橫梁和用于處理襯底的設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種橫梁和一種襯底處理設(shè)備。所述橫梁包含：棱柱結(jié)構(gòu)，所述棱柱結(jié)構(gòu)具有正四方柱形狀且由金屬材料形成，所述棱柱結(jié)構(gòu)通過將多個板形產(chǎn)品耦接而制造；以及碳纖維增強材料，所述碳纖維增強材料繞著所述棱柱結(jié)構(gòu)的外側(cè)纏繞若干次且重復地堆疊。
【專利說明】橫梁和用于處理襯底的設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及橫梁以及用于通過使用橫梁來處理襯底的設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002] -般來說，施配器是用來在用于制造例如IXD和0LED等平板顯示器的過程中將密 封劑或液晶涂覆（或滴落）到襯底上的襯底處理設(shè)備。也就是說，此類施配器可在襯底設(shè) 置在臺上的狀態(tài)下通過使用施配頭單元將密封劑涂覆到襯底上或?qū)⒁壕У温涞揭r底上。
[0003] 圖1是施配器的視圖。所述施配器包含用于支撐施配頭單元20的支撐梁10。支 撐梁10可設(shè)置在框架上以沿著導軌在X軸方向上移動，且施配頭單元20可相對于支撐梁 10在Y軸和Z軸方向上移動。因此，施配頭單元20可在相對于襯底在X軸、Y軸和Z軸方 向上相對移動時將密封劑或液晶涂覆到襯底上。
[0004] 此處，支撐梁10可包含橫過放置襯底的臺的長的結(jié)構(gòu)。所述結(jié)構(gòu)可沿施配器的X 軸方向長長地設(shè)置以支撐施配頭單元20。支撐梁10可被叫做橫梁或大梁（在下文中，支撐 梁將被稱作橫梁）。
[0005] -般來說，橫梁10可被制造為鑄造結(jié)構(gòu)或擠壓結(jié)構(gòu)。鑄造結(jié)構(gòu)在重量上可能會增 力口。并且，在鑄造結(jié)構(gòu)的特性方面，鑄造用砂可以是可從鑄造結(jié)構(gòu)移除的。因此，鑄造結(jié)構(gòu) 可能具有重量重且剛性弱的缺點。并且，在擠壓結(jié)構(gòu)的特性方面，擠壓結(jié)構(gòu)在長度上可能是 有限的。因此，如果梁的長度較長，那么在剛性方面，梁的一部分在結(jié)構(gòu)上可能是弱的。為 了解決鑄造結(jié)構(gòu)和擠壓結(jié)構(gòu)的上述限制，直到最近為止，已以各種方式開發(fā)出使用碳纖維 增強塑料（CFRP)的方法。例如，第10-0712680號韓國專利揭示了一種用于將圓形CFRP附 接到擠壓結(jié)構(gòu)內(nèi)部的方法。
[0006] 然而，這種方法可利用通過使用螺栓將各自具有板形或圓形形狀的CFRP組裝到 擠壓結(jié)構(gòu)或通過使用環(huán)氧樹脂（樹脂）將各自具有板形或圓形形狀的CFRP附接到擠壓結(jié) 構(gòu)的方法。也就是說，在相關(guān)技術(shù)中，雖然CFRP在直角轉(zhuǎn)角處彼此會合，但CFRP彼此分離。 并且，當擠壓結(jié)構(gòu)經(jīng)由擠壓（拉拔）制造成長的時，如圖2所說明，擠壓結(jié)構(gòu)可能具有較差 直線度。明確地說，隨著平板顯示器中襯底變大，設(shè)備也可能變大。因此，橫梁可具有約4 米或4米以上的長度。因此，隨著橫梁長度增加，直線度可能會惡化。會這樣的原因是，施 配頭單元通過例如橫梁等線性運動結(jié)構(gòu)而移動且因此如圖2所說明具有較差直線度。
[0007] 并且，由于擠壓結(jié)構(gòu)具有空的結(jié)構(gòu)，因此如果對擠壓結(jié)構(gòu)進行處理，那么擠壓結(jié)構(gòu) 的壁可能會坍塌。因此，可能難以進行用于改善直線度和平面度的過程。根據(jù)2008年申請 的第10-1029783號韓國專利，為了解決上述限制，可將CFRP彼此組裝，且接著，可將各自具 有極厚厚度的金屬板另外組裝到CFRP的外表面（四個表面），從而改善直線度和平面度。 雖然不對具有空白空間的擠壓結(jié)構(gòu)進行處理，但如第10-1029783號韓國專利中所揭示，可 通過使用例如CFRP等金屬材料來增補擠壓結(jié)構(gòu)的剛性。因此，可進行額外處理過程以確保 直線度和平面度以使施配頭單元能夠直線移動。然而，當進行用于改善長度約4米的橫梁 中的擠壓缺陷的額外處理過程時，對最外金屬材料進行處理的深度可為約5毫米。因此，設(shè) 置在CFRP的各個外表面上的金屬板可能要在厚度極厚的情況下進行組裝，從而增加最終 橫梁的重量。
