噴出檢查裝置及基板處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及噴出檢查裝置及基板處理裝置?；逄幚硌b置的噴出檢查部具有光射出部、拍攝部。光射出部沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，對(duì)從噴頭的多個(gè)噴出口噴出的處理液照射光。拍攝部拍攝通過來自光射出部的面狀光的處理液，獲取包括多個(gè)亮點(diǎn)的檢查圖像。在噴出檢查部中，利用判斷框設(shè)定部在檢查圖像上設(shè)定與多個(gè)噴出口對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框。然后，利用判斷部獲取在各正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于該有無信息，判斷與各正常噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口的噴出動(dòng)作的好壞。由此，能夠逐個(gè)并高精度地判斷多個(gè)噴出口的每一個(gè)的噴出動(dòng)作的好壞。
【專利說明】噴出檢查裝置及基板處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢查從多個(gè)噴出口噴出液體的動(dòng)作的噴出檢查裝置及具有該噴出檢查裝置的基板處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往以來，在半導(dǎo)體基板(以下，簡(jiǎn)稱為“基板”)的制造工藝中，利用基板處理裝置對(duì)具有氧化膜等的絕緣膜的基板實(shí)施各種各樣的處理。例如，通過向基板的表面供給清洗液，來進(jìn)行去除附著在基板的表面上的顆粒(Particle)等的清洗處理。
[0003]在日本特開平11-329936號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)I)中，公開了一種從配置于基板上方的一個(gè)處理液供給噴嘴向基板上噴出光致抗蝕(Photoresist)液的基板處理裝置。在該裝置中，配置有CCD (Charge-coupled Device:電荷稱合器件)攝像頭,該CCD攝像頭朝向處理液供給噴嘴與基板之間，拍攝從處理液供給噴嘴噴出的處理液的液柱。然后，將拍攝到的處理液的液柱寬度(即，從處理液供給噴嘴噴出的寬度)與規(guī)定的基準(zhǔn)寬度進(jìn)行比較，在液柱寬度小于基準(zhǔn)寬度的情況下，檢測(cè)為噴出異常。
[0004]在日本特開2003-272986號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)2)中，公開了一種從顯影液噴出噴嘴的狹縫狀噴出口向保持成靜止?fàn)顟B(tài)的基板上施加顯影液的基板處理裝置。在該裝置中，設(shè)置有向基板上照射光的照明部、檢測(cè)由基板上的處理液反射的光的光檢測(cè)部。利用光檢測(cè)部的CCD攝像頭獲取基板表面整體圖像，基于在基板上的沒有充滿顯影液的顯影液供給不良區(qū)域與其它區(qū)域之間的亮度值的差異，來檢測(cè)顯影液供給不良區(qū)域。
[0005]在日本特開2008-135679號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)3)中，公開了一種從涂敷液噴嘴向基板上供給涂敷液的液處理裝置。在該裝置中，在基板上方與作為待機(jī)位置的噴嘴槽(Nozzlebus)之間搬運(yùn)涂敷液嗔嘴，并拍攝搬運(yùn)過程中的涂敷液嗔嘴的如端部。然后，基于拍攝結(jié)果，檢測(cè)在涂敷液噴嘴的前端部是否產(chǎn)生滴液或滴下的現(xiàn)象。
[0006]在日本特開2012-9812號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)4)中，公開了一種從處理液噴嘴向基板上供給處理液的液處理裝置。在該裝置中，以直線狀排成I列的11個(gè)噴嘴由噴嘴頭部保持。另夕卜，向從這些噴嘴的前端部到基板表面為止的區(qū)域照射線狀的激光，利用朝向該區(qū)域的攝像頭拍攝從各噴嘴噴出的抗蝕液的液柱。然后，通過對(duì)拍攝結(jié)果和基準(zhǔn)信息相比較，來判斷是否從噴嘴噴出抗蝕液及噴出狀態(tài)是否產(chǎn)生變化，其中，基準(zhǔn)信息為事先拍攝的在正常情況下從噴嘴噴出抗蝕液的狀態(tài)。
[0007]另一方面,在日本特開2012-209513號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)5)中，公開了一種從多個(gè)噴出口向基板噴出處理液的微小液滴的基板處理裝置。在該裝置中，設(shè)置有多列噴出口列，噴出口列是由多個(gè)噴出口排成一列而形成的。
[0008]然而，在文獻(xiàn)5那樣的裝置中，即使想判斷從多個(gè)噴出口中是否噴出處理液，也由于具有多個(gè)噴出口的多個(gè)噴出口列分別沿著與噴出口排列方向交差的方向配置，所以從各噴出口噴出的微小液滴會(huì)重疊，因此無法容易地判斷哪個(gè)微小液滴是對(duì)應(yīng)哪個(gè)噴出口。
[0009]另外，作為噴出微小液滴異常的一種情況，有偏離于規(guī)定噴出方向而噴出的傾斜噴出。作為檢測(cè)這種傾斜噴出的方法，可以想到將微小液滴的間隔與正常值進(jìn)行比較的方法。然而，就微小液滴的間隔而言，在靠近觀察視點(diǎn)的噴出口看起來顯得大，而在遠(yuǎn)離觀察視點(diǎn)的噴出口看起來顯得小，因此，難以判斷是正常噴出還是傾斜噴出。另外，各微小液滴的大小也根據(jù)與觀察視點(diǎn)之間的距離產(chǎn)生變化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明提供一種檢查從多個(gè)噴出口噴出液體的動(dòng)作的噴出檢查裝置，其目的在于高精度地判斷多個(gè)噴出口各自的噴出動(dòng)作的好壞。本發(fā)明還提供一種基板處理裝置。
[0011]本發(fā)明的噴出檢查裝置具有:光射出部，其沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，由此在多個(gè)飛濺體通過所述光存在面時(shí)，對(duì)多個(gè)所述飛濺體照射光，多個(gè)所述飛濺體為從多個(gè)噴出口噴出的液體；拍攝部，其拍攝通過所述光存在面的多個(gè)所述飛濺體，由此獲取檢查圖像，該檢測(cè)圖像包括多個(gè)所述飛濺體上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)；判斷框設(shè)定部，其在所述檢查圖像上，設(shè)定與多個(gè)所述噴出口對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框；判斷部，其獲取各正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于所述有無信息，判斷與各所述正常噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口的噴出動(dòng)作的好壞。根據(jù)該噴出檢查裝置，能夠高精度地判斷多個(gè)噴出口的每一個(gè)的噴出動(dòng)作的好壞。
[0012]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述噴出檢查裝置還具有亮點(diǎn)修正部，所述亮點(diǎn)修正部將亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離作為檢查距離，基于所述檢查距離的大小，修正所述檢查圖像中的多個(gè)所述亮點(diǎn)的各亮點(diǎn)的大小，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)；所述有無信息為表示在各所述正常噴出判斷框內(nèi)是否存在由所述亮點(diǎn)修正部修正后的亮點(diǎn)的至少一部分的信息。
[0013]更優(yōu)選地，所述亮點(diǎn)修正部以隨著所述檢查距離變小而縮小各所述亮點(diǎn)的大小的方式進(jìn)行修正。另外，所述亮點(diǎn)修正部以隨著所述拍攝部的聚焦距離與所述檢查距離之差變大而縮小各所述亮點(diǎn)的大小的方式進(jìn)行修正?；蛘?，將所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間平行于光軸的方向上的所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間的距離作為照射距離，所述噴出檢查裝置還具有光厚度修正部，所述光厚度修正部以隨著光最薄位置與所述光射出部之間的距離和所述照射距離之差變大而在所述噴出方向上縮小各所述亮點(diǎn)的方式進(jìn)行調(diào)整，所述光最薄位置為從所述光射出部射出的光在所述噴出方向上的厚度變得最小的位置。
[0014]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述判斷框設(shè)定部具有:臨時(shí)設(shè)定部，其以亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心，在所述檢查圖像上以使規(guī)定大小的正常噴出判斷框與各所述噴出口對(duì)應(yīng)的方式，臨時(shí)設(shè)定所述正常噴出判斷框，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)，邊框尺寸調(diào)整部，其基于檢查距離，調(diào)整由所述臨時(shí)設(shè)定部臨時(shí)設(shè)定的各正常噴出判斷框，所述檢查距離為所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離。
[0015]更優(yōu)選地，所述邊框尺寸調(diào)整部以隨著所述檢查距離變大而縮小各所述正常噴出判斷框的大小的方式進(jìn)行調(diào)整。另外，所述邊框尺寸調(diào)整部以隨著所述拍攝部的聚焦距離與所述檢查距離之差變大而縮小各所述正常噴出判斷框的大小的方式進(jìn)行調(diào)整?；蛘撸瑢⑺龉馍涑霾颗c所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間平行于光軸的方向上的所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間的距離作為照射距離，所述邊框尺寸調(diào)整部還具有光厚度調(diào)整部，所述光厚度調(diào)整部以隨著光最薄位置與所述光射出部之間的距離和所述照射距離之差變大而在所述噴出方向上縮小各所述正常噴出判斷邊框的方式進(jìn)行調(diào)整，所述光最薄位置為從所述光射出部射出的光在所述噴出方向上的厚度變得最小的位置。
[0016]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述拍攝部的拍攝方向相對(duì)于與多個(gè)所述飛濺體的規(guī)定的噴出方向垂直的平面傾斜。
[0017]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述光存在面相對(duì)于與多個(gè)所述飛濺體的規(guī)定的噴出方向垂直的平面傾斜。
[0018]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，多個(gè)所述噴出口排列成直線狀，所述判斷框設(shè)定部基于所述檢查圖像所包含的多個(gè)所述亮點(diǎn)中位于兩端的亮點(diǎn)的位置，設(shè)定多個(gè)所述正常噴出判斷框的位置。
[0019]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述正常噴出判斷框的周圍分別設(shè)定多個(gè)傾斜噴出判斷框，所述判斷部基于在各傾斜噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷與各所述傾斜噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口是否產(chǎn)生了傾斜噴出。更優(yōu)選地，所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述傾斜噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)外側(cè)噴出判斷框，所述判斷部基于在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了大幅度傾斜噴出液體的傾斜噴出。
