一種光刻膠涂布及回收裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動(dòng)力裝置7，其特征在于：還包括旋轉(zhuǎn)閥門3；所述旋轉(zhuǎn)閥門3通過光刻膠傳輸管2與光刻膠容器1相連；所述旋轉(zhuǎn)閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5相連；所述旋轉(zhuǎn)閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；所述動(dòng)力裝置7同時(shí)與旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠抽取裝置4相連；所述旋轉(zhuǎn)閥門3包括旋轉(zhuǎn)閥芯3.1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3，所述轉(zhuǎn)閥芯3.1旋轉(zhuǎn)一定角度后，設(shè)置于其上的通孔將光刻膠容器1和光刻膠抽取裝置4連通，所述轉(zhuǎn)閥芯3.1旋轉(zhuǎn)另一角度后，設(shè)置于其上的通孔將光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀5連通。
【專利說明】一種光刻膠涂布及回收裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及平板顯示（包括液晶顯示器、等離子顯示器、有機(jī)發(fā)光顯示器等）及半 導(dǎo)體等【技術(shù)領(lǐng)域】，具體而言涉及器件制備過程中光刻膠涂布及回收利用的一種技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002] 涂布技術(shù)就是在器件制作過程中在待加工基板表面涂覆一層光刻膠，然后通過后 續(xù)曝光、顯影、蝕刻、脫膜等工序制作出需求的電極或絕緣層圖形。在平板顯示和半導(dǎo)體制 造行業(yè)，涂布技術(shù)是非常關(guān)鍵的工藝技術(shù)，其按設(shè)備使用方式的不同分類為：旋轉(zhuǎn)涂布、線 狀涂布和滾動(dòng)涂布等，其中線狀涂布方式被廣泛應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，其主要特點(diǎn)在于：涂 布精度高，平坦度好，節(jié)拍快，產(chǎn)能高。在制造型企業(yè)中，制造成本是關(guān)系到企業(yè)能否立足于 市場(chǎng)的核心競(jìng)爭(zhēng)力，而在線狀涂布方式制程中，其原材料光刻膠通常是從國(guó)外進(jìn)口的，價(jià)格 非常昂貴，如何減少光刻膠的浪費(fèi)及提高光刻膠的利用率對(duì)于企業(yè)制造成本的降低有非常 重要的意義。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為了減少光刻膠的浪費(fèi)及提高光刻膠的利用率，本發(fā)明提供一種光刻膠涂布及回 收裝置。
[0004] 技術(shù)方案：一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、旋轉(zhuǎn) 閥門3、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動(dòng)力裝置7。旋轉(zhuǎn)閥門3通過 光刻膠傳輸管2與光刻膠容器1相連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5相 連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；動(dòng)力裝置7同時(shí)與旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠 抽取裝置4相連。
[0005] 旋轉(zhuǎn)閥門3包括旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3 ;旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的一端設(shè)置于 旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3上，另一端與動(dòng)力裝置7相連，旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1相對(duì)于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3旋 轉(zhuǎn)。
[0006] 旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1設(shè)置有第一通孔3. 1. 1、第二通孔3. 1. 2、旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸 3. 1. 3、通孔防滲漏墊圈3. 1. 4、活動(dòng)卡盤3. 1. 5和卡盤防滲漏墊圈3. 1. 6 ;第一通孔3. 1. 1 和第二通孔3. 1. 2設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的一端，旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸3. 1. 3設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥 芯3. 1的另一端，活動(dòng)卡盤3. 1. 5設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的軸向中間位置；第一通孔3. 1. 1和 第二通孔3. 1. 2設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線 成90度夾角，同時(shí)，二者在旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1內(nèi)部是連通的；第一通孔3. 1. 1和第二通孔3. 1.2 開口外圍處設(shè)置有通孔防滲漏墊圈3. 1. 4 ;活動(dòng)卡盤3. 1. 5靠通孔的一側(cè)設(shè)置有卡盤防滲 漏墊圈3. 1.6。
[0007] 旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3設(shè)置有旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布 刮刀接口 3. 3. 2、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3、旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4、銷釘孔 3. 3. 5和活動(dòng)卡槽3. 3. 6 ;旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3 -底面的中心位 置且孔的一端是密封的，活動(dòng)卡槽3. 3. 6設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4的未密封端；旋轉(zhuǎn)閥 門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取 裝置接口 3. 3. 3分別設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3的三個(gè)側(cè)面上且各接口均與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔 3. 3. 4連通，各接口均設(shè)置有內(nèi)螺紋；銷釘孔3. 3. 5設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3底面的四個(gè)角 上，銷釘孔3. 3. 5用于固定旋轉(zhuǎn)閥門3。
