檢測裝置和檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種檢測裝置和檢測方法，其中該檢測裝置包括：該檢測裝置包括：密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的基板，氣流檢測單元位于密封腔體內(nèi)且位于基板的下方，氣流輸出單元與密封腔體連接，氣流輸出單元用于向基板的上表面輸出檢測氣流，氣流檢測單元用于檢測基板的下表面是否存在檢測氣流。本發(fā)明的技術(shù)方案通過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果以實(shí)現(xiàn)對基板是否存在破損進(jìn)行判斷。
【專利說明】檢測裝置和檢測方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種檢測裝置和檢測方法。

【背景技術(shù)】
[0002]顯示面板包括陣列基板以及與陣列基板相對設(shè)置的對盒基板，其中，陣列基板和對盒基板均是需要通過一系列的生產(chǎn)工藝才制備出來的。
[0003]制備陣列基板或?qū)谢逵玫牟ＡЩ澹谥苽潢嚵谢寤驅(qū)谢暹^程中會在不同的工藝設(shè)備之間進(jìn)行傳輸，在傳輸過程中玻璃基板會與傳送設(shè)備發(fā)生頻繁的接觸和碰撞，從而很有可能使得玻璃基板產(chǎn)生破損，進(jìn)而導(dǎo)致制備出的陣列基板或?qū)谢鍩o法使用。更嚴(yán)重的是，出現(xiàn)破損的玻璃基板在進(jìn)行加工時，玻璃基板上殘留的玻璃碎屑會使得工藝設(shè)備發(fā)生堵塞、劃傷損壞，從而造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。
[0004]因此，如何能夠及時有效的檢測出玻璃基板上是否存在損壞，對于顯示面板制造行業(yè)尤為重要。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種檢測裝置和檢測方法，可以對基板是否存在破損進(jìn)行有效的判斷。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種檢測裝置，用于對基板破損進(jìn)行檢測，包括:
[0007]密封腔體，所述密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的所述基板；
[0008]氣流輸出單元，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流輸出單元用于向所述基板的上表面輸出檢測氣流；
[0009]氣流檢測單元，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述氣流檢測單元用于檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流；
[0010]若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板存在破損；若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板不存在破損。
[0011]可選地，還包括:運(yùn)載單元，所述運(yùn)載單元位于所述氣流檢測單元和所述基板之間；
[0012]所述運(yùn)載單元用于支撐所述基板以及帶動所述基板在所述密封腔體內(nèi)移動。
[0013]可選地，所述運(yùn)載單元包括:平行設(shè)置的若干條滾軸，所述滾軸設(shè)置在所述基板的下方，所述滾軸包括:若干個傳送滾輪和連接桿，所述連接桿與所述滾軸中的全部所述傳送滾輪連接；
[0014]所述連接桿用于控制所述滾軸中的全部所述傳送滾輪同步運(yùn)動；
[0015]所述滾輪用于帶動所述基板以預(yù)定速度進(jìn)行運(yùn)動。
[0016]可選地，所述運(yùn)載單元還包括:導(dǎo)向輪，所述導(dǎo)向輪位于所述連接桿的兩端；
[0017]所述導(dǎo)向輪用于在所述滾輪帶動所述基板進(jìn)行運(yùn)動時控制所述基板的沿垂直于所述連接桿的方向進(jìn)行水平運(yùn)動。
[0018]可選地，所述氣流輸出單元包括:進(jìn)氣模塊和若干條輸氣支路，所述進(jìn)氣模塊設(shè)置在所述密封腔體上，所述輸氣支路設(shè)置在所述密封腔體內(nèi)，所述輸氣支路包括:輸送軟管和噴嘴，所述輸送軟管的一端與所述進(jìn)氣模塊連接，所述輸送軟管的另一端與所述噴嘴連接；
[0019]所述進(jìn)氣模塊用于將檢測氣體通過所述輸氣支路輸出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述檢測氣流。
[0020]可選地，所述進(jìn)氣模塊包括:進(jìn)氣管路、過濾器和緩沖密閉箱，所述過濾器設(shè)置在所述進(jìn)氣管路和所述緩沖密閉箱之間，所述緩沖密閉箱與所述輸送軟管連接；
[0021]所述進(jìn)氣管路用于將所述檢測氣體運(yùn)輸至所述緩沖密閉箱內(nèi)；
