基板支撐件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明揭示一種基板支撐件。該基板支撐件包括：襯套，具有貫穿該襯套兩端的縱向通孔；升降銷，至少部分地設(shè)置在該通孔內(nèi)，并能夠在該通孔內(nèi)沿縱向移動(dòng)；至少一軸承機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該通孔內(nèi)且位于該升降銷的外圍，以滾動(dòng)支撐該升降銷；其中該軸承機(jī)構(gòu)包括彼此平行的兩個(gè)第一軸承件和彼此平行的兩個(gè)第二軸承件，所述兩個(gè)第一軸承件垂直于所述兩個(gè)第二軸承件，所述第一軸承件和所述第二軸承件沿該襯套的縱向交錯(cuò)設(shè)置，能夠防止升降銷或軸承件異常斷裂。
【專利說明】基板支撐件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及基板支撐領(lǐng)域，且特別涉及一種基板支撐件以及用于支撐基板的承接 裝直。

【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)今，在例如0LED等許多電子器件的制造過程中，都需要在基板（例如玻璃基板） 上進(jìn)行蝕刻、蒸鍍、沉積、涂布等操作。實(shí)現(xiàn)這些操作的設(shè)備中都必須有用于支撐玻璃基板 的承接裝置。在現(xiàn)有的用于支撐玻璃基板承接裝置中，常常發(fā)生由于玻璃基板受重力彎曲 而致使承接裝置中的關(guān)鍵部件（例如支撐銷、軸承）發(fā)生損壞，并進(jìn)而影響到上述操作的品 質(zhì)。
[0003] 圖1示出了現(xiàn)有的一種用于支撐玻璃基板的承接裝置的縱截面的結(jié)構(gòu)示意圖。圖 2為現(xiàn)有技術(shù)的襯套的結(jié)構(gòu)示意圖。在現(xiàn)有的基板支撐件2結(jié)構(gòu)中，當(dāng)玻璃被升降銷21頂 起時(shí)，因玻璃板3彎曲的關(guān)系，整根升降銷21呈傾斜狀態(tài)（如圖1所示），襯套22中滾筒 62(如圖2所示）單邊受力過大。因此，這種承接裝置中的襯套結(jié)構(gòu)會(huì)造成以下缺點(diǎn)：（1) 襯套內(nèi)間隙過小，只要堆積一定程度的顆粒物，升降銷就會(huì)卡死在襯套內(nèi)，造成破片或升降 銷斷裂；（2)滾筒體積過小，造成升降銷與滾筒的接觸面積過小，當(dāng)升降銷傾斜時(shí)，滾筒的 受力點(diǎn)落在垂直軸承間的直角位置時(shí)，這樣會(huì)更易破壞滾筒或軸承，最終造成升降銷卡死 發(fā)生破片，或者會(huì)導(dǎo)致升降銷過分彎曲，最終造成升降銷內(nèi)傷甚至攔腰折斷。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的是提供一種基板支撐件以及用于支撐基板的承接裝置，以防止升降 銷或軸承件異常斷裂。
[0005] 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種基板支撐件，包括：襯套，具有貫穿該襯套兩端的 縱向通孔；升降銷，至少部分地設(shè)置在該通孔內(nèi)，并能夠在該通孔內(nèi)沿縱向移動(dòng)；至少一軸 承機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該通孔內(nèi)且位于該升降銷的外圍，以滾動(dòng)支撐該升降銷；其中該軸承機(jī)構(gòu)包 括彼此平行的兩個(gè)第一軸承件和彼此平行的兩個(gè)第二軸承件，所述兩個(gè)第一軸承件垂直于 所述兩個(gè)第二軸承件，所述第一軸承件和所述第二軸承件沿該襯套的縱向交錯(cuò)設(shè)置。
[0006] 在上述基板支撐件中，所述第一軸承件和所述第二軸承件的縱向交錯(cuò)方式可以 是：所述兩個(gè)第一軸承件都位于該縱向上的第一高度，所述兩個(gè)第二軸承件都位于該縱向 上的第二高度。
[0007] 在上述基板支撐件中，所述第一軸承件和所述第二軸承件的縱向交錯(cuò)方式可以 是：所述兩個(gè)第一軸承件分別位于該縱向上的第一、三高度，所述兩個(gè)第二軸承件分別位于 該縱向上的第二、四高度。
[0008] 在上述基板支撐件中，所述軸承機(jī)構(gòu)的數(shù)量可以為一個(gè)；該軸承機(jī)構(gòu)設(shè)置在該襯 套的縱向中部或上端，且相鄰的軸承件之間沿襯套縱向間隔一定距離。
[0009] 在上述基板支撐件中，所述軸承機(jī)構(gòu)的數(shù)量可以為兩個(gè)，分別設(shè)置在該襯套的兩 端。
