；如果不對玻璃表面進行處理，直接將聚二甲基硅氧烷形成在玻璃表面，則玻璃與聚二甲基硅氧烷之間將形成可逆接觸。
[0067]利用PDMS這一特性，本實施例采用PDMS作為載體基板與柔性襯底基板之間的粘結(jié)層。
[0068]具體地，如圖2所示，本實施例的柔性顯示基板的制作方法包括以下步驟:
[0069]步驟21:提供一載體基板1，用氧等離子體對載體基板I表面進行處理，在載體基板I表面形成S1-O鍵；
[0070]具體地，該載體基板I可以為玻璃基板、石英基板或硅片；
[0071]步驟22:在處理后的載體基板I表面旋涂一層PDMS，并對形成的PDMS層進行固化形成粘結(jié)層2，由于載體基板I表面形成有S1-O鍵，PDMS可與S1-O鍵反應(yīng)形成穩(wěn)固的O-S1-O鍵，因此在PDMS固化之后，形成的粘結(jié)層2可以與載體基板I形成永久性結(jié)合，即不可逆接觸；由于粘結(jié)層與載體基板之間為不可逆接觸，柔性襯底基板與粘結(jié)層之間為可逆接觸，因此在剝離柔性襯底基板時，粘結(jié)層仍然會與載體基板牢固結(jié)合在一起，不會被同時剝離下來，不會導(dǎo)致剝離下來的柔性顯示基板上連帶有粘結(jié)層。
[0072]具體地，可以在25?90度的溫度下對PDMS層進行固化，環(huán)境溫度越高，固化需要的時間越短，優(yōu)選地，可以在60度的溫度下對PDMS層固化兩小時；
[0073]步驟23:對形成有粘結(jié)層2的載體基板I表面進行清潔，這樣之后在粘結(jié)層2上形成柔性襯底基板3時，可以使得粘結(jié)層2與柔性襯底基板3之間有更好的粘附性；
[0074]具體地，可以將形成有粘結(jié)層2的載體基板I放入氧等離子體環(huán)境中進行活化處理以達到清潔粘結(jié)層2表面的目的；
[0075]步驟24:在粘結(jié)層2上形成柔性襯底基板3 ；
[0076]柔性襯底基板3的材料可以采用聚酰亞胺(PI)，具體地，可以在粘結(jié)層2的表面旋涂聚酰亞胺，固化之后形成柔性襯底基板3，柔性襯底基板3與粘結(jié)層2之間為可逆接觸，柔性襯底基板3的厚度可以為10微米至300微米。
[0077]如果需要形成的柔性襯底基板3的厚度比較大，可以在粘結(jié)層2上多次旋涂聚酰亞胺，以形成柔性襯底基板3，柔性襯底基板3的熱膨脹系數(shù)與粘結(jié)層2的熱膨脹系數(shù)不同；
[0078]步驟25:在柔性襯底基板上制備顯示器件4，形成如圖3所示的結(jié)構(gòu)；
[0079]步驟26:對載體基板I進行加熱，具體地，可以將經(jīng)過上述步驟25的載體基板I放置在溫度為100-150度的加熱臺上，之后將制備有顯示器件4的柔性襯底基板3從形成有粘結(jié)層2的載體基板I上剝離下來，得到柔性顯示基板。由于PDMS與PI兩者的熱膨脹系數(shù)不同，因此在加熱的條件下，很容易利用熱應(yīng)力使粘結(jié)層2和柔性襯底基板3分離。優(yōu)選采用機械方式將粘結(jié)層2和柔性襯底基板3分離，比如可以采用鑷子將柔性襯底基板3從形成有粘結(jié)層2的載體基板I上剝離下來。
[0080]本實施例首先在載體基板上形成能夠與載體基板永久結(jié)合的粘結(jié)層，在粘結(jié)層上形成柔性襯底基板,并在柔性襯底基板上制備顯示器件,之后對載體基板進行加熱,根據(jù)柔性襯底基板與粘結(jié)層的接觸為可逆的且柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同這些特性，利用熱應(yīng)力將柔性襯底基板從粘結(jié)層上分離下來，這種剝離柔性顯示基板的方法可以簡化柔性顯示基板的制作工藝，降低柔性顯示基板的制作成本，并且不會對柔性顯示基板的性能產(chǎn)生影響，提高了柔性顯示基板的成品率。
[0081]本發(fā)明實施例還提供了一種柔性顯示基板母板，如圖3所示，包括:
[0082]載體基板I ;
[0083]形成在載體基板I上的粘結(jié)層2，粘結(jié)層2能夠與載體基板I形成不可逆接觸；
[0084]形成在粘結(jié)層2上的柔性襯底基板3，柔性襯底基板3能夠與粘結(jié)層2形成可逆接觸；
[0085]形成在柔性襯底基板3上的顯示器件4。
[0086]進一步地，柔性襯底基板3的熱膨脹系數(shù)與粘結(jié)層2的熱膨脹系數(shù)不同。具體地，粘結(jié)層2的材料為聚二甲基硅氧烷。