[0022]所述過濾器用于將對所述檢測氣體中雜質(zhì)進(jìn)行過濾；
[0023]所述緩沖密閉箱用于存儲所述檢測氣體以及將所述檢測氣體輸送至輸送軟管。
[0024]可選地，全部所述噴嘴處于同一水平面且排列成一行。
[0025]可選地，所述氣流輸出單元還包括:第一固定板，全部所述噴嘴固定在所述第一固定板上。
[0026]可選地，所述氣流檢測單元包括:若干個氣流檢測子單元，所述氣流檢測子單元用于檢測所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域是否存在檢測氣流；
[0027]若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在破損；若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在破損。
[0028]可選地，全部所述氣流檢測子單元在處于同一水平面且排列成一行。
[0029]可選地，所述氣流檢測單元還包括:第二固定板，全部所述氣流檢測子單元固定在所述第二固定板上。
[0030]可選地，所述氣流檢測子單元為氣流傳感器，所述氣流傳感器用于在檢測到檢測氣流時產(chǎn)生模擬信號；
[0031]所述檢測裝置還包括:信號轉(zhuǎn)換器和報警器，所述信號轉(zhuǎn)換器與氣流傳感器和所述報警器連接；
[0032]所述信號轉(zhuǎn)換器用于將所述模擬信號轉(zhuǎn)換成電信號；
[0033]所述報警器用于在接收所述電信號時進(jìn)行報警。
[0034]可選地，還包括:基板檢測單元，所述基板檢測單元與所述氣流輸出單元連接；
[0035]所述基板檢測單元用于檢測所述氣流輸出單元的下方是否存在所述基板，若所述基板檢測單元檢測出所述氣流輸出單元的下方存在所述基板時，則控制所述氣流輸出單元輸出所述檢測氣流，若所述基板檢測單元檢測出所述氣流輸出單元的下方不存在所述基板時，則控制所述氣流輸出單元停止輸出所述檢測氣流。
[0036]可選地，還包括:保護(hù)殼體，所述保護(hù)殼體設(shè)置在所述密封腔體外；
[0037]所述保護(hù)殼體用于保護(hù)所述密封腔體。
[0038]可選地，所述檢測氣流為空氣流。
[0039]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種檢測方法，用于對基板破損進(jìn)行檢測，所述檢測方法基于檢測裝置，所述檢測裝置包括:密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，所述密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的所述基板，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述檢測方法包括:
[0040]所述氣流輸出單元向所述基板的上表面輸出檢測氣流；
[0041]所述氣流檢測單元檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流，若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流，則判斷出所述基板存在破損，若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流，則判斷出所述基板不存在破損
[0042]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0043]本發(fā)明提供一種檢測裝置和檢測方法，該檢測裝置包括:該檢測裝置包括:密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，其中，密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的基板，氣流檢測單元位于密封腔體內(nèi)且位于基板的下方，氣流輸出單元與密封腔體連接，氣流輸出單元用于向基板的上表面輸出檢測氣流，氣流檢測單元用于檢測基板的下表面是否存在檢測氣流。本發(fā)明的技術(shù)方案通過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果以實(shí)現(xiàn)對基板是否存在破損進(jìn)行判斷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的檢測裝置的正視圖；
[0045]圖2為圖1的側(cè)視圖；
[0046]圖3為圖1中密封腔室內(nèi)的俯視圖；
[0047]圖4為本發(fā)明實(shí)施例二提供的檢測方法的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0048]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的檢測裝置和檢測方法進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0049]實(shí)施例一