[0010] 在上述基板支撐件中，位于該襯套的上端的軸承機(jī)構(gòu)的最下方軸承件與位于該襯 套的下端的軸承機(jī)構(gòu)的最上方軸承件可以平行或垂直。
[0011] 在上述基板支撐件中，該通孔的橫截面可以為正方形。
[0012] 在上述基板支撐件中，各軸承件均可以包括：一軸，兩端設(shè)置于該襯套的內(nèi)壁中； 一滾筒，可滾動(dòng)地套設(shè)于該軸上且與該襯套的正方形通孔的內(nèi)壁平行。
[0013] 在上述基板支撐件中，該升降銷可以具有一主體及位于該主體上端的頂部，該升 降銷的縱截面呈T形。
[0014] 在上述基板支撐件中，該升降銷的主體可以為一圓柱體，該滾筒的外表面具有與 該圓柱體相配合的凹面。
[0015] 在上述基板支撐件中，該襯套的橫截面外輪廓為正方形。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面提供一種用于支撐基板的承接裝置，包括：機(jī)臺(tái)，所述機(jī) 臺(tái)用于承載待加工的基板；以及多個(gè)前述基板支撐件，所述基板支撐件設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)中。
[0017] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，由于本發(fā)明軸承機(jī)構(gòu)的兩個(gè)第一軸承件垂直于兩個(gè)第二軸承 件，所述第一軸承件和所述第二軸承件沿該襯套的縱向交錯(cuò)設(shè)置，從而本發(fā)明主要具有如 下有益技術(shù)效果：
[0018] 1)允許在有限的空間內(nèi)增加滾筒長(zhǎng)度，從而盡可能使升降銷在滾筒的任何位置都 有受力點(diǎn)，避免升降銷過分彎曲造成攔腰折斷。
[0019] 2)允許在有限的空間內(nèi)增加滾筒的直徑，例如是現(xiàn)有滾筒直徑的兩倍，從而可以 增加軸承件的強(qiáng)度，減少軸承件斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。
[0020] 3)襯套內(nèi)部間隙較慣用技術(shù)大，所以間隙堆積顆粒物造成滾筒卡死的風(fēng)險(xiǎn)較低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021] 通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征、 目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯：
[0022] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)的用于支撐玻璃基板的承接裝置的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖2為現(xiàn)有技術(shù)的襯套的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 圖3為本發(fā)明的第一實(shí)施例的用于支撐基板的承接裝置的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025] 圖4為本發(fā)明的第一實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026] 圖5為本發(fā)明的第一實(shí)施例的升降銷的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027] 圖6為本發(fā)明的第一實(shí)施例的襯套俯視圖；
[0028] 圖7為本發(fā)明的第二實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0029] 圖8為本發(fā)明的第三實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030] 附圖標(biāo)記說明
[0031] 1 機(jī)臺(tái)
[0032] 11階梯孔
[0033] 2基板支撐件
[0034] 21升降銷
[0035] 211 頂部
[0036] 212 主體
[0037] 22 襯套
[0038] 221 通孔
[0039] 3 基板
[0040] 4升舉組件
[0041] 5 軸承機(jī)構(gòu)
[0042] 51第一軸承件
[0043] 52第二軸承件
[0044] 511、521 軸承
[0045] 512、522 滾筒

【具體實(shí)施方式】
[0046] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行進(jìn)一步地說明：