[0020]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述正常噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)傾斜噴出判斷框，所述判斷部基于在所述傾斜噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了傾斜噴出。更優(yōu)選地，所述判斷框設(shè)定部在所述傾斜噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)外側(cè)噴出判斷框，所述判斷部基于在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了傾斜噴出。
[0021]在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述判斷部求出在所述檢查圖像上的多個(gè)所述亮點(diǎn)的各自重心，獲取表示在各所述正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的重心的信息，來作為各所述正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的所述有無信息。
[0022]本發(fā)明的一種基板處理裝置具有:基板保持部，其用于保持基板；噴頭，其從多個(gè)噴出口朝向所述基板噴出液體，對(duì)所述基板進(jìn)行規(guī)定的處理；上述的噴出檢查裝置，其檢查從所述噴頭的多個(gè)所述噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作。更優(yōu)選地，還具有保護(hù)液供給部，所述保護(hù)液供給部向所述基板上供給保護(hù)液，形成保護(hù)液膜，所述保護(hù)液膜覆蓋多個(gè)著落位置，該多個(gè)著落位置是指在設(shè)計(jì)上來自多個(gè)所述噴出口的液體著落在所述基板上的位置。
[0023]本發(fā)明的另一種基板處理裝置具有:基板保持部，其用于保持基板；保護(hù)液供給部，其向所述基板上供給保護(hù)液，形成覆蓋所述基板上的一部分的保護(hù)液膜；噴頭，其從多個(gè)噴出口朝向所述基板上的所述保護(hù)液膜噴出液體，對(duì)所述基板進(jìn)行規(guī)定的處理；噴出檢查裝置，其檢查從所述噴頭的多個(gè)所述噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作。所述噴出檢查裝置具有:光射出部，其沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，由此在多個(gè)飛濺體通過所述光存在面時(shí)，對(duì)多個(gè)所述飛濺體照射光，多個(gè)所述飛濺體為從多個(gè)所述噴出口噴出的液體；拍攝部，其拍攝通過所述光存在面的多個(gè)所述飛濺體，由此獲取檢查圖像，該檢測(cè)圖像包括多個(gè)所述飛濺體上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)；判斷框設(shè)定部，其在所述檢查圖像上設(shè)定與所述基板上的所述保護(hù)液膜對(duì)應(yīng)的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框、包圍所述保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框的外側(cè)噴出判斷框；判斷部，其獲取在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于所述有無信息，判斷液體是否著落在所述保護(hù)液膜的外側(cè)。
[0024]更優(yōu)選地，基于外周噴出口的位置、所述基板上的所述保護(hù)液膜的外周部的位置、位于所述外周噴出口與所述保護(hù)液膜之間的所述光存在面的位置，設(shè)定所述檢查圖像上的所述保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框，所述外周噴出口是指，在所述噴頭上配置于設(shè)置有多個(gè)所述噴出口的噴出口配置區(qū)域的外周部的噴出口。
[0025]在本發(fā)明的基板處理裝置的一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，從多個(gè)所述噴出口噴射作為清洗液的所述液體的微小液滴，所述微小液滴經(jīng)由所述保護(hù)液膜將動(dòng)能施加在所述基板上，由此對(duì)所述基板進(jìn)行清洗處理。
[0026]下面，通過參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行的詳細(xì)的說明，來明確上述的目的及其它的目的、特征、形態(tài)及優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是一個(gè)實(shí)施方式的基板處理裝置的主視圖。
[0028]圖2A是基板處理裝置的俯視圖。
[0029]圖2B是噴頭及待機(jī)容器的側(cè)視圖。
[0030]圖3是表示噴頭的下表面的仰視圖。
[0031]圖4是表示控制單元的功能的框圖。
[0032]圖5是表示噴頭、光射出部及拍攝部的立體圖。
[0033]圖6是表示檢查圖像的圖。
[0034]圖7是表示檢查圖像的圖。
[0035]圖8是表示噴頭、面狀光及保護(hù)液膜的一部分的概括圖。
[0036]圖9A是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0037]圖9B是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0038]圖9C是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0039]圖9D是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0040]圖9E是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0041]圖10是表示檢查圖像的圖。
[0042]圖1lA是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0043]圖1lB是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0044]圖1lC是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0045]圖1lD是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0046]圖1lE是表示檢查圖像的一部分的圖。
[0047]圖12是表示檢查圖像的圖。
[0048]圖13是表示檢查圖像的圖。
[0049]圖14是表示檢查圖像的圖。
[0050]圖15是表示檢查圖像的圖。
[0051]圖16是表示檢查圖像的圖。
[0052]I基板處理裝置，
[0053]5噴出檢查部，
[0054]8檢查圖像，
[0055]9 基板，
[0056]21基板保持部，
[0057]31 噴頭，
[0058]36保護(hù)液供給部，
[0059]51光射出部，
[0060]52拍攝部，
[0061]74判斷框設(shè)定部，
[0062]75判斷部，
[0063]81 亮點(diǎn)，
[0064]85正常噴出判斷框，
[0065]87、87a傾斜噴出判斷框，
[0066]88保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框，
[0067]89最大噴出判斷框，
[0068]93保護(hù)液膜，
[0069]314a ?314d 噴出口，
[0070]314e外周噴出口，
[0071]316噴出口配置區(qū)域，
[0072]510 面狀光。

【具體實(shí)施方式】
[0073]圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板處理裝置I的主視圖。圖2A是基板處理裝置I的俯視圖。在圖2A中，改變了基板處理裝置I在圖1中的朝向?；逄幚硌b置I為逐個(gè)處理半導(dǎo)體基板9 (以下，簡(jiǎn)稱為“基板9”)的單片式裝置。利用基板處理裝置I對(duì)基板9噴出液體并進(jìn)行規(guī)定的處理。在本實(shí)施方式中,進(jìn)行如下的清洗處理:通過向基板9上噴出清洗液的液滴，來從基板9上去除顆粒等。在基板處理裝置I中，例如，朝向基板9以噴霧狀噴出直徑約20 μ m (微米)的液滴。
[0074]如圖1及圖2A所不,基板處理裝置I具有基板保持部21、杯部22、基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
23、處理液供給部3、供給部移動(dòng)機(jī)構(gòu)35、保護(hù)液供給部36、待機(jī)容器(pod)4、噴出檢查部5、腔室6、控制單元。腔室6將基板保持部21、杯部22、基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)23、處理液供給部3、供給部移動(dòng)機(jī)構(gòu)35、保護(hù)液供給部36、待機(jī)容器4及噴出檢查部5等的結(jié)構(gòu)容置在內(nèi)部空間60內(nèi)。腔室6為用于遮擋(防止)光從外部向內(nèi)部空間60入射的遮光腔室。在圖1及圖2A中，利用虛線表示腔室6，示出了腔室6的內(nèi)部。
[0075]基板保持部21在腔室6內(nèi)，將基板9保持為使基板9的一側(cè)主面91 (以下，稱為“上表面91”)朝向上側(cè)的狀態(tài)。在基板9的上表面91形成有電路圖案等精細(xì)圖案。杯部22為包圍基板9及基板保持部21的周圍的大致圓筒狀的構(gòu)件?；逍D(zhuǎn)機(jī)構(gòu)23配置在基板保持部21的下方?；逍D(zhuǎn)機(jī)構(gòu)23使基板9和基板保持部21以穿過基板9的中心并且與基板9的上表面91垂直的旋轉(zhuǎn)軸為中心，在水平面內(nèi)一起旋轉(zhuǎn)。
[0076]處理液供給部3具有:噴頭31，其朝向下方噴出處理液；處理液配管32，其向噴頭31供給處理液。噴頭31配置在杯部22的內(nèi)側(cè)且基板保持部21的上方。換言之，噴頭31的下表面位于杯部22的上部開口 220與基板9的上表面91之間。噴頭31為從后述的多個(gè)噴出口連續(xù)噴出彼此分離的微小液滴的裝置。通過噴頭31朝向基板9的上表面91噴出處理液。利用純凈水(優(yōu)選地,去離子水(DIW))、碳酸水、氨水與雙氧水的混合液等的液體，來作為處理液。從噴頭31噴出的處理液在設(shè)計(jì)上的噴出方向與上下方向(即，重力方向)大致平行。
[0077]圖3是表示噴頭31的下表面311的仰視圖。在噴頭31的下表面311設(shè)置有具有四個(gè)噴出口列313a?313d的多個(gè)噴出口。噴出口列313a?313d分別具有沿著圖3中的左右方向按照規(guī)定的排列間距排列成直線狀的多個(gè)噴出口 314a?314d。各噴出口 314a?314d的直徑大致為5μπι?10 μ m。在圖3中，所描畫的各噴出口 314a?314d比實(shí)際的尺寸大，并且所描畫的噴出口 314a?314d的個(gè)數(shù)比實(shí)際的個(gè)數(shù)少。另外，在圖3中，利用雙點(diǎn)劃線圈出在噴頭31的下表面311設(shè)置有多個(gè)噴出口 314a?314d的噴出口配置區(qū)域316。噴出口配置區(qū)域316為大致矩形。在噴頭31中，分別從多個(gè)噴出口 314a?314d噴射處理液的微小液滴。
[0078]在以下的說明中，將圖3中的左右方向稱為“排列方向”。另外，將從圖3中的上側(cè)朝向下側(cè)排列的噴出口列313a?313d分別稱為“第一噴出口列313a”、“第二噴出口列313b”、“第三噴出口列313c”及“第四噴出口列313d”。而且，將第一噴出口列313a的多個(gè)噴出口 314a稱為“第一噴出口 314a”，將第二噴出口列313b的多個(gè)噴出口 314b稱為“第二噴出口 314b”。第三噴出口列313c的多個(gè)噴出口 314c稱為“第三噴出口 314c”，第四噴出口列313d的多個(gè)噴出口 314d稱為“第四噴出口 314d”。
[0079]第一噴出口列313a、第二噴出口列313b、第三噴出口列313c及第四噴出口列313d呈現(xiàn)為沿著上述排列方向延伸的直線狀，并配置成彼此平行。在與排列方向垂直的方向(即，圖3中的上下方向)上，第一噴出口列313a與第二噴出口列313b之間的距離和第三噴出口列313c與第四噴出口列313d之間的距離相等，且均小于第二噴出口列313b與第三噴出口列313c之間的距離。第二噴出口列313b配置成:相對(duì)于第一噴出口列313a，向排列方向的一側(cè)即圖3中的右側(cè)偏移規(guī)定的移位(Shift)距離。第四噴出口列313d配置成:相對(duì)于第三噴出口列313c向圖3中的右側(cè)偏移上述移位距離。該移位距離為小于上述的排列間距的距離，例如，為排列間距的一半距離。