[0008] [現(xiàn)有技術(shù)文件]
[0009] [專利文件]
[0010] 第10-0712680號韓國專利


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明提供一種經(jīng)由除了擠壓模制之外的其它方法制造以改善其直線度和平面 度的橫梁。
[0012] 本發(fā)明還提供一種經(jīng)由除了板式涂布方法之外的其它類型的涂布方法制造的碳 纖維增強材料。
[0013] 本發(fā)明還提供一種重量輕且改善自然頻率和變形的誤差的橫梁。
[0014] 根據(jù)一示范性實施例，一種橫梁包含：棱柱結(jié)構(gòu)，所述棱柱結(jié)構(gòu)具有正四方柱形狀 且由金屬材料形成，所述棱柱結(jié)構(gòu)通過將多個板形產(chǎn)品耦接而制造；以及碳纖維增強材料， 所述碳纖維增強材料繞著所述棱柱結(jié)構(gòu)的外側(cè)纏繞若干次且重復地堆疊。
[0015] 所述棱柱結(jié)構(gòu)可包含：作為矩形板而提供的第一板形產(chǎn)品，所述第一板形產(chǎn)品具 有作為長邊的第一長邊和作為短邊的第一短邊，其中所述第一長邊比所述第一短邊長；作 為矩形板而提供的第二板形產(chǎn)品，所述第二板形產(chǎn)品具有作為長邊的第二長邊和作為短邊 的第二短邊，其中所述第二長邊比所述第二短邊長；作為矩形板而提供的第三板形產(chǎn)品，所 述第三板形產(chǎn)品具有作為長邊的第三長邊和作為短邊的第三短邊，其中所述第三長邊比所 述第三短邊長；以及作為矩形板而提供的第四板形產(chǎn)品，所述第四板形產(chǎn)品具有作為長邊 的第四長邊和作為短邊的第四短邊，其中所述第四長邊比所述第四短邊長，其中所述第一 板形產(chǎn)品、所述第二板形產(chǎn)品、所述第三板形產(chǎn)品以及所述第四板形產(chǎn)品可分別耦接到所 述棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面以形成正四方柱形狀。
[0016] 所述第一板形產(chǎn)品、所述第二板形產(chǎn)品、所述第三板形產(chǎn)品以及所述第四板形產(chǎn) 品中的每一個可具有根據(jù)所述橫梁的大小來確定長度的所述長邊和短邊。
[0017] 所述板形產(chǎn)品中的每一個的所述短邊可具有比所述長邊的長度的十分之一大的 長度。
[0018] 所述碳纖維增強材料可包含將碳纖維與環(huán)氧樹脂混合的碳纖維增強塑料（CFRP)。
[0019] 所述碳纖維增強材料可通過重復地卷繞所述CFRP以環(huán)繞所述棱柱結(jié)構(gòu)的左表 面、頂表面、右表面和底表面的外側(cè)直到所述CFRP具有所要厚度為止且接著使所述CFRP熱 固化或自然固化來制造。
[0020] 線狀凹槽可界定于所述棱柱結(jié)構(gòu)的所述左表面和右表面中的至少一個中，且環(huán)繞 所述棱柱結(jié)構(gòu)的所述碳纖維增強材料可穿過以對應(yīng)于所述線狀凹槽且因此向外暴露。
[0021] 由金屬材料形成的分離支撐件可耦接到所述線狀凹槽。
[0022] 所述橫梁可還包含由金屬材料形成的增強平臺，所述增強平臺設(shè)置于所述棱柱結(jié) 構(gòu)內(nèi)以支撐所述棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面。
[0023] 根據(jù)另一示范性實施例，一種襯底處理設(shè)備包含：襯底臺，所述襯底擱置在所述襯 底臺上；以及橫梁，所述橫梁沿著所述襯底臺的上部部分移動，其中橫梁包含：棱柱結(jié)構(gòu)， 所述棱柱結(jié)構(gòu)具有正四方柱形狀且由金屬材料形成，所述棱柱結(jié)構(gòu)通過將多個板形產(chǎn)品耦 接而制造；以及碳纖維增強材料，所述碳纖維增強材料繞著所述棱柱結(jié)構(gòu)的外側(cè)纏繞若干 次且重復地堆疊。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024] 可結(jié)合附圖從以下描述更詳細地理解示范性實施例。