[0087]利用本發(fā)明的柔性顯示基板母板可以制備柔性顯示基板，由于粘結(jié)層與載體基板之間為不可逆接觸，柔性襯底基板與粘結(jié)層之間為可逆接觸，因此可以比較容易將柔性襯底基板從粘結(jié)層上剝離下來，得到柔性顯示基板。這種剝離柔性顯示基板的方法可以簡化柔性顯示基板的制作工藝，降低柔性顯示基板的制作成本，并且不會對柔性顯示基板的性能產(chǎn)生影響，提高了柔性顯示基板的成品率。
[0088]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，包括: 在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸； 在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板，所述柔性襯底基板能夠與所述粘結(jié)層形成可逆接觸； 在所述柔性襯底基板上制備顯示器件； 對所述載體基板進行加熱，將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來，得到柔性顯示基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述粘結(jié)層的材料為聚二甲基硅氧烷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述載體基板為玻璃基板、石英基板或硅片。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述在載體基板上形成粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸包括: 用氧等離子體對所述載體基板表面進行處理，在所述載體基板表面形成31-0鍵； 在處理后的載體基板表面旋涂一層聚二甲基硅氧烷，并對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化，使聚二甲基硅氧烷與載體基板表面的31-0鍵反應(yīng)形成0-31-0鍵，形成載體基板與聚二甲基硅氧烷之間的不可逆接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，對形成的聚二甲基硅氧烷層進行固化包括: 在25?90度的溫度下對所述聚二甲基硅氧烷層進行固化。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述在所述粘結(jié)層上形成柔性襯底基板之前還包括: 將形成有所述粘結(jié)層的載體基板放入氧等離子體環(huán)境中進行活化處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底基板的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜樹脂和聚酰亞胺中的一種或多種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底基板的厚度為10微米至300微米。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述對所述載體基板進行加熱包括: 將所述載體基板放置在溫度為100-150度的加熱臺上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6中任一項所述的柔性顯示基板的制作方法，其特征在于，所述將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來包括: 通過機械方式將制備有顯示器件的柔性襯底基板從形成有所述粘結(jié)層的載體基板上剝離下來。
12.一種柔性顯示基板母板，其特征在于，包括: 載體基板； 形成在所述載體基板上的粘結(jié)層，所述粘結(jié)層能夠與所述載體基板形成不可逆接觸；形成在所述粘結(jié)層上的柔性襯底基板，所述柔性襯底基板能夠與所述粘結(jié)層形成可逆接觸； 形成在所述柔性襯底基板上的顯示器件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的柔性顯示基板母板，其特征在于，所述柔性襯底基板的熱膨脹系數(shù)與所述粘結(jié)層的熱膨脹系數(shù)不同。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的柔性顯示基板母板，其特征在于，所述粘結(jié)層的材料為聚二甲基硅氧烷。
【文檔編號】H01L21/683GK104377118SQ201410513955
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月29日
【發(fā)明者】董甜 申請人:京東方科技集團股份有限公司