[0047] 本發(fā)明實(shí)施例提供的承接裝置可以適用于任何測(cè)試室、處理室、或需要支撐基板 的系統(tǒng)中。例如，在用于制造0LED的薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管（TFT)沉積工藝中，沉積室內(nèi)就需 要這樣用于支撐基板的承接裝置。
[0048] 圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的用于支撐基板的承接裝置的縱截面結(jié)構(gòu) 示意圖。具體地，所述承接裝置包括機(jī)臺(tái)1以及多個(gè)基板支撐件2。其中，在圖3所示的承 接裝置的縱截面中，機(jī)臺(tái)1中心線的兩側(cè)各設(shè)有一基板支撐件2。優(yōu)選地，兩個(gè)基板支撐件 2沿機(jī)臺(tái)1的中心線對(duì)稱?；逯渭?至少部分地設(shè)置于機(jī)臺(tái)1中。每個(gè)基板支撐件2 包括升降銷21、襯套22以及軸承機(jī)構(gòu)（參見圖4)。襯套22完全設(shè)置于機(jī)臺(tái)1中。升降銷 21縱向貫穿襯套22并且部分穿出機(jī)臺(tái)1，且升降銷21可在襯套22中垂直上下運(yùn)動(dòng)。
[0049] 如圖3所示，待加工的基板3(例如玻璃板）被放置于機(jī)臺(tái)1的上方。當(dāng)多根升降 銷21同時(shí)上升時(shí)，升降銷21的頂部向上頂起基板3,使基板3保持水平上升，以起到支撐基 板3升降的作用。
[0050] 在圖3所示的優(yōu)選例中，升降銷21的升降可以通過位于升降銷21下方的升舉組 件4進(jìn)行控制，當(dāng)升舉組件4上升后同時(shí)將多根升降銷21的底部托舉上升，進(jìn)而升降銷21 的頂部將置于其上方的基板3頂起，直至升舉組件4上升至機(jī)臺(tái)1底部時(shí)，升降銷21上升 至最高位置。類似地，升降銷21需要下降時(shí)，由升舉組件4開始逐步下降，由于升降銷21 缺少升舉組件4的支撐，因此，多根升降銷21將同時(shí)下降，進(jìn)而基板3將隨升降銷21同時(shí) 下降，直至基板3回到機(jī)臺(tái)1的表面。
[0051] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5示 出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的升降銷的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。其中，基板支撐件2包括襯 套22、升降銷21以及軸承機(jī)構(gòu)5。
[0052] 如圖4所示，襯套22具有一縱向貫穿襯套22的通孔221。通孔221的橫截面優(yōu)選 為正方形，襯套22的橫截面外輪廓優(yōu)選也為正方形，這樣不僅易于加工襯套，而且有利于 進(jìn)一步加大襯套內(nèi)部間隙和軸承件的尺寸。
[0053] 升降銷21至少部分地設(shè)置在通孔221內(nèi)，并且升降銷21能夠在通孔221內(nèi)沿縱 向移動(dòng)。如圖5所示，升降銷21具有一主體212及位于主體212上端的頂部211。升降銷 21頂部211橫截面面積大于其下方主體212的橫截面面積。升降銷21的縱截面優(yōu)選地呈 T形。相應(yīng)地，在圖3所示的機(jī)臺(tái)1上設(shè)有與升降銷21形狀相對(duì)應(yīng)的階梯孔11。當(dāng)基板3 回到機(jī)臺(tái)1的上表面時(shí)，升降銷21進(jìn)入機(jī)臺(tái)1的階梯孔11中，由于階梯孔11的形狀與升 降銷21對(duì)應(yīng)，因此可以限制升降銷21的位置，防止其繼續(xù)下降。
[0054] 在本發(fā)明的上述實(shí)施例中，升降銷21的主體212為一長(zhǎng)方體。而在其他變化例中， 升降銷21的主體212也可以是一圓柱體。
[0055] 如圖4所示，襯套22兩端附近分別設(shè)置一套軸承機(jī)構(gòu)5。各軸承機(jī)構(gòu)5均設(shè)置于 通孔221內(nèi)且位于升降銷21的外圍，以滾動(dòng)支撐升降銷21。在此，兩套軸承機(jī)構(gòu)5可優(yōu)選 分別靠近襯套22兩端。
[0056] 各軸承機(jī)構(gòu)5均可以包括彼此平行的兩個(gè)第一軸承件51和彼此平行的兩個(gè)第二 軸承件52,兩個(gè)第一軸承件51垂直于兩個(gè)第二軸承件52,并且第一軸承件51和第二軸承 件52沿襯套22的縱向交錯(cuò)設(shè)置。由此，有利于在有限的空間內(nèi)增加滾筒長(zhǎng)度和直徑，盡可 能使升降銷在滾筒的任何位置都有受力點(diǎn)，避免升降銷過分彎曲造成攔腰折斷，減少軸承 件斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。