[0025] 圖1是包含用于支撐施配頭單元的橫梁的原材料溶液施配器的透視圖。
[0026] 圖2是說明根據(jù)相關(guān)技術(shù)的擠壓方法擠壓形成的經(jīng)處理產(chǎn)品的較差表面直線度 的實例的視圖。
[0027] 圖3 (a)、圖3(b)是說明根據(jù)示范性實施例的將多個板式的經(jīng)處理產(chǎn)品彼此耦接 以制造棱柱形結(jié)構(gòu)的過程的透視圖。
[0028] 圖4 (a)、圖4 (b)是說明根據(jù)示范性實施例的將碳纖維增強塑料（CFRP)繞著棱柱 形結(jié)構(gòu)的外表面纏繞且重復地堆疊的過程的視圖。
[0029] 圖5(a)、圖5(b)是說明根據(jù)示范性實施例的支撐件安裝于線狀凹槽中的狀態(tài)的 視圖。
[0030] 圖6是說明根據(jù)示范性實施例的棱柱形結(jié)構(gòu)是通過將肋狀物安裝于其中而增強 的狀態(tài)的視圖。
[0031] 主要元件標號說明：
[0032] 10 :支撐梁
[0033] 20 :施配頭單元
[0034] 100 :棱柱形結(jié)構(gòu)
[0035] 110:板形產(chǎn)品
[0036] 110a:第一長邊
[0037] 110a' ：第一 A 長邊
[0038] 110a":第一 B 長邊
[0039] 110b:第一短邊
[0040] 110b' ：第一 A 短邊
[0041] 110b":第一 B 短邊
[0042] 120 :板形產(chǎn)品
[0043] 120a :第二長邊
[0044] 120a' ：第二 A 長邊
[0045] 120a":第二 B 長邊
[0046] 120b :第二短邊
[0047] 130 :板形產(chǎn)品
[0048] 130a :第二長邊
[0049] 130a，：第三 A 長邊
[0050] 130a":第三 B 長邊
[0051] 130b :第三短邊
[0052] 140 :板形產(chǎn)品
[0053] 140a:第四長邊
[0054] 140a':第四 A 長邊
[0055] 140a":第四 B 長邊
[0056] 140b:第四短邊
[0057] 150 :線狀凹槽
[0058] 160 :支撐件
[0059] 200 :碳纖維增強材料
[0060] 3〇0 :增強平臺
[0061] Η :垂直方向上的橫截面的長度
[0062] L :橫梁的縱向方向上的長度
[0063] W:水平方向上的橫截面的長度

【具體實施方式】
[0064] 下文中，將參看附圖詳細描述特定實施例。然而，本發(fā)明可按不同形式體現(xiàn)且不應(yīng) 視為限于本文中闡述的實施例。而是，提供這些實施例以使得本發(fā)明將為詳盡且完整的，且 將向所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員全面地傳達本發(fā)明的范圍。在圖式中，相同參考數(shù)字在全文中指 相同元件。
[0065] 圖3 (a)、圖3(b)是說明根據(jù)示范性實施例的對棱柱形結(jié)構(gòu)進行處理的過程的透 視圖，且圖4(a)、圖4(b)是說明根據(jù)示范性實施例的將碳纖維增強塑料（CFRP)繞著棱柱形 結(jié)構(gòu)的外表面纏繞且重復地堆疊的過程的視圖。
[0066] 根據(jù)示范性實施例的橫梁可包含棱柱形結(jié)構(gòu)100,所述棱柱形結(jié)構(gòu)100是通過將 各自由金屬材料形成且具有薄且長的形狀的板形產(chǎn)品組裝而制造成。并且，由使用碳纖維 作為增強材料的復合材料形成的碳纖維增強材料200可在棱柱形結(jié)構(gòu)100的外表面上重復 地堆疊若干次。因此，為了改善根據(jù)相關(guān)技術(shù)的擠壓結(jié)構(gòu)中由擠壓特性所致的較差直線度， 不同于所述擠壓結(jié)構(gòu)，可通過將具有相對優(yōu)良的直線度和平面度的金屬板組裝起來而制造 根據(jù)示范性實施例的正方形結(jié)構(gòu)。因此，不同于相關(guān)技術(shù)，可在不進行額外處理過程的情況 下制造重量輕且具有優(yōu)良直線度的橫梁。此處，直線度可表示用數(shù)值表達筆直程度的值。因 此，隨著直線度增加，產(chǎn)品可具有與直線形狀類似的形狀。
