技術(shù)編號：7058887
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，其中該檢測裝置包括該檢測裝置包括密封腔體、氣流輸出單元和氣流檢測單元，密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的基板，氣流檢測單元位于密封腔體內(nèi)且位于基板的下方，氣流輸出單元與密封腔體連接，氣流輸出單元用于向基板的上表面輸出檢測氣流，氣流檢測單元用于檢測基板的下表面是否存在檢測氣流。本發(fā)明的技術(shù)方案通過氣流輸出單元在基板的上表面形成檢測氣流，同時利用氣流檢測單元檢測基板的下表面是否存在檢測氣流，并基于氣流檢測單元的檢測結(jié)果以實(shí)現(xiàn)對基板是否存在破損進(jìn)行判...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。