參數(shù)監(jiān)測(cè)方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，通過(guò)篩選出具有相關(guān)性的多個(gè)參數(shù)，由多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)得出一固定的常數(shù)，再由圖表收集常數(shù)的數(shù)值，若具有相關(guān)性的參數(shù)發(fā)生了異常變化，會(huì)導(dǎo)致常數(shù)發(fā)生異常變化，從而即可通過(guò)常數(shù)的數(shù)值來(lái)監(jiān)測(cè)多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)是否處于正常范圍以內(nèi)，解決了不同的具有相關(guān)性的參數(shù)正常變化造成的錯(cuò)誤報(bào)警，同時(shí)減少圖表的數(shù)量，優(yōu)化了參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，使其易于管理。
【專利說(shuō)明】參數(shù)監(jiān)測(cè)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種參數(shù)監(jiān)測(cè)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)很多參數(shù)(Parameter)都需要進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控，若參數(shù)出現(xiàn)變動(dòng)，超出工藝能接受的范圍(SPEC)，會(huì)發(fā)出相應(yīng)的報(bào)警，此時(shí)則應(yīng)停止生產(chǎn)，對(duì)工藝或設(shè)備等進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整或者優(yōu)化，使其恢復(fù)到工藝能接受的范圍，這樣才能保證生產(chǎn)出的產(chǎn)品具有較高的合格率(Yield)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用故障偵測(cè)分類法(Fault Detective Classification, FDC)收集不同的參數(shù)，并將參數(shù)值記錄在不同的圖表(Chart)中，通過(guò)觀測(cè)Chart中的參數(shù)值大小實(shí)現(xiàn)監(jiān)控生產(chǎn)中參數(shù)的實(shí)時(shí)變化情況，從而可以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)工藝等是否符合要求。
[0004]通常情況下，由于不同參數(shù)的數(shù)值大小不同，其SPEC也不同，因此一張Chart中只收集記錄同一個(gè)參數(shù)，并且只能相應(yīng)設(shè)定不變的SPEC。然而，設(shè)備機(jī)臺(tái)的參數(shù)或者某些工藝的參數(shù)會(huì)發(fā)生一系列的變化，例如祀電壓(Target voltage)會(huì)隨著祀材壽命(Targetlife)的增加而降低。這些變化通常是正常的變化，不會(huì)影響產(chǎn)品的合格率。由于設(shè)定的SPEC是固定不會(huì)改變的，當(dāng)設(shè)備機(jī)臺(tái)的參數(shù)或者某些工藝的參數(shù)發(fā)生上述變化時(shí)，往往會(huì)超出SPEC，造成不必要的錯(cuò)誤報(bào)警，增加工作負(fù)荷。
[0005]同時(shí)，由于半導(dǎo)體行業(yè)參數(shù)數(shù)量極多，需要大量的Chart來(lái)記錄不同的參數(shù)，增加了技術(shù)人員對(duì)Chart監(jiān)測(cè)的負(fù)荷，十分浪費(fèi)時(shí)間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，能夠解決不同參數(shù)正常變化造成的錯(cuò)誤報(bào)警，同時(shí)減少Chart的數(shù)量。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，所述方法包括步驟:
[0008]篩選出多個(gè)參數(shù)中具有相關(guān)性的參數(shù)；
[0009]由所述具有相關(guān)性的參數(shù)獲取一常數(shù)；
[0010]使用圖表收集和記錄所述常數(shù)；
[0011]根據(jù)所述常數(shù)監(jiān)測(cè)所述具有相關(guān)性的參數(shù)。
[0012]進(jìn)一步的，所述具有相關(guān)性的參數(shù)通過(guò)一公式計(jì)算得出所述常數(shù)。
[0013]進(jìn)一步的，所述公式具有多個(gè)系數(shù)。
[0014]進(jìn)一步的，所述系數(shù)與所述具有相關(guān)性的參數(shù)個(gè)數(shù)相同。
[0015]進(jìn)一步的，所述系數(shù)通過(guò)曲線擬合法得出。
[0016]進(jìn)一步的,所述圖表設(shè)有一范圍。
[0017]進(jìn)一步的，所述常數(shù)超出所述范圍時(shí)，則引發(fā)出報(bào)警。
[0018]進(jìn)一步的，所述具有相關(guān)性的參數(shù)是靶電壓和靶材壽命。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:通過(guò)篩選出具有相關(guān)性的多個(gè)參數(shù)，由多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)得出一固定的常數(shù)，再由圖表收集常數(shù)的數(shù)值，若具有相關(guān)性的參數(shù)發(fā)生了異常變化，會(huì)導(dǎo)致常數(shù)發(fā)生異常變化，從而即可通過(guò)常數(shù)的數(shù)值來(lái)監(jiān)測(cè)多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)是否處于正常范圍以內(nèi)，解決了不同的具有相關(guān)性的參數(shù)正常變化造成的錯(cuò)誤報(bào)警，同時(shí)減少圖表的數(shù)量，優(yōu)化了參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，使其易于管理。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中參數(shù)監(jiān)測(cè)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0022]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0023]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0024]請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中，提出了一種參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，包括步驟:
[0025]SlOO:篩選出多個(gè)參數(shù)中具有相關(guān)性的參數(shù)；