[0080]在噴頭31中，在從與排列方向垂直并且與噴頭31的下表面311平行的方向觀看的情況下，多個(gè)第一噴出口 314a和多個(gè)第二噴出口 314b沿著排列方向交替排列，多個(gè)第三噴出口 314c和多個(gè)第四噴出口 314d沿著排列方向交替排列。另外，多個(gè)第一噴出口 314a分別與多個(gè)第三噴出口 314c重疊，多個(gè)第二噴出口 314b分別與多個(gè)第四噴出口 314d重疊。
[0081]如圖1及圖2A所示，供給部移動(dòng)機(jī)構(gòu)35具有臂部351、旋轉(zhuǎn)軸352、頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353、頭部升降機(jī)構(gòu)354。臂部351從旋轉(zhuǎn)軸352沿著水平方向延伸。在臂部351的前端部安裝有噴頭31。頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353使噴頭31和臂部351以旋轉(zhuǎn)軸352為中心在水平方向上一起旋轉(zhuǎn)。頭部升降機(jī)構(gòu)354使噴頭31和臂部351在上下方向上一起移動(dòng)。頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353例如具有電動(dòng)馬達(dá)。頭部升降機(jī)構(gòu)354例如具有滾珠絲桿機(jī)構(gòu)及電動(dòng)馬達(dá)。
[0082]保護(hù)液供給部36直接或者間接地固定于噴頭31，其朝向斜下方噴出保護(hù)液。與上述的處理液同樣地，可利用純凈水(優(yōu)選地，去離子水)、碳酸水、氨水與雙氧水的混合液等液體，來作為保護(hù)液。保護(hù)液可以為與處理液種類相同的液體，還可以為不同種類的液體。在基板處理裝置I中，在噴頭31的下方，從保護(hù)液供給部36朝向基板9的上表面91以液柱狀噴出的保護(hù)液在基板9上擴(kuò)散，由此在噴頭31的正下方形成具有規(guī)定厚度的保護(hù)液的膜(以下，稱為“保護(hù)液膜”)。保護(hù)液供給部36通過頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353及頭部升降機(jī)構(gòu)354與噴頭31 —起移動(dòng)。
[0083]圖4是表示控制單元7的功能的框圖。在圖4中，還描畫出除了控制單元7以外的結(jié)構(gòu)?？刂茊卧?具有處理控制部71、檢查控制部72、檢查運(yùn)算部73。通過處理控制部71來控制基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)23、處理液供給部3、供給部移動(dòng)機(jī)構(gòu)35及保護(hù)液供給部36等，由此對(duì)基板9進(jìn)行處理。通過檢查控制部72來控制處理液供給部3、供給部移動(dòng)機(jī)構(gòu)35及噴出檢查部5等，由此檢查從噴頭31的多個(gè)噴出口 314a?314d噴出處理液的噴出動(dòng)作。
[0084]檢查運(yùn)算部73為噴出檢查部5的一部分，具有判斷框設(shè)定部74、判斷部75、亮點(diǎn)修正部76。判斷框設(shè)定部74具有臨時(shí)設(shè)定部77、邊框尺寸調(diào)整部78。邊框尺寸調(diào)整部78具有外觀邊框尺寸調(diào)整部78a、聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b、光厚度調(diào)整部78c。亮點(diǎn)修正部76具有外觀亮點(diǎn)尺寸修正部76a、聚焦偏移亮點(diǎn)尺寸修正部76b、光厚度修正部76c。判斷框設(shè)定部74、判斷部75及亮點(diǎn)修正部76用于上述噴出動(dòng)作的檢查。
[0085]在邊框尺寸調(diào)整部78中，根據(jù)后述的第一?第四調(diào)整方法，適當(dāng)組合外觀邊框尺寸調(diào)整部78a、聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b、光厚度調(diào)整部78c來進(jìn)行利用。同樣地，在亮點(diǎn)修正部76中，根據(jù)后述的第一?第四調(diào)整方法，適當(dāng)組合外觀亮點(diǎn)尺寸修正部76a、聚焦偏移亮點(diǎn)尺寸修正部76b、光厚度修正部76c來進(jìn)行利用。
[0086]在圖1及圖2A示出的基板處理裝置I對(duì)基板9進(jìn)行處理時(shí)，首先，將基板9搬入腔室6內(nèi)，并利用基板保持部21保持基板9。在搬入基板9時(shí)，如在圖2A中雙點(diǎn)劃線表示的那樣，噴頭31在設(shè)置于杯部22的外側(cè)的待機(jī)容器4內(nèi)的待機(jī)位置上待機(jī)。圖2B是將位于待機(jī)位置的噴頭31和待機(jī)容器4 一起放大顯示的側(cè)視圖。待機(jī)容器4為大致長(zhǎng)方體的容器，在上部設(shè)置有開口。在待機(jī)位置，噴頭31的一部分經(jīng)由上述開口插入到待機(jī)容器4內(nèi)。此外，在圖2B中，省略了保護(hù)液供給部36的圖示。另外，利用雙點(diǎn)劃線表示位于后述的檢查位置的噴頭31。一旦基板9被基板保持部21所保持，則基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)23被處理控制部71所驅(qū)動(dòng)，基板9開始旋轉(zhuǎn)。
[0087]接著，由處理控制部71驅(qū)動(dòng)頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353及頭部升降機(jī)構(gòu)354，噴頭31及保護(hù)液供給部36從待機(jī)位置上升，向杯部22的上方移動(dòng)之后再下降。由此，噴頭31及保護(hù)液供給部36經(jīng)由杯部22的上部開口 220向杯部22的內(nèi)側(cè)且向基板保持部21的上方移動(dòng)。接著，從保護(hù)液供給部36開始向基板9上供給保護(hù)液，形成覆蓋基板9的上表面91的一部分的保護(hù)液膜。另外，噴頭31的多個(gè)噴出口 314a?314d開始向形成有保護(hù)液膜的基板9的上表面91噴出處理液(即，噴射微小液滴)。保護(hù)液膜覆蓋多個(gè)著落點(diǎn)(即，微小液滴的彈著點(diǎn))，該多個(gè)著落點(diǎn)是指在設(shè)計(jì)上來自多個(gè)噴出口 314a?314d的處理液著落在基板9上的地點(diǎn)。
[0088]從噴頭31朝向保護(hù)液膜噴射的多個(gè)微小液滴與基板9的上表面91上的保護(hù)液膜碰撞，并經(jīng)由保護(hù)液膜間接地與基板9的上表面91碰撞。然后，通過處理液的微小液滴的碰撞而引起的沖擊，來從基板9上去除附著在基板9的上表面91的顆粒等雜物。換言之，通過利用處理液的微小液滴經(jīng)由保護(hù)液膜間接地對(duì)基板9施加的動(dòng)能，來對(duì)基板9的上表面91進(jìn)行清洗處理。
[0089]像這樣，與微小液滴直接與基板碰撞的情況相比，通過使處理液的微小液滴經(jīng)由保護(hù)液膜與基板9碰撞，不僅能夠防止或者抑制對(duì)形成在基板9的上表面91上的圖案等造成損壞，還能夠?qū)?進(jìn)行清洗處理。另外，由于基板9上的要進(jìn)行清洗處理的部位被保護(hù)液所覆蓋，所以能夠防止或抑制從基板9上去除的顆粒等再次附著在基板9的上表面91上。
[0090]在基板處理裝置I中，在噴出保護(hù)液及處理液的同時(shí)，頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353使噴頭31及保護(hù)液供給部36轉(zhuǎn)動(dòng)。噴頭31及保護(hù)液供給部36在處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的基板9的中央部的上方與基板9的外緣部的上方之間，沿著水平方向反復(fù)進(jìn)行往返移動(dòng)。由此，對(duì)基板9的上表面91整體進(jìn)行清洗處理。向基板9的上表面91供給的保護(hù)液及處理液因基板9的旋轉(zhuǎn)，從基板9的邊緣向外側(cè)飛濺。利用杯部22阻擋從基板9飛濺的保護(hù)液及處理液，并進(jìn)行廢棄或者回收。
[0091]若對(duì)從噴頭31噴出的處理液進(jìn)行的規(guī)定處理(即，基板9的清洗處理)結(jié)束，則停止噴出保護(hù)液及處理液。利用頭部升降機(jī)構(gòu)354使噴頭31及保護(hù)液供給部36上升至比杯部22的上部開口 220更靠向上側(cè)的位置，利用頭部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)353將噴頭31及保護(hù)液供給部36移動(dòng)至待機(jī)容器4上方的檢查位置(參照?qǐng)D2B)。檢查位置為上述待機(jī)位置的上方位置。在噴頭31的檢查位置，利用噴出檢查部5定期地或根據(jù)需要而檢測(cè)從噴頭31的多個(gè)噴出口 314a?314d噴出處理液的動(dòng)作。
[0092]圖5是表示位于檢查位置的噴頭31及配置在噴頭31的周圍的噴出檢查部5的立體圖。噴出檢查部5具有光射出部51、拍攝部52。光射出部51及拍攝部52避開噴頭31的正下方而配置在噴頭31的斜下方。如圖4所示，光射出部51及拍攝部52由控制單元7的檢查控制部72控制。
[0093]圖5示出的光射出部51具有光源、將來自該光源的光轉(zhuǎn)換成沿著大致水平方向延伸的線狀光的光學(xué)系統(tǒng)。利用例如激光二極管或LED(lightemitting d1de:發(fā)光二極管)元件來作為光源。光射出部51沿著作為事先規(guī)定的假想面的光存在面，朝向噴頭31的下方射出光。在圖5中,利用一點(diǎn)劃線描畫光射出部51的光軸J1，利用附圖標(biāo)記為510的雙點(diǎn)劃線表不從光射出部51射出的面狀的光的輪廓。
[0094]來自光射出部51的面狀光510在噴頭31的下表面311附近，通過噴頭31的正下方。在基板處理裝置I中，從檢查控制部72向處理液供給部3發(fā)送規(guī)定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從噴頭31的多個(gè)噴出口 314a?314d (參照?qǐng)D3)朝向待機(jī)容器4的內(nèi)部噴出處理液。然后，在從噴頭31的多個(gè)噴出口 314a?314d噴出的處理液即多個(gè)飛濺體通過上述的光存在面(即，通過面狀光510)時(shí)，從光射出部51向該多個(gè)飛濺體照射光。面狀光510與來自噴頭31的處理液的設(shè)計(jì)上的噴出方向(即，被事先規(guī)定下來的多個(gè)飛濺體的規(guī)定噴出方向)大致垂直。嚴(yán)格來說，優(yōu)選地，面狀光510 (即，光存在面)相對(duì)于與多個(gè)飛濺體的規(guī)定噴出方向相垂直的平面僅傾斜很小的角度(例如，5度?10度)。
[0095]拍攝部52配置在上述光存在面的下方，使拍攝軸J2朝向位于噴頭31下方的面狀光510。拍攝部52的拍攝方向(即，拍攝軸J2朝向的方向)相對(duì)于與多個(gè)飛派體的規(guī)定噴出方向相垂直的平面傾斜。例如，利用CCD (charge-coupled device)攝像頭來作為拍攝部52。拍攝部52拍攝通過面狀光510的處理液(即，多個(gè)飛濺體)，由此,來獲取檢查圖像，該檢查圖像包括該多個(gè)飛濺體上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)。噴出檢查部5從拍攝部52的拍攝結(jié)果中，提取一幀靜止畫面，來作為檢查圖像。拍攝部52配置在如下的位置:通過拍攝部52觀察時(shí)，在圖3中的四個(gè)噴出口列313a?313d中第一噴出口列313a最靠前面的位置。