[0008] 旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1帶通孔的一端與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4相匹配，活動(dòng)卡盤3. 1. 5與 活動(dòng)卡槽3. 3. 6相匹配，旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3通過活動(dòng)卡盤3. 1. 5與活動(dòng)卡 槽3. 3. 6固定連接，且二者可相對(duì)旋轉(zhuǎn)；在旋轉(zhuǎn)閥芯（3.1)旋轉(zhuǎn)一定角度后，所述第一通孔 (3. 1. 1)、第二通孔（3. 1. 2)在垂直位置上分別與所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口（3. 3. 1) 的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接 口（3. 3. 3)的內(nèi)開口中的二者相對(duì)應(yīng)。
[0009] 光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀傳輸管6的一端設(shè)置有分別與旋轉(zhuǎn) 閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂 布刮刀接口 3. 3. 2內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀 傳輸管6分別與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3 和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2相連。
[0010] 光刻膠抽取裝置4設(shè)置有光刻膠抽取筒4. 1和光刻膠抽取活塞4. 2 ;光刻膠抽取 活塞4. 2設(shè)置于光刻膠抽取筒4. 1內(nèi)。
[0011] 動(dòng)力裝置7包括主控電路7. 1、旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2和直線電機(jī)7.3 ;主控電路7. 1 分別與旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2和直線電機(jī)7. 3相連，旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2與旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸 3. 1. 3相連，直線電機(jī)7. 3與光刻膠抽取活塞4. 2相連。
[0012] 光刻膠傳輸管2上設(shè)置有過濾器2. 1。
[0013] 由于采用了上述技術(shù)方案，該裝置可以將涂布刮刀、傳輸管和過濾器中殘留的光 刻膠吸入擠壓回光刻膠容器中，達(dá)到了減少光刻膠的浪費(fèi)及提高光刻膠的利用率的目的， 且該裝置集光刻膠涂布工藝與光刻膠回收過程一體化，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、操作高效方便，回 收的光刻膠不受污染、100%再利用，大大的節(jié)約企業(yè)的制造成本，有力的增強(qiáng)了企業(yè)的競(jìng) 爭(zhēng)力，為企業(yè)的發(fā)展做出了突出的貢獻(xiàn)。

【專利附圖】

【附圖說明】 [0014]
[0015] 圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016] 圖2中是旋轉(zhuǎn)閥門的立體示意圖。
[0017] 圖3是圖2中的A-A剖視圖。
[0018] 圖4是圖3中旋轉(zhuǎn)閥芯順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度后的示意圖。
[0019] 圖5是旋轉(zhuǎn)閥芯結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖6是圖5中的B-B剖視圖。
[0021] 圖7是旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 圖8是圖7中的D-D剖視圖。
[0023] 1光刻膠容器；2光刻膠傳輸管；2. 1過濾器；3旋轉(zhuǎn)閥門；3. 1旋轉(zhuǎn)閥芯；3. 1. 1第 一通孔；3. 1.2第二通孔；3. 1.3旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸；3. 1.4通孔防滲漏墊圈；3. 1.5活 動(dòng)卡盤；3. 1. 6卡盤防滲漏墊圈；3. 3旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼；3. 3. 1旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口； 3. 3. 2旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口；3. 3. 3旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口；3. 3. 4旋轉(zhuǎn)閥 芯固定孔；3. 3. 5銷釘孔；3. 3. 6活動(dòng)卡槽；4光刻膠抽取裝置；4. 1光刻膠抽取筒；4. 2光刻 膠抽取活塞；5涂布刮刀；6涂布刮刀傳輸管；7動(dòng)力裝置；7. 1主控電路；7. 2旋轉(zhuǎn)閥芯電 機(jī)；7. 3直線電機(jī)

【具體實(shí)施方式】
[0024] 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳述。
[0025] 如圖1所示，一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、旋 轉(zhuǎn)閥門3、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動(dòng)力裝置7。旋轉(zhuǎn)閥門3通 過光刻膠傳輸管2與光刻膠容器1相連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5 相連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；動(dòng)力裝置7同時(shí)與旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻 膠抽取裝置4相連。
[0026] 工作時(shí)，動(dòng)力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠抽取裝置4配合工作，完成光刻膠的 輸送和回收，涂布過程光刻膠的輸送：動(dòng)力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠容器1與光刻 膠抽取裝置4連通，此時(shí)動(dòng)力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4抽取光刻膠容器1中的光刻 膠，然后動(dòng)力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動(dòng)力裝置 7控制光刻膠抽取裝置4使其從光刻膠容器1中抽取來(lái)的光刻膠擠壓推入至涂布刮刀5,完 成涂布過程對(duì)光刻膠的輸送。而光刻膠的回收是上述的逆過程：動(dòng)力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門 3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動(dòng)力裝置7控制光刻膠抽取裝置4抽取涂布 刮刀5及傳輸管上殘留的光刻膠，然后動(dòng)力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠容器1與光刻 膠抽取裝置4連通，此時(shí)動(dòng)力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4使其將抽取回的光刻膠擠壓 推入至光刻膠容器1中，同時(shí)過濾器即傳輸管上殘留的光刻膠也被推入至光刻膠容器1中， 完成對(duì)光刻膠的回收。