[0050]圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的檢測裝置的正視圖，圖2為圖1的側(cè)視圖，圖3為圖1中密封腔室內(nèi)的俯視圖，如圖1至圖3所示，該檢測裝置用于對基板4破損進(jìn)行檢測，該檢測裝置包括:密封腔體1、氣流輸出單元和氣流檢測單元，其中，密封腔體1內(nèi)水平放置有待檢測的基板4，氣流檢測單元位于密封腔體1內(nèi)且位于基板4的下方，氣流輸出單元與密封腔體1連接，氣流輸出單元用于向基板4的上表面輸出檢測氣流，氣流檢測單元用于檢測基板4的下表面是否存在檢測氣流。
[0051]本發(fā)明通過氣流輸出單元在基板4的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板4的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果可以對基板4是否存在破損進(jìn)行判斷。
[0052]本發(fā)明的發(fā)明原理在于，當(dāng)過氣流輸出單元在基板4的上表面形成檢測氣流時，在基板4的上表面形成一個強(qiáng)氣壓區(qū)，而此時基板4的下表面為正常氣壓，若基板4出現(xiàn)破損，則檢測氣流將會通過破損處而在基板4的下表面形成檢測氣流，此時氣流檢測單元檢測到基板4的下表面存在檢測氣流，因此可以判斷出基板4存在破損；若基板4沒有出現(xiàn)破損，則檢測氣流將不會通過基板4，此時基板4的下表面不會形成檢測氣流，氣流檢測單元檢測到基板4的下表面不存在檢測氣流，因此可以判斷出基板4不存在破損。
[0053]本實(shí)施例中，可選地，該檢測裝置還包括:運(yùn)載單元，運(yùn)載單元位于氣流檢測單元和基板4之間，運(yùn)載單元用于支撐基板4以及帶動基板4在密封腔體1內(nèi)移動。具體地，運(yùn)載單元包括:平行設(shè)置的若干條滾軸18，該滾軸18設(shè)置在基板4的下方，每條滾軸18均包括:若干個傳送滾輪6和一個連接桿7，連接桿7與滾軸18中的全部傳送滾輪6連接，連接桿7用于控制滾軸18中的全部傳送滾輪6同步運(yùn)動，滾輪6用于帶動基板4以預(yù)定速度進(jìn)行運(yùn)動。本實(shí)施例中，當(dāng)滾輪6進(jìn)行轉(zhuǎn)動時，基板4將在水平面上以垂直于連接桿7的方向進(jìn)行水平移動。
[0054]進(jìn)一步可選地，該運(yùn)載單元還包括:導(dǎo)向輪13，導(dǎo)向輪13位于連接桿7的兩端，導(dǎo)向輪13用于在滾輪6帶動基板4進(jìn)行運(yùn)動時控制基板4的沿垂直于連接桿7的方向進(jìn)行水平運(yùn)動。在實(shí)際生產(chǎn)中，當(dāng)滾輪6帶動基板4運(yùn)動時，基板4可能會產(chǎn)生側(cè)移，因而使得基板4并不能沿垂直于連接桿7的方向進(jìn)行水平運(yùn)動，并最終使得基板4從滾軸18上掉下來。為解決上述問題，本發(fā)明在連接桿7的兩端設(shè)置導(dǎo)向輪13，該導(dǎo)向輪13可限定基板4只能沿垂直于連接桿7的方向進(jìn)行水平運(yùn)動，從而避免基板4的側(cè)移。
[0055]在本實(shí)施例中，氣流輸出單元包括:進(jìn)氣模塊和若干條輸氣支路，進(jìn)氣模塊設(shè)置在密封腔體1上，輸氣支路設(shè)置在密封腔體1內(nèi)，輸氣支路包括:輸送軟管2和噴嘴3，輸送軟管2的一端與進(jìn)氣模塊連接，輸送軟管2的另一端與噴嘴3連接，進(jìn)氣模塊用于將檢測氣體18通過輸氣支路和噴嘴3輸出至基板4的上表面以在基板4的上表面形成檢測氣流。進(jìn)氣模塊包括:進(jìn)氣管路12、過濾器11和緩沖密閉箱10，過濾器11設(shè)置在進(jìn)氣管路12和緩沖密閉箱10之間，緩沖密閉箱10與輸送軟管2連接，進(jìn)氣管路12用于將檢測氣體18運(yùn)輸至緩沖密閉箱10內(nèi)，過濾器11用于將對檢測氣體18中雜質(zhì)進(jìn)行過濾，緩沖密閉箱10用于存儲檢測氣體18，以及將經(jīng)過過濾處理后的檢測氣體18輸送至輸送軟管2，并最終通過噴嘴3輸送至基板4的上表面。
[0056]在本實(shí)施例中，進(jìn)氣模塊不僅可對檢測氣體18進(jìn)行存儲，還可以對檢測氣體18中的雜質(zhì)進(jìn)行過濾，從而使得到達(dá)基板4的上表面的氣體為潔凈且干燥的氣體，從而避免了檢測氣體18對基板4的污染。本實(shí)施例中，可選地，檢測氣體18為潔凈且干凈的空氣，相應(yīng)地，檢測氣流為空氣流。
[0057]可選地，氣流輸出單元還包括:第一固定板8，全部噴嘴3固定在第一固定板8上。進(jìn)一步可選地，全部噴嘴3處于同一水平面且排列成一行，具體地，全部噴嘴3沿與基板4運(yùn)動方向垂直的方向排列成一行。需要說明的是，噴嘴3的上述排布方式僅為本實(shí)施例中的一種可選方案，對本申請的技術(shù)方案不會產(chǎn)生限制，例如:本實(shí)施例中還可以將全部噴嘴3排列在同一水平面且全部噴嘴3在基板4上的投影均勻分布(未給出相應(yīng)附圖)。