[0096]圖6是表示檢查圖像8的圖。在檢查圖像8中，分別與噴頭31的多個(gè)噴出口314a?314d對(duì)應(yīng)的多個(gè)亮點(diǎn)81排列在與噴出口 314a?314d的排列方向?qū)?yīng)的方向上。就噴出檢查部5而言，由于面狀光510具有很薄的厚度，所以各亮點(diǎn)81在檢查圖像8中，呈在與上下方向?qū)?yīng)的方向上略長(zhǎng)的楕圓形。如后述那樣，多個(gè)亮點(diǎn)81中一部分的亮點(diǎn)81位于拍攝部52的聚焦范圍的外側(cè)，這部分亮點(diǎn)81在檢查圖像8上變模糊(所謂的焦點(diǎn)模糊)，與其它亮點(diǎn)81相比發(fā)散得更大。在圖6中，利用標(biāo)注有附圖標(biāo)記80的雙點(diǎn)劃線圈出表示聚焦范圍。另外，針對(duì)位于聚焦范圍80的外側(cè)的亮點(diǎn)81，利用細(xì)線表示在假定這些亮點(diǎn)81位于聚焦范圍80的內(nèi)側(cè)的情況下的亮點(diǎn)大小。在圖7、圖10、圖12?圖16中也相同。
[0097]將來自拍攝部52的輸出結(jié)果發(fā)送至控制單元7的檢查運(yùn)算部73 (參照?qǐng)D4)。檢查運(yùn)算部73對(duì)檢查圖像8進(jìn)行二值化處理，提取多個(gè)亮點(diǎn)81并且去除背景的噪聲等。
[0098]接著，如圖7所示，通過判斷框設(shè)定部74 (參照?qǐng)D4)在檢查圖像8上設(shè)定分別與多個(gè)噴出口 314a?314d對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85。正常噴出判斷框85的個(gè)數(shù)與噴出口 314a?314d的個(gè)數(shù)相等。各正常噴出判斷框85為規(guī)定大小的大致矩形狀，多個(gè)正常噴出判斷框85在檢查圖像8上的大小彼此相等。在本實(shí)施方式中，各正常噴出判斷框85為大致正方形，正常噴出判斷框85的四個(gè)邊在檢查圖像8的上下方向或左右方向上平行。各正常噴出判斷框85表示在從對(duì)應(yīng)的噴出口朝向規(guī)定的噴出方向噴出處理液，或者，朝向從該噴出方向偏離了容許范圍內(nèi)的偏移量的方向噴出處理液的情況下，處理液所通過的面狀光510上的區(qū)域。
[0099]多個(gè)正常噴出判斷框85排列在與檢查圖像8上的上述排列方向?qū)?yīng)的方向。在以下的說明中，將分別與第一噴出口列313a、第二噴出口列313b、第三噴出口列313c及第四噴出口列313d對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85的列稱為“第一正常噴出判斷框列86a”、“第二正常噴出判斷框列86b”、“第三正常噴出判斷框列86c”及“第四正常噴出判斷框列86d”。
[0100]基于從與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的噴出口噴出的處理液的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置，決定在檢查圖像8上的各正常噴出判斷框85的位置。亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口向處理液在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與面狀光510 (即，上述的光存在面)相交的點(diǎn)。以檢查圖像8上的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心設(shè)定各正常噴出判斷框85。
[0101]利用各種各樣的方法求出檢查圖像8上的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置。例如，基于噴頭31在檢查位置上的設(shè)計(jì)位置及朝向、各噴出口 314a?314d在噴頭31上的位置、設(shè)計(jì)上的處理液的噴出方向、面狀光510的位置以及拍攝部52的位置，求出在基板處理裝置I中設(shè)定的三維坐標(biāo)系上的各亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。換言之，基于噴頭31、光射出部51及拍攝部52的相對(duì)位置，求出多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。
[0102]接著，利用視點(diǎn)(View)變換矩陣對(duì)多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)進(jìn)行視點(diǎn)變換，求出以拍攝部52為原點(diǎn)的三維坐標(biāo)系上的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。接著，通過對(duì)視點(diǎn)變換后的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)進(jìn)行透視投影轉(zhuǎn)換，來獲取檢查圖像8上的二維坐標(biāo)系的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。此外，由于基板處理裝置I將非遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)(non-telecentricoptical system)用于拍攝部52，所以如上所述，進(jìn)行透視投影轉(zhuǎn)換，但在將遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)(telecentric optical system)用于拍攝部52的情況下,通過求出視點(diǎn)變換后的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)的正投影(還稱為平行射影或平行投影)，來獲取檢查圖像8上的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。
[0103]如圖7所示，多個(gè)正常噴出判斷框85彼此不重疊地配置在檢查圖像8上。此外，在檢查圖像8中的正常噴出判斷框85彼此重疊的情況下，直到多個(gè)正常噴出判斷框85變得彼此不重疊為止，改變拍攝部52的位置或朝向、來自光射出部51的面狀光510的位置或朝向等，重復(fù)設(shè)定正常噴出判斷框85。
[0104]若對(duì)正常噴出判斷框85的設(shè)定結(jié)束，則利用判斷框設(shè)定部74在多個(gè)正常噴出判斷框85的周圍分別設(shè)定多個(gè)傾斜噴出判斷框87。傾斜噴出判斷框87為具有大于正常噴出判斷框85的大致矩形狀的輪廓的判斷框。在各傾斜噴出判斷框87的內(nèi)側(cè)存在一個(gè)正常噴出判斷框85?；趯?duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85的位置，設(shè)定大致正方形狀的各傾斜噴出判斷框87的位置。具體來說，各傾斜噴出判斷框87配置成:以使對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85位于大致中心位置的方式包圍該正常噴出判斷框85。正常噴出判斷框85的個(gè)數(shù)與傾斜噴出判斷框87的個(gè)數(shù)相等。各傾斜噴出判斷框87表示向從規(guī)定噴出方向偏離某種程度的方向噴出處理液時(shí)，處理液所通過的面狀光510上的區(qū)域。
[0105]若對(duì)傾斜噴出判斷框87的設(shè)定結(jié)束，則利用判斷框設(shè)定部74，在檢查圖像8上的多個(gè)傾斜噴出判斷框87的周圍設(shè)定與基板9上的保護(hù)液膜對(duì)應(yīng)的一個(gè)保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88。保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88表示在從配置在噴出口配置區(qū)域316 (參照?qǐng)D3)的外周部的多個(gè)噴出口(以下，稱為“外周噴出口”)噴出的處理液著落在基板9上的保護(hù)液膜上的情況下，處理液所通過的面狀光510上的區(qū)域?；诙鄠€(gè)外周噴出口的位置、基板9上的保護(hù)液膜的外周部的位置、位于多個(gè)外周噴出口與保護(hù)液膜之間的光存在面的位置，設(shè)定保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88。
[0106]具體來說，如圖8所示，從一個(gè)外周噴出口 314e朝向基板9上的保護(hù)液膜93的外周部(更詳細(xì)來說，保護(hù)液膜93的外周緣)上的距離該外周噴出口 314e最近的點(diǎn)引出假想線94，求出假想線94與光存在面(即，面狀光510)的交點(diǎn)95。然后，針對(duì)多個(gè)外周噴出口314e的每一個(gè)，求出在面狀光510上對(duì)應(yīng)的交點(diǎn)95，并將這些交點(diǎn)95投影在檢查圖像8上并依次連接投影后的點(diǎn)，由此設(shè)定圖7示出的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88。
[0107]若對(duì)保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的設(shè)定結(jié)束，則利用判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定包圍保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的一個(gè)最大噴出判斷框89。最大噴出判斷框89為大致矩形狀，其為多個(gè)噴出判斷框中位于最外側(cè)的外側(cè)噴出判斷框。最大噴出判斷框89與從噴頭31噴出的處理液可能著落在基板9上的最大范圍相對(duì)應(yīng)。與保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88同樣地，基于光存在面的位置，最大范圍的外周部的位置和多個(gè)外周噴出口 314e的位置，設(shè)定最大噴出判斷框89。此外，可以適當(dāng)改變?cè)O(shè)定正常噴出判斷框85、傾斜噴出判斷框87、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89的順序。
[0108]若對(duì)各噴出判斷框(即，正常噴出判斷框85、傾斜噴出判斷框87、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89)的設(shè)定結(jié)束，則利用判斷部75獲取表示在各噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，即，獲取表示在各噴出判斷框內(nèi)是否存在亮點(diǎn)81的信息。若亮點(diǎn)81的至少一部分位于噴出判斷框內(nèi)，則判斷部75判斷為在該噴出判斷框內(nèi)存在亮點(diǎn)81。另外，在亮點(diǎn)81位于占據(jù)內(nèi)側(cè)及外側(cè)的兩個(gè)噴出判斷框的位置的情況下，則判斷為亮點(diǎn)81不在外側(cè)的噴出判斷框內(nèi)，而在內(nèi)側(cè)的噴出判斷框內(nèi)。例如，在亮點(diǎn)81位于占據(jù)正常噴出判斷框85與傾斜噴出判斷框87的位置的情況下，判斷為亮點(diǎn)81不在傾斜噴出判斷框87內(nèi)，而在正常噴出判斷框85內(nèi)。另一方面，在亮點(diǎn)81的至少一部分位于傾斜噴出判斷框87內(nèi)的除了正常噴出判斷框85以外的區(qū)域內(nèi)并且亮點(diǎn)81的整體位于正常噴出判斷框85的外側(cè)的情況下，判斷為亮點(diǎn)81在傾斜噴出判斷框87內(nèi)。針對(duì)亮點(diǎn)81是否存在于保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89內(nèi)的判斷也相同。
[0109]就判斷部75獲取亮點(diǎn)81的有無信息的步驟而言，首先，獲取表示在各正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息。具體來說，在檢查圖像8上，檢測(cè)出一個(gè)亮點(diǎn)81來作為關(guān)注亮點(diǎn)。接著，提取出位于最接近關(guān)注亮點(diǎn)的位置的正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87，來作為與關(guān)注亮點(diǎn)對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87。