[0067] 根據(jù)示范性實施例的橫梁包含：棱柱結(jié)構(gòu)100,所述棱柱結(jié)構(gòu)100具有棱柱形狀并 且由金屬材料形成且通過將多個板形產(chǎn)品耦接而制造；以及碳纖維增強材料200,所述碳 纖維增強材料200繞著棱柱結(jié)構(gòu)100的外表面纏繞若干次。
[0068] 棱柱結(jié)構(gòu)100不是經(jīng)由拉拔處理制造的擠壓結(jié)構(gòu)，而是具有正四方柱形狀的結(jié) 構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)是通過將多個板形產(chǎn)品110、120、130和140彼此耦接而制造（如圖3(a)所說 明）。板形產(chǎn)品110、120、130和140中的每一個可以是具有長邊和短邊的矩形板。也就是 說，板形產(chǎn)品110、120、130和140中的每一個可具有薄且長的板形狀，所述板形狀具有短邊 以及比短邊長的長邊。
[0069] 因此，所述棱柱結(jié)構(gòu)包含：作為矩形板而提供的第一板形產(chǎn)品110,所述第一板形 產(chǎn)品110具有作為長邊的第一長邊110a和作為短邊的第一短邊110b，其中第一長邊110a 比第一短邊ll〇b長；作為矩形板而提供的第二板形產(chǎn)品120,所述第二板形產(chǎn)品120具有 作為長邊的第二長邊120a和作為短邊的第二短邊120b，其中第二長邊120a比第二短邊 120b長；作為矩形板而提供的第三板形產(chǎn)品130,所述第三板形產(chǎn)品130具有作為長邊的 第三長邊130a和作為短邊的第三短邊130b，其中第三長邊130a比第三短邊130b長；以及 作為矩形板而提供的第四板形產(chǎn)品140,所述第四板形產(chǎn)品140具有作為長邊的第四長邊 140a和作為短邊的第四短邊140b，其中第四長邊140a比第四短邊140b長。如圖3(b)所 說明，第一板形產(chǎn)品110的左表面、第二板形產(chǎn)品120的頂表面、第三板形產(chǎn)品130的右表 面以及第四板形產(chǎn)品140的底表面可彼此耦接以制造長度與長邊的長度相等的正四方柱 結(jié)構(gòu)100。
[0070] 第一板形產(chǎn)品110具有由第一 A長邊110a'和第一 B長邊110a"構(gòu)成的第一長 邊110a以及由第一 A短邊110b'和第一 B短邊110b"構(gòu)成的第一短邊110b。并且，其余 的第二、第三和第四產(chǎn)品中的每一個具有板形狀，所述板形狀具有兩條長邊和兩條短邊。因 此，第一板形產(chǎn)品110的第一 B長邊110a"和第二板形產(chǎn)品120的第二A長邊120a'彼此 耦接。類似地，第二板形產(chǎn)品120的第二B長邊120a"和第三板形產(chǎn)品130的第三A長邊 130a'彼此耦接，第三板形產(chǎn)品130的第三B長邊130a"和第四板形產(chǎn)品140的第四A長 邊140a'彼此耦接，且第四板形產(chǎn)品140的第四B長邊140a和第一板形產(chǎn)品110的第一 A 長邊ll〇a彼此耦接，從而制造正四方柱結(jié)構(gòu)。僅供參考，第一板形產(chǎn)品110、第二板形產(chǎn)品 120、第三板形產(chǎn)品130和第四板形產(chǎn)品140可經(jīng)由各種耦接方法（例如，粘結(jié)耦接方法、螺 栓耦接方法或使用耦接突起的嚙合耦接）而彼此耦接。并且，第一板形產(chǎn)品110、第二板形 產(chǎn)品120、第三板形產(chǎn)品130和第四板形產(chǎn)品140中的每一個可由輕金屬材料形成。例如， 可使用例如鋁（A1)等輕金屬材料。