[0026]由于半導(dǎo)體行業(yè)的很多參數(shù)均具有一定的相關(guān)性，即一個(gè)參數(shù)的變化會(huì)引起另一個(gè)參數(shù)的相應(yīng)變化，例如【背景技術(shù)】中提及的Target voltage會(huì)隨著Target life的增加而降低，兩者存在一定的線性相關(guān)性。需要指出的是，可以篩選出多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)，不僅僅限于2個(gè)。
[0027]S200:由所述具有相關(guān)性的參數(shù)獲取一常數(shù)；
[0028]在步驟S200中，所述多個(gè)參數(shù)通過(guò)一公式計(jì)算得出所述常數(shù)，例如將Targetvoltage的數(shù)值定義成X,將Target life定義成Y,則可以由兩者之間的曲線關(guān)系得出C=aX+bY，其中，C為所述常數(shù)，a、b均為具有相關(guān)性的參數(shù)的相應(yīng)系數(shù)，系數(shù)的個(gè)數(shù)是由具有相關(guān)性的參數(shù)的個(gè)數(shù)決定的，與所述具有相關(guān)性的參數(shù)的個(gè)數(shù)相同，系數(shù)可以通過(guò)曲線擬合法得出，所述公式可以為一次方程或者多次方程，可以包含對(duì)數(shù)函數(shù)等數(shù)學(xué)函數(shù)。由于具有相關(guān)性的參數(shù)之間存在一定的聯(lián)動(dòng)性或相關(guān)性，因此可以通過(guò)尋找出具有相關(guān)性的參數(shù)之間的關(guān)系得出一具體的常數(shù)，也就是說(shuō)多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)處于正常變化時(shí)，得出的常數(shù)不會(huì)發(fā)生變化，若多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)存在異常變化時(shí)，則會(huì)導(dǎo)致常數(shù)發(fā)生異常變化，在本實(shí)施例中，是采用監(jiān)控常數(shù)來(lái)判斷具有相關(guān)性的參數(shù)是否處于正常變化范圍之內(nèi)。
[0029]S300:使用圖表收集和記錄所述常數(shù)；[0030]圖表記錄和收集常數(shù)便于技術(shù)人員對(duì)常數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)測(cè)。
[0031]S400:根據(jù)所述常數(shù)監(jiān)測(cè)所述具有相關(guān)性的參數(shù)。
[0032]優(yōu)選的，可以在圖表上設(shè)置范圍(SPEC)，正常情況下，所述常數(shù)位于SPEC以內(nèi)，SPEC的設(shè)定可以根據(jù)工藝需要來(lái)定義，可以定位比較寬泛，也可以定義比較嚴(yán)格，SPEC滿足工藝生產(chǎn)的要求即可，當(dāng)所述常數(shù)的數(shù)值若超出所述SPEC時(shí)，則會(huì)引發(fā)相應(yīng)的報(bào)警，技術(shù)人員即可以通過(guò)對(duì)所述常數(shù)的監(jiān)視來(lái)監(jiān)測(cè)所述具有相關(guān)性的參數(shù)是否處于正常變化范圍之內(nèi)。若出現(xiàn)報(bào)警時(shí)，技術(shù)人員需要分析引起報(bào)警的是哪個(gè)參數(shù)發(fā)生了異常，從而做出相應(yīng)的行動(dòng)，解決問(wèn)題，使其恢復(fù)至工藝要求范圍以內(nèi)，以便保證產(chǎn)品的合格率。
[0033]可見(jiàn)，采用本發(fā)明提出的方法，同一張圖表可以同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)參數(shù)，大大的減少了圖表的數(shù)量，降低了對(duì)圖表管理的難度，同時(shí)也減輕了技術(shù)人員的工作負(fù)荷。
[0034]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法中，通過(guò)篩選出具有相關(guān)性的多個(gè)參數(shù)，由多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)得出一固定的常數(shù)，再由圖表收集常數(shù)的數(shù)值，若具有相關(guān)性的參數(shù)發(fā)生了異常變化，會(huì)導(dǎo)致常數(shù)發(fā)生異常變化，從而即可通過(guò)常數(shù)的數(shù)值來(lái)監(jiān)測(cè)多個(gè)具有相關(guān)性的參數(shù)是否處于正常范圍以內(nèi)，解決了不同的具有相關(guān)性的參數(shù)正常變化造成的錯(cuò)誤報(bào)警，同時(shí)減少圖表的數(shù)量，優(yōu)化了參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，使其易于管理。
[0035]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，包括步驟: 篩選出多個(gè)參數(shù)中具有相關(guān)性的參數(shù)； 由所述具有相關(guān)性的參數(shù)獲取一常數(shù)； 使用圖表收集和記錄所述常數(shù)； 根據(jù)所述常數(shù)監(jiān)測(cè)所述具有相關(guān)性的參數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述具有相關(guān)性的參數(shù)通過(guò)一公式計(jì)算得出所述常數(shù)。
3.如權(quán)利要求2所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述公式具有多個(gè)系數(shù)。
4.如權(quán)利要求3所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述系數(shù)與所述具有相關(guān)性的參數(shù)個(gè)數(shù)相同。
5.如權(quán)利要求4所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述系數(shù)通過(guò)曲線擬合法得出。
6.如權(quán)利要求1所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述圖表設(shè)有一范圍。
7.如權(quán)利要求6所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述常數(shù)超出所述范圍時(shí)，則引發(fā)出報(bào)警。
8.如權(quán)利要求1所述的參數(shù)監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述具有相關(guān)性的參數(shù)是靶電壓和靶材壽命。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103871933SQ201410097489
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2014年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月17日
【發(fā)明者】曾軍, 高峰 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司