[0110]然后，將關(guān)注亮點(diǎn)的位置與提取出的正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87的位置進(jìn)行比較，來判斷關(guān)注亮點(diǎn)是否在該正常噴出判斷框85內(nèi)以及判斷關(guān)注亮點(diǎn)是否在該傾斜噴出判斷框87內(nèi)。如上所述，若關(guān)注亮點(diǎn)的至少一部分位于正常噴出判斷框85內(nèi)，則判斷部75判斷為關(guān)注亮點(diǎn)在該正常噴出判斷框85內(nèi)。另外，若關(guān)注亮點(diǎn)整體位于正常噴出判斷框85外并且關(guān)注亮點(diǎn)的至少一部分位于傾斜噴出判斷框87內(nèi)，則判斷為關(guān)注亮點(diǎn)在該傾斜噴出判斷框87內(nèi)。
[0111]另一方面，在判斷為關(guān)注亮點(diǎn)不在正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)的情況下，對(duì)關(guān)注亮點(diǎn)的位置與保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的位置進(jìn)行比較，來判斷關(guān)注亮點(diǎn)是否在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)。若關(guān)注亮點(diǎn)的至少一部分在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)，則判斷為關(guān)注亮點(diǎn)在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)。在判斷為關(guān)注亮點(diǎn)不在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)的情況下，對(duì)關(guān)注亮點(diǎn)的位置與最大噴出判斷框89的位置進(jìn)行比較，來判斷關(guān)注亮點(diǎn)是否在最大噴出判斷框89內(nèi)。若關(guān)注亮點(diǎn)的至少一部分在最大噴出判斷框89內(nèi)，則判斷為關(guān)注亮點(diǎn)在最大噴出判斷框89內(nèi)。
[0112]在利用判斷部75判斷是否存在亮點(diǎn)81時(shí)，從檢測(cè)亮點(diǎn)的對(duì)象區(qū)域中，去掉檢查圖像8中的位于最大噴出判斷框89外側(cè)的區(qū)域。像這樣，最大噴出判斷框89起到屏蔽其外側(cè)區(qū)域的亮點(diǎn)檢測(cè)用掩膜(mask)的作用。由此，能夠縮短判斷部75檢測(cè)亮點(diǎn)所需的時(shí)間，從而能夠縮短噴出檢查部5判斷噴出動(dòng)作好壞所需的時(shí)間。
[0113]在檢查運(yùn)算部73中，判斷部75基于上述的在各正常噴出判斷框85內(nèi)、各傾斜噴出判斷框87內(nèi)、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)及最大噴出判斷框89內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，來判斷與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。參照?qǐng)D9A?圖9E，針對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞的具體例，進(jìn)行如下的說明。
[0114]圖9A?圖9E是概括表示檢查圖像8的一部分的圖。在圖9A?圖9E中，示出了第一正常噴出判斷框列86a的一部分的多個(gè)正常噴出判斷框85、與該多個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的多個(gè)傾斜噴出判斷框87、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的一部分、最大噴出判斷框89的一部分、亮點(diǎn)81。在后述的圖1lA?圖1lE中也同樣。
[0115]在圖9A的情況下，判斷部75獲取表示五個(gè)正常噴出判斷框85的每一個(gè)的內(nèi)側(cè)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息及在各正常噴出判斷框85的外側(cè)的區(qū)域不存在亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。然后，基于該有無信息，判斷為與五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的五個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好(即，正常)。
[0116]在圖9B的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息及表示在從左側(cè)數(shù)第一個(gè)傾斜噴出判斷框87內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。另外，判斷部75還獲取表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。
[0117]判斷部75基于這些有無信息，判斷為分別與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。另外，就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a而言，由于與該第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)81在傾斜噴出判斷框87內(nèi)，所以判斷為產(chǎn)生噴出不良，在此的噴出不良是指偏離正常噴出范圍而噴出處理液(所謂的傾斜噴出)的情況。從判斷部75經(jīng)由噴出檢查部5的監(jiān)控器等報(bào)知部79 (參照?qǐng)D4)向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知。之后在對(duì)預(yù)定基板9進(jìn)行處理之前，對(duì)噴頭31進(jìn)行維護(hù)，如清洗噴出口 314a等。
[0118]在圖9C的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息、表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為分別與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。
[0119]就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的第一噴出口314a而言，由于在該正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)不存在亮點(diǎn)81，并且在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)的該傾斜噴出判斷框87附近存在亮點(diǎn)81，所以判斷為產(chǎn)生噴出不良，在此的噴出不良是指偏離與傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的傾斜噴出范圍而大幅度傾斜噴出處理液的情況。另外，判斷為來自該第一噴出口 314a的處理液在向基板9上噴出時(shí)將著落在保護(hù)液膜93上。從判斷部75經(jīng)由報(bào)知部79向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知，以對(duì)噴頭31進(jìn)行維護(hù)。
[0120]此外，判斷部75可以不用確定與保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)的亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的噴出口。在該情況下，針對(duì)從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指，向與傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的范圍外大幅度傾斜噴出的情況及噴出口堵塞等引起的不噴出情況中的某一種情況。另外，判斷為產(chǎn)生了如下的大幅度傾斜噴出:從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a及未示出的其它噴出口 314a?314d中的某一個(gè)噴出口噴出的處理液著落在與傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的區(qū)域的外側(cè)的保護(hù)液膜93上。
[0121]在圖9D的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別具有亮點(diǎn)81的信息、表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息、表示在最大噴出判斷框89內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為分別與從左側(cè)起第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口314a的噴出動(dòng)作良好。
[0122]就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a而言，由于在與該第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)不存在亮點(diǎn)81，在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)也不存在亮點(diǎn)81，在最大噴出判斷框89內(nèi)存在亮點(diǎn)81，所以判斷為處理液以極其大幅度偏離噴出方向的方式噴出并噴射在基板9上時(shí)著落在保護(hù)液膜93的外側(cè)。從判斷部75經(jīng)由噴出檢查部5的監(jiān)控器等報(bào)知部79向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知。若處理液著落在基板9上保護(hù)液膜93的外側(cè)，則有可能對(duì)基板9上的圖案造成損害，因此，例如，需要拆開維護(hù)噴頭31，或者替換成其它噴頭31。
[0123]此外，判斷部75可以不用確定與最大噴出判斷框89內(nèi)的亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的噴出口。在該情況下，針對(duì)從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指，向保護(hù)液膜93的外側(cè)極其大幅度傾斜噴出處理液的情況及不噴出處理液情況中的某一種情況。另外，判斷為產(chǎn)生了如下的傾斜噴出:從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a及未示出的其它噴出口 314a?314d中的某一個(gè)噴出口向保護(hù)液膜93的外側(cè)非常大幅度傾斜噴出處理液。
[0124]在圖9E的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息以及表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89內(nèi)都不存在亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。另外，判斷為與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a產(chǎn)生了不噴出處理液的不噴出的噴出不良。
[0125]在此，作為用于判斷多個(gè)噴出口噴出動(dòng)作好壞的噴出檢查部，想到用于獲取與上述同樣的檢查圖像，并測(cè)定檢查圖像上的多個(gè)亮點(diǎn)在排列方向上的間隔的部件。若這種噴出檢查部(以下，稱為“比較例的噴出檢查部”)測(cè)定出多個(gè)亮點(diǎn)的間隔與規(guī)定間隔大致相等，則判斷為各噴出口的噴出動(dòng)作良好。另一方面，在相鄰的兩個(gè)亮點(diǎn)的間隔大于規(guī)定間隔兩倍以上的情況下，判斷為在與該兩個(gè)亮點(diǎn)對(duì)應(yīng)的兩個(gè)噴出口之間存在不噴出的噴出口。