[0071] 第一板形產(chǎn)品110、第二板形產(chǎn)品120、第三板形產(chǎn)品130和第四板形產(chǎn)品140中 的每一個可具有根據(jù)橫梁的大小而確定長度的長邊和短邊。例如，當橫梁的縱向方向上的 長度L被定義為參考符號A，垂直方向上的橫截面的長度Η被定義為參考符號B，且水平方 向上的橫截面的長度W被定義為參考符號C時，第一板形產(chǎn)品110、第二板形產(chǎn)品120、第三 板形產(chǎn)品130和第四板形產(chǎn)品140中的每一個的長邊的長度可被確定為參考符號Α。并且， 第一板形產(chǎn)品110的第一短邊ll〇b和第三板形產(chǎn)品130的第三短邊130b的長度中的每一 個可被定義為參考符號B，且第二板形產(chǎn)品120的第二短邊120b和第四板形產(chǎn)品140的第 四短邊140b的長度中的每一個可被確定為參考符號C。
[0072] 板形產(chǎn)品110、120、130和140中的每一個的短邊可具有比長邊的長度的十分之一 大的長度。例如，為了充當原材料溶液施配器中的橫梁，第一短邊ll〇b的長度/第一長邊 ll〇a的長度的比、第二短邊120b的長度/長邊120a的長度的比以及第三短邊130b的長 度/第三長邊130a的長度的比以及第四短邊140b的長度/第四長邊140a的長度的比中 的每一個可大于約1 / 10的比。
[0073] 會這樣的原因是，僅當在棱柱結(jié)構(gòu)的截面區(qū)域中一條短邊的長度比長邊的長度的 十分之一大使得棱柱結(jié)構(gòu)100充當施配器中的橫梁時，用于支撐施配頭單元的頭支撐件才 穩(wěn)定地移動。如果棱柱結(jié)構(gòu)具有過小的截面區(qū)域，那么在頭支撐件移動時，棱柱結(jié)構(gòu)可能會 晃動。
[0074] 如圖4(a)、圖4(b)所說明，通過將第一板形產(chǎn)品110、第二板形產(chǎn)品120、第三板 形產(chǎn)品130和第四板形產(chǎn)品140彼此耦接而制造的棱柱結(jié)構(gòu)的外表面可用碳纖維增強材料 200環(huán)繞若干次且因此強度得到改善。棱柱結(jié)構(gòu)100的外壁可用碳纖維增強材料200環(huán)繞 若干次且因此強度得到改善。
[0075] 碳纖維增強材料200可以是作為通過僅混合例如碳纖維和環(huán)氧樹脂（樹脂）等兩 種材料而制成的復合材料的碳纖維增強塑料（CFRP)。一般來說，使用碳纖維（CF)作為增強 材料的基于塑料的復合材料可被叫做碳纖維增強塑料（CFRP)。CFRP可具有與用于輕結(jié)構(gòu) 的材料一樣優(yōu)良的特性。例如，CFRP的比強度可比鋼的比強度大六倍且比GFRP (玻璃纖維 增強塑料）的比強度大兩倍，并且CFRP的比模量比鋼的比模量大三倍且比GFRP的比模量 大四倍。并且，CFRP可具有靜強度、優(yōu)良的疲勞特性以及優(yōu)良的耐磨性。
[0076] 如上所述，由于CFRP是通過僅將例如碳纖維和環(huán)氧樹脂（樹脂）等兩種材料彼此 混合而制成，因此CFRP在初始混合狀態(tài)下可由于環(huán)氧樹脂的液態(tài)特性而處于軟狀態(tài)。在此 狀態(tài)下，厚度約1毫米的CFRP可纏繞且附接在通過上述技術(shù)處理的正四方柱結(jié)構(gòu)100的外 表面上（例如，將CFRP重復堆疊十二次）。也就是說，CFRP可繞著棱柱結(jié)構(gòu)100的左表面、 頂表面、右表面和底表面重復地環(huán)繞且纏繞，直到CFRP具有所要厚度為止。當CFRP重復地 纏繞若干次時，可獲得具有所要厚度的CFRP。此后，可使環(huán)氧樹脂（樹脂）熱固化或自然固 化，使得CFPR緊密地附接到正四方柱結(jié)構(gòu)，以充當碳纖維增強材料200,從而制造橫梁?？?由工人或分離的機械驅(qū)動器來纏繞作為CFRP的碳纖維增強材料200?；蛘撸庵Y(jié)構(gòu)100 可卷繞在作為CFRP的碳纖維增強材料200上，使得碳纖維增強材料200繞著棱柱結(jié)構(gòu)100 纏繞。如上所述，CFRP是經(jīng)過熱固化的碳纖維增強材料200所耦接到的橫梁的剛性可大于 通過將板形增強材料與根據(jù)相關(guān)技術(shù)的現(xiàn)有擠壓結(jié)構(gòu)組裝或?qū)逍卧鰪姴牧系谋砻娓浇?到根據(jù)相關(guān)技術(shù)的現(xiàn)有擠壓結(jié)構(gòu)而制造的橫梁的剛性。