[0027] 如圖2所示，旋轉(zhuǎn)閥門3包括旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3 ;旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的 一端設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3上，另一端與動(dòng)力裝置7相連，旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1相對(duì)于旋轉(zhuǎn)閥門 內(nèi)殼3. 3旋轉(zhuǎn)。
[0028] 如圖5所示，旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1設(shè)置有第一通孔3. 1. 1、第二通孔3. 1.2、旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī) 連接軸3. 1. 3、通孔防滲漏墊圈3. 1. 4、活動(dòng)卡盤3. 1. 5和卡盤防滲漏墊圈3. 1. 6 ;第一通孔 3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的一端，旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸3. 1. 3設(shè)置于 旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的另一端，活動(dòng)卡盤3. 1. 5設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的軸向中間位置；第一通孔 3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓 心的連線成90度夾角，同時(shí)，二者在旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1內(nèi)部是連通的；第一通孔3. 1. 1和第二通 孔3. 1. 2開口外圍處設(shè)置有通孔防滲漏墊圈3. 1. 4 ;活動(dòng)卡盤3. 1. 5靠通孔的一側(cè)設(shè)置有 卡盤防滲漏墊圈3. 1.6。
[0029] 動(dòng)力裝置7通過旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸3. 1. 3控制旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1在旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼 3. 3內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，使其第一通孔3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2將光刻膠容器1、光刻膠抽取裝置4、涂 布刮刀5中的二者連通，完成光刻膠的輸送或回收，通孔防滲漏墊圈3. 1. 4和卡盤防滲漏墊 圈3. 1. 6防止光刻膠的滲漏和空氣對(duì)光刻膠的污染。
[0030] 如圖7所示，旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3設(shè)置有旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3. 1、旋轉(zhuǎn) 閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3、旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔 3. 3. 4、銷釘孔3. 3. 5和活動(dòng)卡槽3. 3. 6 ;旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3 - 底面的中心位置且孔的一端是密封的，活動(dòng)卡槽3. 3. 6設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4的未 密封端；旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2和旋轉(zhuǎn)閥門 內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3分別設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3的三個(gè)側(cè)面上且各接口均與旋 轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4連通，各接口均設(shè)置有內(nèi)螺紋；銷釘孔3. 3. 5設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3 底面的四個(gè)角上。
[0031] 旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1帶通孔的一端插入旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3. 4內(nèi)，活動(dòng)卡盤3. 1. 5卡在 活動(dòng)卡槽3. 3. 6上，旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1可在旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3. 3.4內(nèi)旋轉(zhuǎn)；在旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)旋 轉(zhuǎn)一定角度后，所述第一通孔（3. 1. 1)孔、第二通孔（3. 1. 2)孔分別與所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光 膠容器接口（3. 3. 1)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi) 殼光膠抽取裝置接口（3. 3. 3)的內(nèi)開口中的二者相對(duì)應(yīng)，保證旋轉(zhuǎn)閥芯旋轉(zhuǎn)一定角度后， 其通孔可與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼各接口中的二者連通；旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3. 3通過銷釘孔3. 3. 5被固 定于需要固定的位置。