[0058]在本實(shí)施例中，氣流檢測單元包括:若干個氣流檢測子單元5，氣流檢測子單元5用于檢測基板4上對應(yīng)氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域是否存在檢測氣流，若氣流檢測子單元5檢測到基板4上對應(yīng)氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域存在檢測氣流時，則判斷出基板4上對應(yīng)氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域存在破損；若氣流檢測子單元5檢測到基板4上對應(yīng)氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域不存在檢測氣流時，則判斷出基板4上對應(yīng)氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域不存在破損。
[0059]可選地，氣流檢測單元還包括:第二固定板9，全部氣流檢測子單元5固定在第二固定板9上。進(jìn)一步可選地，全部氣流檢測子單元5處于同一水平面且排列成一行，具體地，全部氣流檢測子單元5沿與基板4運(yùn)動方向垂直的方向排列成一行。需要說明的是，氣流檢測子單兀5的上述排布方式僅為本實(shí)施例中的一種可選方案，對本申請的技術(shù)方案不會產(chǎn)生限制，例如:本實(shí)施例中還可以將全部氣流檢測子單元5排列在同一水平面且全部氣流檢測子單元5在基板4上的投影均勻分布(未給出相應(yīng)附圖)。
[0060]可選地，氣流檢測子單元5為氣流傳感器，氣流傳感器用于在檢測到檢測氣流時產(chǎn)生模擬信號，檢測裝置還包括:信號轉(zhuǎn)換器16和報警器17，信號轉(zhuǎn)換器16與氣流傳感器和報警器17連接，信號轉(zhuǎn)換器16用于將模擬信號轉(zhuǎn)換成電信號，報警器17用于在接收電信號時進(jìn)行報警。本實(shí)施例中，通過信號轉(zhuǎn)換器16和報警器17的設(shè)置，可在氣流檢測子單元5檢測到基板4破損時及時的通知操作人員，從而避免破損的基板4進(jìn)入到下一加工工序中。
[0061]可選地，該檢測裝置還包括:基板檢測單元14，基板檢測單元14位于密封腔體1內(nèi)且與氣流輸出單元連接，基板檢測單元14用于檢測氣流輸出單元的下方是否存在基板4，若基板檢測單元14檢測出氣流輸出單元的下方存在基板4時，則控制氣流輸出單元輸出檢測氣流，若基板檢測單元14檢測出氣流輸出單元的下方不存在基板4時，則控制氣流輸出單元停止輸出檢測氣流。本實(shí)施例中通過基板檢測單元14的設(shè)置，可以使得該檢測裝置更加的智能化。更為重要的是，該基板檢測單元14可有效避免當(dāng)氣流輸出單元的下方不存在基板4時，氣流輸出單元輸出的檢測氣體18被氣流檢測單元檢測到，從而造成錯誤檢測的現(xiàn)象。需要說明的是，本實(shí)施例中基板檢測單元14可固定在第一固定板8上。
[0062]可選地，該檢測裝置還包括:保護(hù)殼體15，保護(hù)殼體15設(shè)置在密封腔體1外。本實(shí)施例提供的檢測裝置對密封腔體1的密封性要求較高，通過在密封腔體1外設(shè)置保護(hù)殼體15可有效的實(shí)現(xiàn)對密封腔體1的保護(hù)。
[0063]下面將結(jié)合附圖對本實(shí)施例提供的檢測裝置的工作過程進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0064]首先，運(yùn)載單元帶動基板4運(yùn)動到氣流輸出單元的下方，此時基板檢測單元14檢測到基板4的存在，并控制氣流輸出單元通過噴嘴3向基板4的上表面輸出檢測氣流。然后，氣流檢測單元開始檢測基板4的下表面是否存在檢測氣流，若氣流檢測單元中任意一個氣流檢測子單元5檢測到檢測氣流，則可以判斷出基板4上位于檢測到檢測氣流的氣流檢測子單元5的正上方的區(qū)域存在破損。本實(shí)施例中，全部的噴嘴3處于同于水平面且排列成一行，全部氣流檢測子單元5處于同一水平面且排列成一行，且一行噴嘴3與一行氣流檢測子單元5平行且相對設(shè)置，運(yùn)載單元帶動基板4運(yùn)動的過程中，檢測氣流可掃過基板4上表面的各個區(qū)域。最后，當(dāng)運(yùn)載單元帶動基板4運(yùn)動直至基板檢測單元14檢測不到基板4的存在時，基板檢測單元14控制氣流輸出單元停止輸出檢測氣流，從而完成對一張基板4的檢測。
[0065]本發(fā)明實(shí)施例一提供了一種檢測裝置，該檢測裝置包括:該檢測裝置包括:密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，其中，密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的基板，氣流檢測單元位于密封腔體內(nèi)且位于基板的下方，氣流輸出單元與密封腔體連接，氣流輸出單元用于向基板的上表面輸出檢測氣流，氣流檢測單元用于檢測基板的下表面是否存在檢測氣流。本發(fā)明的技術(shù)方案通過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果以實(shí)現(xiàn)對基板是否存在破損進(jìn)行判斷。