[0126]若比較例的噴出檢查部測(cè)定出存在間隔比規(guī)定間隔大(或小)某種程度以上的相鄰兩個(gè)亮點(diǎn)，則判斷為與該兩個(gè)亮點(diǎn)對(duì)應(yīng)的兩個(gè)噴出口中的某一方或雙方產(chǎn)生了傾斜噴出的噴出不良。然而，不易判斷兩個(gè)噴出口中的哪一個(gè)噴出口產(chǎn)生了噴出不良。另外，在進(jìn)行錯(cuò)位以使一個(gè)噴出口噴出的處理液遠(yuǎn)離另一個(gè)噴出口、另一個(gè)噴出口噴出的處理液遠(yuǎn)離上述一個(gè)噴出口的情況下，即使從各噴出口噴出的處理液的偏離都在容許范圍內(nèi)，也有可能像上述那樣錯(cuò)誤地判斷為兩個(gè)噴出口的至少一個(gè)噴出不良。而且，在連續(xù)的多個(gè)噴出口產(chǎn)生噴出不良并且與該多個(gè)噴出口對(duì)應(yīng)的多個(gè)亮點(diǎn)朝向相同的方向偏移大致相同距離的情況下，由于多個(gè)亮點(diǎn)的間隔與規(guī)定的間隔大致相等，所以不會(huì)檢測(cè)出這些噴出不良。
[0127]與此相對(duì)地，在基板處理裝置I的噴出檢查部5中，利用判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定分別與多個(gè)噴出口 314a?314d對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85。然后，利用判斷部75獲取各正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息，判斷與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。由此，能夠逐個(gè)高精度地判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的每一個(gè)的噴出動(dòng)作的好壞(即，與判斷其它噴出口314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞分開進(jìn)行判斷)。
[0128]另外，在噴出檢查部5中，利用判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定分別與多個(gè)噴出口 314a?314d對(duì)應(yīng)的多個(gè)傾斜噴出判斷框87。然后，利用判斷部75獲取各傾斜噴出判斷框87內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息，判斷與各傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的噴出口 314a?314d是否產(chǎn)生傾斜噴出。由此，能夠逐個(gè)高精度地判斷多個(gè)噴出口314a?314d的傾斜噴出，更詳細(xì)來說，能夠逐個(gè)高精度地判斷朝向與傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的輕度傾斜噴出。
[0129]而且，在噴出檢查部5中，利用判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定與保護(hù)液膜93對(duì)應(yīng)的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88。然后，利用判斷部75獲取保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息，檢測(cè)是否產(chǎn)生朝向與傾斜噴出判斷框87對(duì)應(yīng)的區(qū)域外并且形成有保護(hù)液膜93的區(qū)域內(nèi)的更大幅度傾斜的傾斜噴出。由此，能夠高精度地判斷是否產(chǎn)生了更大幅度傾斜的傾斜噴出。
[0130]此外，當(dāng)形成在基板9上的保護(hù)液膜93的外周部，保護(hù)液膜93的膜厚比規(guī)定的厚度薄時(shí)，可以將在設(shè)定上述的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88時(shí)作為基準(zhǔn)之一的保護(hù)液膜93的外周部，作為保護(hù)液膜93的具有規(guī)定厚度的部位的外周緣。由此，能夠判斷大幅度偏離噴出方向而噴出的處理液是著落在保護(hù)液膜93的具有規(guī)定厚度的部位，還是著落在該部位的外側(cè)的區(qū)域。
[0131]在噴出檢查部5中，利用判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定包圍保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的最大噴出判斷框89。然后，利用判斷部75獲取最大噴出判斷框89內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息，檢測(cè)是否產(chǎn)生了向形成有保護(hù)液膜93的區(qū)域的外部極其大幅度傾斜噴出處理液的情況。由此，能夠高精度地判斷是否產(chǎn)生了著落在保護(hù)液膜93的外側(cè)的傾斜噴出。
[0132]在噴出檢查部5中，拍攝部52的拍攝方向相對(duì)于與從噴頭31噴出的處理液的規(guī)定噴出方向垂直的平面傾斜。由此，能夠抑制在檢查圖像8上多個(gè)亮點(diǎn)81彼此重疊。另外，在檢查圖像8上，能夠抑制多個(gè)正常噴出判斷框85彼此重疊，還能夠抑制多個(gè)傾斜噴出判斷框87彼此重疊。其結(jié)果為，能夠提高判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作好壞的判斷精度。這種噴出檢查部5的結(jié)構(gòu)特別適用于判斷具有彼此平行排列的多個(gè)噴出口列的噴頭的噴出動(dòng)作的好壞。
[0133]如上所述，在噴出檢查部5中，光存在面相對(duì)于與處理液的規(guī)定噴出方向垂直的平面傾斜。由此，能夠抑制在檢查圖像8上多個(gè)亮點(diǎn)81、多個(gè)正常噴出判斷框85及多個(gè)傾斜噴出判斷框87彼此重疊。其結(jié)果為，能夠進(jìn)一步提高判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作好壞的判斷精度。這種噴出檢查部5的結(jié)構(gòu)也特別適用于判斷具有彼此平行排列的多個(gè)噴出口列的噴頭的噴出動(dòng)作的好壞。
[0134]在上述的例子中，針對(duì)設(shè)定了與正常噴出判斷框85相同個(gè)數(shù)的傾斜噴出判斷框87的情況進(jìn)行了說明，如圖10所示，還可以通過判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上設(shè)定內(nèi)含多個(gè)正常噴出判斷框85的比較大的傾斜噴出判斷框87a。在圖10示出的例子中，在與第一噴出口列313a的所有的第一噴出口 314a (參照?qǐng)D3)對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85 (BP,第一正常噴出判斷框列86a)的周圍，設(shè)定一個(gè)大致矩形狀的傾斜噴出判斷框87a。另外，在第二正常噴出判斷框列86b、第三正常噴出判斷框列86c及第四正常噴出判斷框列86d的每一個(gè)的周圍，設(shè)定有形狀與上述傾斜噴出判斷框87a大致相同的傾斜噴出判斷框87a?；趯?duì)應(yīng)的正常噴出判斷框列的位置，設(shè)定檢查圖像8上的各傾斜噴出判斷框87a的位置。在四個(gè)傾斜噴出判斷框87a的周圍設(shè)定與上述相同的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88，在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的周圍設(shè)定作為外側(cè)噴出判斷框的最大噴出判斷框89。
[0135]在檢查運(yùn)算部73中，判斷部75基于上述的各正常噴出判斷框85內(nèi)、傾斜噴出判斷框87a內(nèi)、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)及最大噴出判斷框89內(nèi)的有無亮點(diǎn)81的有無信息，判斷與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。以下，參照?qǐng)D1lA?圖11E，針對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞的具體例進(jìn)行說明。
[0136]在圖1lA的情況下，與圖9A同樣地，判斷部75獲取表示在五個(gè)正常噴出判斷框85的每一個(gè)的內(nèi)側(cè)都存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息、表示在各正常噴出判斷框85的外側(cè)的區(qū)域不存在亮點(diǎn)81的信息,來作為亮點(diǎn)81的有無信息。然后，基于該有無信息，判斷為與五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的五個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好(即，正常)。
[0137]在圖1lB的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息、表示在傾斜噴出判斷框87a內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。另外，判斷部75還獲取表示傾斜噴出判斷框87a內(nèi)的亮點(diǎn)81位于從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85附近的信息以及表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。
[0138]判斷部75基于這些有無信息，判斷為與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。另外，就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a而言，由于在該正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81，并且在該正常噴出判斷框85附近的傾斜噴出判斷框87a內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81，所以判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指偏離正常噴出范圍而噴出處理液(所謂的傾斜噴出)的情況。從判斷部75經(jīng)由噴出檢查部5的監(jiān)控器等報(bào)知部79向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知，以對(duì)噴頭31進(jìn)行維護(hù)。
[0139]此外，判斷部75可以不用確定與傾斜噴出判斷框87a內(nèi)的亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的噴出口。在該情況下，針對(duì)從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指傾斜噴出處理液的情況及不噴出處理液的情況中的某一種情況。另外，判斷為產(chǎn)生了從第一噴出口列313a的某一個(gè)第一噴出口 314a向與傾斜噴出判斷框87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域噴出的傾斜噴出。
[0140]在圖1lC的情況下，判斷部75獲取表示在從圖中的左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息、表示在傾斜噴出判斷框87a及最大噴出判斷框89內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息以及表示在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。
[0141]就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a而言，由于在與該第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81，在傾斜噴出判斷框87a內(nèi)也不存在亮點(diǎn)81，在保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)的該正常噴出判斷框85附近存在亮點(diǎn)81，所以判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指，偏離與傾斜噴出判斷框87a對(duì)應(yīng)的傾斜噴出范圍而大幅度傾斜噴出處理液的情況。另外，判斷為來自該第一噴出口 314a的處理液在向基板9上噴出時(shí)將著落在保護(hù)液膜93上。從判斷部75經(jīng)由噴出檢查部5的監(jiān)控器等報(bào)知部79向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知，對(duì)噴頭31進(jìn)行維護(hù)。