[0032] 光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀傳輸管6設(shè)有外螺紋的一端通過螺 紋分別與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3和旋 轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2固定連接。
[0033] 如圖1所不，光刻膠抽取裝置4設(shè)置有光刻膠抽取筒4. 1和光刻膠抽取活塞4. 2 ; 光刻膠抽取活塞4. 2設(shè)置于光刻膠抽取筒4. 1內(nèi)。動(dòng)力裝置7包括主控電路7. 1、旋轉(zhuǎn)閥芯 電機(jī)7. 2和直線電機(jī)7. 3 ;主控電路7. 1分別與旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2和直線電機(jī)7. 3相連，旋 轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2與旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸3. 1. 3相連，直線電機(jī)7. 3與光刻膠抽取活塞4. 2 相連。同時(shí)，光刻膠傳輸管2上設(shè)置有過濾器2.1。
[0034] 主控電路7. 1控制旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)7. 2使旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1只沿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度或270 度，旋轉(zhuǎn)90度后，第一通孔3. 1. 1與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3. 3. 2對(duì)齊連通，第二通孔 3. 1. 2與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3,即使得涂布刮刀5與光刻膠抽取裝置4連 通；旋轉(zhuǎn)270度后，第一通孔3. 1. 1與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3對(duì)齊連通，第 二通孔3. 1. 2與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1連通，即使得光刻膠容器1與光刻膠抽 取裝置4連通。主控電路7. 1控制直線電機(jī)7. 2使光刻膠抽取活塞4. 2向外退出或向內(nèi)推 進(jìn)光刻膠抽取筒4. 1。
[0035] 本發(fā)明工作原理如下：
[0036] 開始工作前，會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1進(jìn)行位置初調(diào)，使其第一通孔3. 1. 1與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi) 殼光膠抽取裝置接口 3. 3. 3對(duì)齊連通，第二通孔3. 1. 2與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3. 3. 1 連通，即使得光刻膠容器1與光刻膠抽取裝置4連通。然后啟動(dòng)主控電路7. 1，開始工作，此 時(shí)，主控電路7. 1控制光刻膠抽取活塞4. 2向外退出光刻膠抽取筒4. 1，將光刻膠容器1中 的光刻膠抽取至光刻膠抽取筒4. 1中；接著主控電路7. 1控制旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1旋轉(zhuǎn)90度，然 后控制光刻膠抽取活塞4. 2向內(nèi)推進(jìn)光刻膠抽取筒4. 1，將光刻膠抽取筒4. 1內(nèi)的光刻膠輸 送至涂布刮刀5上；接著主控電路7. 1控制旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1旋轉(zhuǎn)270度，然后控制光刻膠抽取 活塞4. 2向外退出光刻膠抽取筒4. 1，將光刻膠容器1中的光刻膠抽取至光刻膠抽取筒4. 1 內(nèi)；接著主控電路7. 1控制旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1旋轉(zhuǎn)90度…如此反復(fù)，完成對(duì)光刻膠的輸送工作， 并且輸送光刻膠結(jié)束后，主控電路7. 1會(huì)控制使旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1是處于使涂布刮刀5與光刻 膠抽取裝置4連通的狀態(tài)。
[0037] 如何通過電路實(shí)現(xiàn)這種循環(huán)控制是本領(lǐng)域的慣用技術(shù)手段，在此不做詳述。
[0038] 而光刻膠的回收則是上述輸送的逆過程：主控電路7. 1控制光刻膠抽取活塞4. 2 向外退出光刻膠抽取筒4. 1，將涂布刮刀5及涂布刮刀傳輸管6內(nèi)殘留的光刻膠抽取至光 刻膠抽取筒4. 1中；接著主控電路7. 1控制旋轉(zhuǎn)閥芯3. 1旋轉(zhuǎn)270度，然后控制光刻膠抽 取活塞4. 2向內(nèi)推進(jìn)光刻膠抽取筒4. 1，將光刻膠抽取筒4. 1內(nèi)光刻膠輸送至光刻膠容器1 中，同時(shí)光刻膠傳輸管2及過濾器2. 1內(nèi)的殘留光刻膠亦被推回至光刻膠容器1中，完成對(duì) 殘留的光刻膠的回收。
【權(quán)利要求】
1. 一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器（1)、光刻膠傳輸管（2)、光刻膠抽取 裝置（4)、涂布刮刀（5)、涂布刮刀傳輸管（6)和動(dòng)力裝置（7)，其特征在于：還包括旋轉(zhuǎn)閥 門⑶； 所述旋轉(zhuǎn)閥門（3)通過光刻膠傳輸管（2)與光刻膠容器（1)相連； 所述旋轉(zhuǎn)閥門（3)通過涂布刮刀傳輸管（6)與涂布刮刀（5)相連； 所述旋轉(zhuǎn)閥門（3)通過螺紋與光刻膠抽取裝置（4)相連； 所述動(dòng)力裝置（7)同時(shí)與旋轉(zhuǎn)閥門（3)和光刻膠抽取裝置（4)相連。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠涂布及回收裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)閥門（3) 包括，旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼（3. 3);旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)的一端設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼 (3. 3)上，另一端與動(dòng)力裝置（7)相連，旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)相對(duì)于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼（3. 3)旋轉(zhuǎn)； 所述旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)設(shè)置有第一通孔（3. 1. 1)、第二通孔（3. 1. 2)、旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接 軸（3. 1. 3)、通孔防滲漏墊圈（3. 1. 4)、活動(dòng)卡盤（3. 1. 5)和卡盤防滲漏墊圈（3. 1. 6);所 述第一通孔（3. 1. 1)和第二通孔（3. 1. 2)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)的一端，所述旋轉(zhuǎn)閥芯電 機(jī)連接軸（3. 1. 