[0077] 根據(jù)第10-1029783號韓國專利中揭示的增強材料，碳纖維增強材料在直角轉(zhuǎn)角 處彼此會合，但彼此分離。另一方面，根據(jù)示范性實施例的碳纖維增強材料可在卷繞時進行 附接。因此，碳纖維增強材料可在直角轉(zhuǎn)角處整合，使得在與根據(jù)相關(guān)技術(shù)的情況相比時改 善剛性。
[0078] 在示范性實施例中，碳纖維增強材料200設(shè)置在棱柱結(jié)構(gòu)的外表面上。碳纖維增 強材料200可能沒有足夠的支撐力來支撐施配頭單元。由于碳纖維增強材料是CFRP，因此 在結(jié)構(gòu)附接到碳纖維增強材料的外表面時，可將碳纖維增強材料分離。因此，用于支撐例如 施配頭單元等外部結(jié)構(gòu)的支撐件設(shè)置在棱柱結(jié)構(gòu)上。為此，如圖5(a)所說明，可在棱柱結(jié) 構(gòu)的左表面和右表面中的至少一個中沿著長邊或短邊界定線狀凹槽150。此處，環(huán)繞棱柱結(jié) 構(gòu)100的碳纖維增強材料200可穿過以對應(yīng)于線狀凹槽150且因此向外暴露。如圖5(b) 所說明，為由金屬材料形成的分離結(jié)構(gòu)的支撐件160耦接到線狀凹槽150。棱柱結(jié)構(gòu)100的 外表面與支撐件160可經(jīng)由粘合或螺栓耦接而彼此耦接。因此，例如施配頭單元等外部結(jié) 構(gòu)可附接到支撐件160且由支撐件160支撐。
[0079] 為了改善棱柱結(jié)構(gòu)的剛性，可另外在棱柱結(jié)構(gòu)內(nèi)提供由金屬材料形成的增強平 臺。圖6是說明根據(jù)示范性實施例的棱柱結(jié)構(gòu)是通過將肋狀物安裝于其中而增強的狀態(tài)的 視圖。
[0080] 參看圖6,在橫梁10中，可向由金屬材料形成的增強平臺300提供裂縫形狀，所述 增強平臺設(shè)置在棱柱結(jié)構(gòu)內(nèi)以支撐棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面?？商峁?多個肋狀物以充當增強平臺300,所述肋狀物是由薄金屬材料形成以支撐棱柱結(jié)構(gòu)內(nèi)部的 左/右/上部/下部部分的經(jīng)處理產(chǎn)品。為了提供高剛性，可提供由金屬材料形成的多個 增強平臺300。在根據(jù)相關(guān)技術(shù)的擠壓結(jié)構(gòu)中，由于橫梁在縱向方向上具有相同形狀，因此 橫梁可能非常重。然而，在示范性實施例中，由于僅組裝適當數(shù)目的增強平臺，因此在與根 據(jù)相關(guān)技術(shù)的橫梁相比時，所述橫梁可能相對較輕且具有優(yōu)良的剛性。僅供參考，四個板形 產(chǎn)品可附接到增強平臺的外側(cè)以制造棱柱形產(chǎn)品。另一方面，可首先制造棱柱形產(chǎn)品，且接 著，可將增強平臺安裝在棱柱形產(chǎn)品內(nèi)。
[0081] 如上所述，由于在通過使用所述多個板形產(chǎn)品制造棱柱結(jié)構(gòu)之后可將CFRP繞著 棱柱結(jié)構(gòu)的外表面纏繞若干次，因此橫梁可具有極少變形和高剛性，從而改善設(shè)備性能的 穩(wěn)定性。也就是說，安裝有作為施配器的極重要組件的施配頭單元的橫梁可具有極少變形 和高剛性以顯著改善設(shè)備性能的穩(wěn)定性。在例如第七代或第八代施配器等大型施配器中， 橫梁（或大梁）具有本身可直線移動的結(jié)構(gòu)。因此，如果為了減少慣性效應(yīng)而減少橫梁的 重量，那么可改善處理質(zhì)量，并且還可以減少作為用于直線運動的驅(qū)動源的線性電動機的 容量以降低制造成本。
[0082] 當自然頻率為fn，剛性為k且重量為m時，自然頻率可通過以下表達式而獲得：

【權(quán)利要求】