[0057] 在圖4所示的優(yōu)選例中，第一軸承件51和第二軸承件52的縱向交錯(cuò)方式是：兩個(gè) 第一軸承件51都位于襯套22縱向上的第一高度，兩個(gè)第二軸承件52都位于該縱向上的第 二高度，其中所述第一高度位于所述第二高度的上方。
[0058] 每個(gè)第一軸承件51均包括：一軸511以及一滾筒512。每個(gè)第二軸承件52均包括： 一軸521以及一滾筒522。其中，軸511/521的兩端設(shè)置于襯套22的內(nèi)壁中，滾筒512/522 可滾動(dòng)地套設(shè)于軸511/521上且與襯套22的正方形通孔221的內(nèi)壁平行。
[0059] 在一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)升降銷21的主體212為圓柱體時(shí)。滾筒512/522的外表面可 以設(shè)有一與升降銷21的圓柱形主體212形狀相對(duì)應(yīng)的凹面，所述凹面與升降銷21的主體 212的外表面相貼合，從而更有利于升降銷21垂直方向的上下移動(dòng)。
[0060] 在圖4所示的優(yōu)選例中，在該襯套22的兩端均設(shè)有一軸承機(jī)構(gòu)5。其中位于襯套 22的上端的軸承機(jī)構(gòu)5的第二軸承件52與位于襯套22的下端的軸承機(jī)構(gòu)5的第一軸承件 51相垂直，也即兩套軸承機(jī)構(gòu)5之間相鄰的軸承件彼此垂直。
[0061] 圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的襯套的俯視圖。具體地，如圖6所示，由于 兩個(gè)第一軸承件51垂直于兩個(gè)第二軸承件52,并且第一軸承件51和第二軸承件52沿襯套 22的縱向交錯(cuò)設(shè)置，因此，從襯套22的通孔221處俯視時(shí)，兩個(gè)第一軸承件51與兩個(gè)第二 軸承件52之間相互交錯(cuò)形成井字形。
[0062] 圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。在第二 實(shí)施例中，類似地，在該襯套22的兩端均設(shè)有一套軸承機(jī)構(gòu)5。與上述圖4所示第一實(shí)施例 不同的是，位于襯套22的上端的軸承機(jī)構(gòu)5的第二軸承件52與位于襯套22的下端的軸承 機(jī)構(gòu)5的第一軸承件51相平行。
[0063] 圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的襯套以及軸承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中省 略了襯套22的下半部分。在第三實(shí)施例中，同樣地，該襯套22的兩端均設(shè)有一套軸承機(jī)構(gòu) 5。與上述圖4所示第一實(shí)施例不同的是，每一套軸承機(jī)構(gòu)5中的第一軸承件51和第二軸 承件52的縱向交錯(cuò)方式是：兩個(gè)第一軸承件51分別位于襯套22縱向上的第一、三高度，兩 個(gè)第二軸承件52分別位于該縱向上的第二、四高度。如圖8所示，在此實(shí)施例中，襯套22 縱向上高度從上至下分別為第一高度、第二高度、第三高度、第四高度。雖然第三實(shí)施例的 縱向交錯(cuò)方式與第一實(shí)施例不同，但從襯套22的通孔221處俯視時(shí)，兩個(gè)第一軸承件51與 兩個(gè)第二軸承件52之間也同樣相互交錯(cuò)成井字形。
[0064] 更進(jìn)一步地，根據(jù)圖8所示實(shí)施例，還可以有其他變化例，例如襯套22縱向上高度 從上至下分別為第一高度、第三高度、第二高度、第四高度。
[0065] 上述各實(shí)施例中均設(shè)有兩套軸承機(jī)構(gòu)5,但并不限于此。軸承機(jī)構(gòu)5可以是至少 一套，例如設(shè)置在襯套22的上端（即靠近階梯孔11的一個(gè)端部）或縱向中部，兩第一軸承 件51和兩二軸承件52采用類似圖8的縱向交錯(cuò)方式并且彼此沿襯套22縱向間隔一定距 離。該距離一般大于在襯套兩端都設(shè)置軸承機(jī)構(gòu)時(shí)各軸承件之間的縱向間隔距離，本領(lǐng)域 技術(shù)人員可根據(jù)具體應(yīng)用情況（例如升降銷、襯套、軸承件等的實(shí)際尺寸）來選擇適當(dāng)?shù)木?離值。