3)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)的另一端，所述活動(dòng)卡盤（3. 1. 5)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥 芯（3.1)的軸向中間位置；所述第一通孔（3. 1.1)和第二通孔（3. 1.2)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥芯 (3. 1)的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線成90度夾角，同時(shí)，二者在旋 轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)內(nèi)部是連通的；所述第一通孔（3. 1. 1)和第二通孔（3. 1. 2)開口外圍處設(shè)置 有通孔防滲漏墊圈（3. 1.4);所述活動(dòng)卡盤（3. 1.5)靠通孔的一側(cè)設(shè)置有卡盤防滲漏墊圈 (3. 1. 6)； 所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼（3. 3)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口（3.3. 1)、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi) 殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口（3. 3. 3)、旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔 (3. 3. 4)、銷釘孔（3. 3. 5)和活動(dòng)卡槽（3. 3. 6);所述旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔（3. 3. 4)設(shè)置于旋轉(zhuǎn) 閥門內(nèi)殼（3.3) -底面的中心位置且孔的一端是密封的，所述活動(dòng)卡槽（3.3.6)設(shè)置于旋 轉(zhuǎn)閥芯固定孔（3. 3. 4)的未密封端；所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口（3. 3. 1)、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi) 殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口（3. 3. 3)分別設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門 內(nèi)殼（3. 3)的三個(gè)側(cè)面上且各接口均與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔（3. 3.4)連通，各接口均設(shè)置有內(nèi) 螺紋；所述銷釘孔（3. 3. 5)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼（3. 3)底面的四個(gè)角上，用于固定旋轉(zhuǎn)閥門 ⑶。 所述旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)帶通孔的一端與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔（3. 3. 4)相匹配，所述活動(dòng)卡盤 (3. 1. 5)與活動(dòng)卡槽（3. 3. 6)相匹配，旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼（3. 3)通過活動(dòng)卡盤 (3. 1. 5)與活動(dòng)卡槽（3. 3. 6)固定連接，且二者可相對(duì)旋轉(zhuǎn)；在旋轉(zhuǎn)閥芯（3. 1)旋轉(zhuǎn)一定角 度后，所述第一通孔（3. 1. 1)孔、第二通孔（3. 1. 2)孔分別與所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接 口（3. 3. 1)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽 取裝置接口（3. 3. 3)的內(nèi)開口中的二者相對(duì)應(yīng)；所述旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸（3. 1.3)與動(dòng)力 裝置（7)相連。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光刻膠涂布及回收裝置，其特征在于：所述光刻膠傳輸 管（2)、光刻膠抽取裝置（4)和涂布刮刀傳輸管（6)的一端設(shè)置有分別與所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼 光膠容器接口（3. 3.1)、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口（3. 3. 3)和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮 刀接口（3.3.2)內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，光刻膠傳輸管（2)、光刻膠抽取裝置（4)和涂布刮 刀傳輸管（6)分別與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口（3.3. 1)、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接 口（3. 3. 3)和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口（3. 3. 2)相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種光刻膠涂布及回收裝置，其特征在于：所述光刻膠 抽取裝置（4)設(shè)置有光刻膠抽取筒（4. 1)和光刻膠抽取活塞（4. 2);光刻膠抽取活塞（4. 2) 設(shè)置于光刻膠抽取筒（4. 1)內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種光刻膠涂布及回收裝置，其特征在于：所述動(dòng)力裝置（7) 包括主控電路（7. 1)、旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)（7. 2)和直線電機(jī)（7. 3);主控電路（7. 1)分別與旋轉(zhuǎn) 閥芯電機(jī)（7. 2)和直線電機(jī)（7. 3)相連，旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)（7. 2)與所述旋轉(zhuǎn)閥芯電機(jī)連接軸 (3. 1. 3)相連，直線電機(jī)（7. 3)與所述光刻膠抽取活塞（4. 2)相連。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光刻膠涂布及回收裝置，其特征在于：所述光刻膠傳輸 管（2)上設(shè)置有過濾器（2. 1)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104155848SQ201410350544
【公開日】2014年11月19日 申請(qǐng)日期:2014年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月22日
【發(fā)明者】楊海浪, 魏鋒, 禹浩榮 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司