1. 一種橫梁，其特征在于包括： 棱柱結(jié)構(gòu)，所述棱柱結(jié)構(gòu)具有正四方柱形狀且由金屬材料形成，所述棱柱結(jié)構(gòu)通過將 多個板形廣品f禹接而制造；以及 碳纖維增強材料，所述碳纖維增強材料繞著所述棱柱結(jié)構(gòu)的外側(cè)纏繞若干次且重復地 堆疊。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橫梁，其中所述棱柱結(jié)構(gòu)包括： 作為矩形板而提供的第一板形產(chǎn)品，所述第一板形產(chǎn)品具有作為長邊的第一長邊和作 為短邊的第一短邊，其中所述第一長邊比所述第一短邊長； 作為矩形板而提供的第二板形產(chǎn)品，所述第二板形產(chǎn)品具有作為長邊的第二長邊和作 為短邊的第二短邊，其中所述第二長邊比所述第二短邊長； 作為矩形板而提供的第三板形產(chǎn)品，所述第三板形產(chǎn)品具有作為長邊的第三長邊和作 為短邊的第三短邊，其中所述第三長邊比所述第三短邊長；以及 作為矩形板而提供的第四板形產(chǎn)品，所述第四板形產(chǎn)品具有作為長邊的第四長邊和作 為短邊的第四短邊，其中所述第四長邊比所述第四短邊長， 其中所述第一板形產(chǎn)品、所述第二板形產(chǎn)品、所述第三板形產(chǎn)品以及所述第四板形產(chǎn) 品分別耦接到所述棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面以形成正四方柱形狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的橫梁，其中所述第一板形產(chǎn)品、所述第二板形產(chǎn)品、所述第三 板形產(chǎn)品以及所述第四板形產(chǎn)品中的每一個具有根據(jù)所述橫梁的大小來確定長度的所述 長邊和所述短邊。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的橫梁，其中所述板形產(chǎn)品中的每一個的所述短邊具有比所述 長邊的長度的十分之一大的長度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橫梁，其中所述碳纖維增強材料包括將碳纖維與環(huán)氧樹脂混 合的碳纖維增強塑料。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的橫梁，其中所述碳纖維增強材料是通過重復地卷繞所述碳纖 維增強塑料以環(huán)繞所述棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面的外側(cè)直到所述碳纖 維增強塑料具有所要厚度為止且接著使所述碳纖維增強塑料熱固化或自然固化來制造。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橫梁，其中線狀凹槽界定于所述棱柱結(jié)構(gòu)的所述左表面和所 述右表面中的至少一個中，且 環(huán)繞所述棱柱結(jié)構(gòu)的所述碳纖維增強材料穿過以對應(yīng)于所述線狀凹槽且因此向外暴 露。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的橫梁，其中由金屬材料形成的分離支撐件耦接到所述線狀凹 槽。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橫梁，還包括由金屬材料形成的增強平臺，所述增強平臺設(shè) 置于所述棱柱結(jié)構(gòu)內(nèi)以支撐所述棱柱結(jié)構(gòu)的左表面、頂表面、右表面和底表面。
10. -種用于處理襯底的襯底處理設(shè)備，所述襯底處理設(shè)備包括： 襯底臺，所述襯底擱置在所述襯底臺上；以及 橫梁，所述橫梁沿著所述襯底臺的上部部分移動， 其中所述橫梁包括根據(jù)權(quán)利要求1到9中任一項所述的橫梁。
【文檔編號】H01L21/67GK104112689SQ201410156015
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月18日
【發(fā)明者】李錫政, 樸商午 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司