[0142]此外，判斷部75可以不用確定與保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)的亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的噴出口。在該情況下，針對(duì)從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指，向與傾斜噴出判斷框87a對(duì)應(yīng)的范圍外大幅度傾斜噴出處理液的情況及不噴出處理液的情況中的某一種情況。另外，判斷為產(chǎn)生如下的大幅度傾斜噴出:從該第一噴出口 314a及未示出的其它噴出口 314a?314d中的某一個(gè)噴出口噴出的處理液著落在與傾斜噴出判斷框87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域的外側(cè)的保護(hù)液膜93上。
[0143]在圖1lD的情況下，利用判斷部75獲取表示在圖中的從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81并且在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息、表示在傾斜噴出判斷框87a及保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息以及表示在最大噴出判斷框89內(nèi)存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。
[0144]就與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a而言，由于在與該第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的正常噴出判斷框85、在傾斜噴出判斷框87a及保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88內(nèi)不存在亮點(diǎn)81，在最大噴出判斷框89內(nèi)存在亮點(diǎn)81，所以判斷為處理液以極其大幅度偏離噴出方向的方式噴出并噴射在基板9上時(shí)著落在保護(hù)液膜93的外側(cè)。從判斷部75經(jīng)由噴出檢查部5的監(jiān)控器等報(bào)知部79向工作人員等發(fā)出產(chǎn)生了噴出不良的通知，例如，需要拆開維護(hù)噴頭31，或者替換成其它噴頭31。
[0145]此外，判斷部75可以不用確定與最大噴出判斷框89內(nèi)的亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的噴出口。在該情況下，針對(duì)從左側(cè)數(shù)第一個(gè)第一噴出口 314a判斷為產(chǎn)生了噴出不良，在此的噴出不良是指，向保護(hù)液膜93的外側(cè)極其大幅度傾斜噴出處理液的情況及不噴出處理液的情況中的某一種情況。另外，判斷為產(chǎn)生了如下的傾斜噴出:從該第一噴出口 314a及未示出的其它噴出口 314a?314d中的某一個(gè)噴出口向保護(hù)液膜93的外側(cè)極其大幅度傾斜噴出處理液。
[0146]在圖1lE的情況下，判斷部75獲取表示在圖中的從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)不存在亮點(diǎn)81而在其它四個(gè)正常噴出判斷框85內(nèi)分別存在一個(gè)亮點(diǎn)81的信息以及表示在傾斜噴出判斷框87a、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89內(nèi)不存在亮點(diǎn)81的信息，來作為亮點(diǎn)81的有無信息。判斷部75基于這些有無信息，判斷為與從左側(cè)數(shù)第二?第五個(gè)正常噴出判斷框85分別對(duì)應(yīng)的四個(gè)第一噴出口 314a的噴出動(dòng)作良好。另夕卜，判斷為與從左側(cè)數(shù)第一個(gè)正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的第一噴出口 314a產(chǎn)生了不噴出處理液的不噴出的噴出不良。
[0147]像這樣，即使在多個(gè)正常噴出判斷框85的周圍設(shè)定一個(gè)傾斜噴出判斷框87a的情況下，也與上述同樣地，利用判斷部75獲取各正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息，判斷與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。由此，能夠逐個(gè)高精度地判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的每一個(gè)的噴出動(dòng)作的好壞。
[0148]另外，在噴出檢查部5中，獲取各傾斜噴出判斷框87a內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，并基于該有無信息判斷分別與各傾斜噴出判斷框87a對(duì)應(yīng)的噴出口列313a?313d是否產(chǎn)生了傾斜噴出。由此，能夠高精度地判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的傾斜噴出。此外，傾斜噴出判斷框87a還可以設(shè)定為包圍兩個(gè)以上的噴出口列。
[0149]在基板處理裝置I中，在噴頭31向檢查位置移動(dòng)時(shí)，有可能將噴頭31配置在與設(shè)計(jì)上的檢查位置稍微偏離的位置。若噴頭31的檢查位置發(fā)生偏離，則光射出部51及拍攝部52相對(duì)于噴頭31的相對(duì)位置也產(chǎn)生偏離。由于以噴頭31位于設(shè)計(jì)上的檢查位置為前提來設(shè)定檢查圖像8上的正常噴出判斷框85、傾斜噴出判斷框87、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89的位置，所以若噴頭31的檢查位置發(fā)生偏離，則從噴頭31噴出的處理液的多個(gè)亮點(diǎn)81和各噴出判斷框在檢查圖像8上的位置關(guān)系也發(fā)生變化。其結(jié)果為，就算向規(guī)定的噴出方向正常地噴出處理液，由于亮點(diǎn)81位于正常噴出判斷框85外，所以也有可能被判斷為噴出異常。
[0150]于是，如果擔(dān)心噴頭31的檢查位置發(fā)生偏離等，則在基板處理裝置I中利用判斷框設(shè)定部74設(shè)定各噴出判斷框時(shí)，基于檢查圖像8上的亮點(diǎn)81的實(shí)際位置，設(shè)定多個(gè)正常噴出判斷框85的位置也可。具體來說，首先，求出與檢查圖像8所包含的第一噴出口列313a對(duì)應(yīng)的多個(gè)亮點(diǎn)81中的位于兩端的兩個(gè)亮點(diǎn)81在檢查圖像8上的位置(B卩，坐標(biāo))。接著，以使該兩個(gè)亮點(diǎn)81分別位于中心的方式設(shè)定兩個(gè)正常噴出判斷框85的位置。
[0151]若按照設(shè)計(jì)進(jìn)行噴出，則與第一噴出口列313a對(duì)應(yīng)的多個(gè)亮點(diǎn)81排列在直線上，所以與第一噴出口列313a對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85也排列在直線上。于是，多個(gè)正常噴出判斷框85在上述兩個(gè)正常噴出判斷框85之間以直線排列的方式配置。由于從相鄰的第一噴出口 314a噴出的處理液的亮點(diǎn)81在檢查圖像8上的間隔，越遠(yuǎn)離作為觀察視點(diǎn)的拍攝部52 (即，從近前一側(cè)向遠(yuǎn)離一側(cè))則越小，所以上述多個(gè)正常噴出判斷框85的間隔也同樣地，需要設(shè)定為越遠(yuǎn)離拍攝部52就越小。例如，以使相鄰的每?jī)蓚€(gè)正常噴出判斷框85的間隔(例如，正常噴出判斷框85的中心之間的間隔)從近前一側(cè)向遠(yuǎn)離一側(cè)依次縮短規(guī)定距離的方式，來設(shè)定多個(gè)正常噴出判斷框85的位置。
[0152]或者，在基板處理裝置I設(shè)定的三維坐標(biāo)系中，求出與多個(gè)第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的多個(gè)上述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置(即，在按照設(shè)計(jì)噴出處理液的情況下形成有亮點(diǎn)81的位置)的坐標(biāo)。接著，求出亮點(diǎn)投影位置的坐標(biāo)，亮點(diǎn)投影位置為在將多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置投影到假想平面上時(shí)的位置，該假設(shè)平面是指，通過與位于第一噴出口列313a的一側(cè)端部的第一噴出口314a對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置(以下，稱為“第一端部位置”)并且與拍攝部52的拍攝軸J2垂直的平面。
[0153]從各亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置朝向拍攝軸J2的始點(diǎn)(即，拍攝部52的光學(xué)系統(tǒng)的面向物體一側(cè)的端面的中心)的方向進(jìn)行各亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置的投影。例如，基于連結(jié)拍攝軸J2的始點(diǎn)、第一端部位置及與第二端部位置的三角形、連結(jié)第一端部位置和第二端部位置的直線，利用梅涅勞斯(Menelaus)定理，計(jì)算各亮點(diǎn)投影位置的坐標(biāo)，其中，第二端部位置為位于第一噴出口列313a的另一側(cè)端部的第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)投影位置。然后，根據(jù)相鄰的每?jī)蓚€(gè)亮點(diǎn)投影位置之間的間隔占據(jù)第一端部位置與第二端部位置之間的距離的比例，在檢查圖像8上，在上述兩個(gè)正常噴出判斷框85 (即，與兩端的第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的兩個(gè)正常噴出判斷框85)之間，配置多個(gè)正常噴出判斷框85。
[0154]像這樣，判斷框設(shè)定部74基于與第一噴出口列313a兩端的第一噴出口 314a對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)81在檢查圖像8上的位置，來設(shè)定與第一噴出口列313a對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85的位置。另外，與設(shè)定與第一噴出口列313a對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85的位置同樣地，設(shè)定與第二噴出口列313b、第三噴出口列313c及第四噴出口列313d分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框85的位置。由此，即使在噴頭31的檢查位置偏離了設(shè)計(jì)上的檢查位置的情況下，也能夠高精度地判斷多個(gè)噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。
[0155]如上所述，在基于與各噴出口列的兩端的噴出口對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)位置來設(shè)定多個(gè)正常噴出判斷框85的位置的情況下，基于各正常噴出判斷框85的位置，來設(shè)定包圍各正常噴出判斷框85的周圍的傾斜噴出判斷框87 (參照?qǐng)D7)的位置。另一方面，基于各正常噴出判斷框列兩端的正常噴出判斷框85的位置，來設(shè)定包圍多個(gè)正常噴出判斷框85的周圍的傾斜噴出判斷框87a (參照?qǐng)D10)的位置。另外，基于正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87,87a的位置，來設(shè)定保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89的位置。