[0066]實(shí)施例二
[0067]圖4為本發(fā)明實(shí)施例二提供的檢測方法的流程圖，如圖4所示，該檢測方法基于檢測裝置，其中該檢測裝置包括:密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的基板，氣流輸出單元與密封腔體連接，氣流檢測單元位于基板的下方，該檢測方法包括:
[0068]步驟101:氣流輸出單元向基板的上表面輸出檢測氣流。
[0069]步驟102:氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流。
[0070]在步驟102中，若氣流檢測單元檢測到基板的下表面存在檢測氣流，則判斷出基板存在破損，若氣流檢測單元檢測到基板的下表面不存在檢測氣流，則判斷出所述基板不存在破損。
[0071]本發(fā)明的發(fā)明原理在于，當(dāng)過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流時，在基板的上表面形成一個強(qiáng)氣壓區(qū)，而此時基板的下表面為正常氣壓，若基板出現(xiàn)破損，則檢測氣流將會通過破損處而在基板的下表面形成檢測氣流，此時氣流檢測單元檢測到基板的下表面存在檢測氣流，因此可以判斷出基板存在破損；若基板沒有出現(xiàn)破損，則檢測氣流將不會通過基板，此時基板的下表面不會形成檢測氣流，氣流檢測單元檢測到基板的下表面不存在檢測氣流，因此可以判斷出基板不存在破損。
[0072]因此，基于上述步驟101和步驟102可實(shí)現(xiàn)對基板上是否存在破損進(jìn)行判斷。
[0073]本發(fā)明實(shí)施例二提供了一種檢測方法，該檢測方法包括:氣流輸出單元向基板的上表面輸出檢測氣流；氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，若氣流檢測單元檢測到基板的下表面存在檢測氣流，則判斷出基板存在破損，若氣流檢測單元檢測到基板的下表面不存在檢測氣流，則判斷出所述基板不存在破損。本發(fā)明的技術(shù)方案通過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果以實(shí)現(xiàn)對基板是否存在破損進(jìn)行判斷。
[0074]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測裝置，其特征在于，用于對基板破損進(jìn)行檢測，包括: 密封腔體，所述密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的所述基板； 氣流輸出單元，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流輸出單元用于向所述基板的上表面輸出檢測氣流； 氣流檢測單元，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述氣流檢測單元用于檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流； 若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板存在破損；若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板不存在破損。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括:運(yùn)載單元，所述運(yùn)載單元位于所述氣流檢測單元和所述基板之間； 所述運(yùn)載單元用于支撐所述基板以及帶動所述基板在所述密封腔體內(nèi)移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述運(yùn)載單元包括:平行設(shè)置的若干條滾軸，所述滾軸設(shè)置在所述基板的下方，所述滾軸包括:若干個傳送滾輪和連接桿，所述連接桿與所述滾軸中的全部所述傳送滾輪連接； 所述連接桿用于控制所述滾軸中的全部所述傳送滾輪同步運(yùn)動； 所述滾輪用于帶動所述基板以預(yù)定速度進(jìn)行運(yùn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述運(yùn)載單元還包括:導(dǎo)向輪，所述導(dǎo)向輪位于所述連接桿的兩端； 所述導(dǎo)向輪用于在所述滾輪帶動所述基板進(jìn)行運(yùn)動時控制所述基板的沿垂直于所述連接桿的方向進(jìn)行水平運(yùn)動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流輸出單元包括:進(jìn)氣模塊和若干條輸氣支路，所述進(jìn)氣模塊設(shè)置在所述密封腔體上，所述輸氣支路設(shè)置在所述密封腔體內(nèi)，所述輸氣支路包括:輸送軟管和噴嘴，所述輸送軟管的一端與所述進(jìn)氣模塊連接，所述輸送軟管的另一端與所述噴嘴連接； 所述進(jìn)氣模塊用于將檢測氣體通過所述輸氣支路輸出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述檢測氣流。