[0066]總體而言，采用本發(fā)明實(shí)施例的基板支撐件及承接裝置，由于軸承機(jī)構(gòu)的兩個(gè)第 一軸承件垂直于兩個(gè)第二軸承件，所述第一軸承件和所述第二軸承件沿該襯套的縱向交錯(cuò) 設(shè)置，從而主要具有如下有益技術(shù)效果：
[0067] 1)允許在有限的空間內(nèi)增加滾筒長(zhǎng)度，從而盡可能使升降銷在滾筒的任何位置都 有受力點(diǎn)，避免升降銷過分彎曲造成攔腰折斷。
[0068] 2)允許在有限的空間內(nèi)增加滾筒的直徑，例如是現(xiàn)有滾筒直徑的兩倍，從而可以 增加軸承件的強(qiáng)度，減少軸承件斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。
[0069] 3)襯套內(nèi)部間隙較慣用技術(shù)大，所以間隙堆積顆粒物造成滾筒卡死的風(fēng)險(xiǎn)較低。
[0070] 雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬 【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與修改。因此， 本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種基板支撐件，包括： 襯套，具有貫穿該襯套兩端的縱向通孔； 升降銷，至少部分地設(shè)置在該通孔內(nèi)，并能夠在該通孔內(nèi)沿縱向移動(dòng)； 至少一軸承機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該通孔內(nèi)且位于該升降銷的外圍，以滾動(dòng)支撐該升降銷； 其特征在于，該軸承機(jī)構(gòu)包括彼此平行的兩個(gè)第一軸承件和彼此平行的兩個(gè)第二軸承 件，所述兩個(gè)第一軸承件垂直于所述兩個(gè)第二軸承件，所述第一軸承件和所述第二軸承件 沿該襯套的縱向交錯(cuò)設(shè)置。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，所述第一軸承件和所述第二軸承件 的縱向交錯(cuò)方式是：所述兩個(gè)第一軸承件都位于該縱向上的第一高度，所述兩個(gè)第二軸承 件都位于該縱向上的第二高度。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，所述第一軸承件和所述第二軸承件 的縱向交錯(cuò)方式是：所述兩個(gè)第一軸承件分別位于該縱向上的第一、三高度，所述兩個(gè)第二 軸承件分別位于該縱向上的第二、四高度。
4. 如權(quán)利要求3所述的基板支撐件，其特征在于，所述軸承機(jī)構(gòu)的數(shù)量為一個(gè)；該軸承 機(jī)構(gòu)設(shè)置在該襯套的縱向中部或上端，且相鄰的軸承件之間沿襯套縱向間隔一定距離。
5. 如權(quán)利要求2或3所述的基板支撐件，其特征在于，所述軸承機(jī)構(gòu)的數(shù)量為兩個(gè)，分 別設(shè)置在該襯套的兩端。
6. 如權(quán)利要求5所述的基板支撐件，其特征在于，位于該襯套的上端的軸承機(jī)構(gòu)的最 下方軸承件與位于該襯套的下端的軸承機(jī)構(gòu)的最上方軸承件平行或垂直。
7. 如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基板支撐件，其特征在于，該通孔的橫截面為正方 形。
8. 如權(quán)利要求7所述的基板支撐件，其特征在于，各軸承件均包括：一軸，兩端設(shè)置于 該襯套的內(nèi)壁中；一滾筒，可滾動(dòng)地套設(shè)于該軸上且與該襯套的正方形通孔的內(nèi)壁平行。
9. 如權(quán)利要求8所述的基板支撐件，其特征在于，該升降銷具有一主體及位于該主體 上端的頂部，該升降銷的縱截面呈T形。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板支撐件，其特征在于，該升降銷的主體為一圓柱體，該滾 筒的外表面具有與該圓柱體相配合的凹面，該襯套的橫截面外輪廓為正方形。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK104051315SQ201410273362
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年6月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月18日
【發(fā)明者】黃德倫, 許修齊 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司