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣模塊包括:進(jìn)氣管路、過濾器和緩沖密閉箱，所述過濾器設(shè)置在所述進(jìn)氣管路和所述緩沖密閉箱之間，所述緩沖密閉箱與所述輸送軟管連接； 所述進(jìn)氣管路用于將所述檢測氣體運(yùn)輸至所述緩沖密閉箱內(nèi)； 所述過濾器用于將對所述檢測氣體中雜質(zhì)進(jìn)行過濾； 所述緩沖密閉箱用于存儲所述檢測氣體以及將所述檢測氣體輸送至輸送軟管。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，全部所述噴嘴處于同一水平面且排列成一行。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流輸出單元還包括:第一固定板，全部所述噴嘴固定在所述第一固定板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測單元包括:若干個氣流檢測子單元，所述氣流檢測子單元用于檢測所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域是否存在檢測氣流； 若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在破損；若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在破損。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，全部所述氣流檢測子單元處于同一水平面且排列成一行。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測單元還包括:第二固定板，全部所述氣流檢測子單元固定在所述第二固定板上。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測子單元為氣流傳感器，所述氣流傳感器用于在檢測到檢測氣流時產(chǎn)生模擬信號； 所述檢測裝置還包括:信號轉(zhuǎn)換器和報警器，所述信號轉(zhuǎn)換器與氣流傳感器和所述報警器連接； 所述信號轉(zhuǎn)換器用于將所述模擬信號轉(zhuǎn)換成電信號； 所述報警器用于在接收所述電信號時進(jìn)行報警。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括:基板檢測單元，所述基板檢測單元與所述氣流輸出單元連接； 所述基板檢測單元用于檢測所述氣流輸出單元的下方是否存在所述基板，若所述基板檢測單元檢測出所述氣流輸出單元的下方存在所述基板時，則控制所述氣流輸出單元輸出所述檢測氣流，若所述基板檢測單元檢測出所述氣流輸出單元的下方不存在所述基板時，則控制所述氣流輸出單元停止輸出所述檢測氣流。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括:保護(hù)殼體，所述保護(hù)殼體設(shè)置在所述密封腔體外； 所述保護(hù)殼體用于保護(hù)所述密封腔體。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測氣流為空氣流。
16.一種檢測方法，其特征在于，用于對基板破損進(jìn)行檢測，所述檢測方法基于檢測裝置，所述檢測裝置包括:密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，所述密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的所述基板，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述檢測方法包括: 所述氣流輸出單元向所述基板的上表面輸出檢測氣流； 所述氣流檢測單元檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流，若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流，則判斷出所述基板存在破損，若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流，則判斷出所述基板不存在破損。
【文檔編號】H01L21/66GK104297423SQ201410490339
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月23日
【發(fā)明者】安午偉, 馬亮 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司