[0156]在基板處理裝置I中，若拍攝部52與處理液之間的距離不同、則檢查圖像8上的亮點(diǎn)81的大小即亮點(diǎn)81的外觀尺寸也產(chǎn)生變化。例如，與靠近拍攝部52的亮點(diǎn)81相比，遠(yuǎn)離拍攝部52的亮點(diǎn)81的外觀尺寸變小，因傾斜噴出而引起的亮點(diǎn)81的外觀移動(dòng)量也變小。因此，在判斷正常噴出判斷框85等噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81時(shí)，即使遠(yuǎn)離拍攝部52的亮點(diǎn)81因傾斜噴出而偏離亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置，但與靠近拍攝部52的亮點(diǎn)81相比，也容易被判斷為在噴出判斷框內(nèi)。
[0157]另一方面，由于靠近拍攝部52的亮點(diǎn)81的外觀尺寸大于遠(yuǎn)離拍攝部52的亮點(diǎn)81，所以即使在亮點(diǎn)81的重心位于噴出判斷框的外側(cè)的情況下，亮點(diǎn)81的一部分位于噴出判斷框內(nèi)的可能性變高。其結(jié)果為，就靠近拍攝部52的亮點(diǎn)81而言，在重心位于噴出判斷框外的情況下，與遠(yuǎn)離拍攝部52的亮點(diǎn)81相比，也容易被判斷為在噴出判斷框內(nèi)。
[0158]另外，在基板處理裝置I中，通過配置噴頭31、光射出部51及拍攝部52，使多個(gè)亮點(diǎn)81中的一部分亮點(diǎn)81位于拍攝部52的聚焦范圍80的外側(cè)。在該情況下，該一部分的亮點(diǎn)81在檢查圖像8上變模糊(所謂的焦點(diǎn)模糊)，與聚焦范圍80內(nèi)的亮點(diǎn)81相比發(fā)散得更大。就發(fā)散得大的亮點(diǎn)81而言，由于其一部分位于噴出判斷框內(nèi)的可能性變高，所以在判斷正常噴出判斷框85等噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81時(shí)，與其它亮點(diǎn)81相比，容易被判斷為在噴出判斷框內(nèi)。
[0159]于是，利用噴出檢查部5進(jìn)行調(diào)整，以降低拍攝部52與亮點(diǎn)81之間的距離及在聚焦范圍80外的亮點(diǎn)81的模糊對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響。以下，針對(duì)該調(diào)整的兩種方法進(jìn)行說明。在第一調(diào)整方法中，在利用判斷框設(shè)定部74設(shè)定正常噴出判斷框85時(shí)，調(diào)整正常噴出判斷框85的大小。在第二調(diào)整方法中，在判斷部75判斷噴出動(dòng)作的好壞之前，修正亮點(diǎn)81在檢查圖像8上的大小。
[0160]在第一調(diào)整方法中，首先，如圖12所示，利用判斷框設(shè)定部74的臨時(shí)設(shè)定部77(參照?qǐng)D4)，在檢查圖像8中，以上述多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心臨時(shí)設(shè)定分別與多個(gè)噴出口314a?314d對(duì)應(yīng)的同形狀的多個(gè)正常噴出判斷框。利用臨時(shí)設(shè)定部77臨時(shí)設(shè)定的各正常噴出判斷框(以下，稱為“臨時(shí)設(shè)定框850”)為具有事先規(guī)定的規(guī)定尺寸的大致矩形狀。在圖12中，在利用后述的邊框尺寸調(diào)整部78進(jìn)行調(diào)整之后，在第一正常噴出判斷框列86a、第二正常噴出判斷框列86b、第三正常噴出判斷框列86c及第四正常噴出判斷框列86d的四個(gè)臨時(shí)設(shè)定框列860a?860d中，位于圖中左側(cè)的臨時(shí)設(shè)定框850靠近拍攝部52，位于右側(cè)的臨時(shí)設(shè)定框850遠(yuǎn)離拍攝部52。另外，在圖12中，僅描畫亮點(diǎn)81和臨時(shí)設(shè)定的正常噴出判斷框，不示出傾斜噴出判斷框等其它噴出判斷框。在后述的圖13?圖16中，也同樣。
[0161]接著，利用邊框尺寸調(diào)整部78，針對(duì)各臨時(shí)設(shè)定框850，求出檢查距離，檢查距離是拍攝部52的拍攝軸J2的起點(diǎn)和與各臨時(shí)設(shè)定框850對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間的距離。然后，利用邊框尺寸調(diào)整部78的外觀邊框尺寸調(diào)整部78a，基于上述檢查距離，來調(diào)整臨時(shí)設(shè)定框850。具體來說，以隨著檢查距離變大而縮小臨時(shí)設(shè)定框850的方式，來調(diào)整臨時(shí)設(shè)定框850。更詳細(xì)來說，將隨著關(guān)注的臨時(shí)設(shè)定框850的檢查距離變大而變小的檢查距離的規(guī)定函數(shù)設(shè)為邊框縮小率，不改變各臨時(shí)設(shè)定框850的中心位置(即，亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置)，分別將各臨時(shí)設(shè)定框850的四個(gè)邊的長(zhǎng)度乘以邊框縮小率，由此，如圖13所示，調(diào)整各臨時(shí)設(shè)定框850。各臨時(shí)設(shè)定框列860a?860d的臨時(shí)設(shè)定框850的各邊的長(zhǎng)度，從圖中的左側(cè)朝向右側(cè)逐漸變短。例如，在檢查距離與最靠近拍攝部52的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與拍攝部52之間的距離相等時(shí)，將上述函數(shù)設(shè)定為“ I ”，若檢查距離大于該距離，則設(shè)定為小于I。
[0162]接著，邊框尺寸調(diào)整部78的聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b進(jìn)一步進(jìn)行調(diào)整，使得利用在圖13中說明的處理來進(jìn)行調(diào)整的各臨時(shí)設(shè)定框850的大小，隨著拍攝部52的聚焦距離和與各臨時(shí)設(shè)定框850對(duì)應(yīng)的檢查距離之間的差(以下，稱為“焦點(diǎn)偏移量”)變大而縮小，從而設(shè)定正常噴出判斷框85。具體來說，將隨著焦點(diǎn)偏移量變大而變大的焦點(diǎn)偏移量的規(guī)定函數(shù)設(shè)為模糊量，不改變各臨時(shí)設(shè)定框850的中心位置，將各臨時(shí)設(shè)定框850的四個(gè)邊的長(zhǎng)度分別減去模糊量，由此，如圖14所示，設(shè)定各正常噴出判斷框85。
[0163]在圖12?圖14示出的例子中，位于圖中在上下方向上的中央部附近的亮點(diǎn)81被包含在聚焦范圍80內(nèi)。因此，圖13中的上側(cè)(即，三維坐標(biāo)系的近前一側(cè))的臨時(shí)設(shè)定框列860a、860b中右側(cè)的一部分的臨時(shí)設(shè)定框850不用改變大小就能用來作為正常噴出判斷框85。另外，臨時(shí)設(shè)定框列860a、860b的其它臨時(shí)設(shè)定框850，因其各邊減去模糊量而縮小。如圖14所示，在臨時(shí)設(shè)定框列860a、860b(S卩，第一正常噴出判斷框列86a及第二正常噴出判斷框列86b)中，從各臨時(shí)設(shè)定框850減去的模糊量從圖中的右側(cè)向左側(cè)變大。
[0164]另一方面，在圖13中的下側(cè)的臨時(shí)設(shè)定框列860c、860d中，左側(cè)的一部分的臨時(shí)設(shè)定框850不用改變大小就能用來作為正常噴出判斷框85。另外，臨時(shí)設(shè)定框列860c、860d的其它的臨時(shí)設(shè)定框850，因各邊減去模糊量而縮小。如圖14所示，在臨時(shí)設(shè)定框列860c、860d (即，第三正常噴出判斷框列86c及第四正常噴出判斷框列86d)中，從各臨時(shí)設(shè)定框850減去的模糊量從圖中的左側(cè)向右側(cè)變大。
[0165]就與各亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置對(duì)應(yīng)的傾斜噴出判斷框87而言，也與調(diào)整上述的正常噴出判斷框85的方式同樣地，利用臨時(shí)設(shè)定部77在檢查圖像8上進(jìn)行臨時(shí)設(shè)定，利用邊框尺寸調(diào)整部78調(diào)整其大小。
[0166]在基板處理裝置I中，如上所述，基于大小被調(diào)整的正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。對(duì)正常噴出判斷框85進(jìn)行的調(diào)整，如上所述，以隨著與各臨時(shí)設(shè)定框850對(duì)應(yīng)的檢查距離變大而縮小各臨時(shí)設(shè)定框850的方式來進(jìn)行調(diào)整。由此，能夠降低拍攝部52與亮點(diǎn)81之間的距離對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0167]另外，以隨著焦點(diǎn)偏移量變大而縮小各臨時(shí)設(shè)定框850的方式進(jìn)行調(diào)整，其中，焦點(diǎn)偏移量為與各臨時(shí)設(shè)定框850對(duì)應(yīng)的檢查距離和拍攝部52的聚焦距離之差。由此，能夠降低聚焦范圍80以外的亮點(diǎn)81的模糊對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞造成的影響，從而進(jìn)一步提高判斷噴出動(dòng)作好壞的精度。
[0168]此外，在上述的例子中，邊框尺寸調(diào)整部78利用外觀邊框尺寸調(diào)整部78a對(duì)各臨時(shí)設(shè)定框850進(jìn)行了調(diào)整及利用聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b對(duì)各臨時(shí)設(shè)定框850進(jìn)行了調(diào)整，但不用必須進(jìn)行兩種調(diào)整。邊框尺寸調(diào)整部78通過利用外觀邊框尺寸調(diào)整部78a及聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b中的至少一方，對(duì)各臨時(shí)設(shè)定框850進(jìn)行調(diào)整，來設(shè)定正常噴出判斷框85。其結(jié)果為，如上所述，能夠降低拍攝部52與亮點(diǎn)81之間的距離對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞造成的影響，從而提高了判斷噴出動(dòng)作好壞的精度。
[0169]在上述的例子中，針對(duì)在設(shè)定與正常噴出判斷框85個(gè)數(shù)相同的傾斜噴出判斷框87的情況下修正噴出判斷框的方式進(jìn)行了說明，但如圖10所示，即使在一個(gè)傾斜噴出判斷框87a的內(nèi)側(cè)設(shè)定有多個(gè)正常噴出判斷框85的情況下，也可以同樣的方式設(shè)定正常噴出判斷框85。
[0170]接著，針對(duì)上述的第二調(diào)整方法進(jìn)行說明。在第二調(diào)整方法中，首先，如圖12所示，判斷框設(shè)定部74在檢查圖像8上，以上述的多個(gè)亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心設(shè)定分別與多個(gè)噴出口 314a?314d對(duì)應(yīng)的同形狀的多個(gè)正常噴出判斷框85。正常噴出判斷框85為事先規(guī)定的規(guī)定的大小的大致矩形狀。
[0171]接著，利用亮點(diǎn)修正部76求出檢查距離，檢查距離為與檢查圖像8的各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置和拍攝部52的拍攝軸J2的起點(diǎn)之間的距離。然后，利用外觀亮點(diǎn)尺寸調(diào)整部76a對(duì)各亮點(diǎn)81的大小進(jìn)行修正，以使得各亮點(diǎn)81的大小隨著上述檢查距離變小而縮小。具體來說，將隨著檢查距離變小而變小的檢查距離的規(guī)定函數(shù)設(shè)為亮點(diǎn)縮小率，不改變各亮點(diǎn)81的重心位置，利用該亮點(diǎn)縮小率縮小各亮點(diǎn)81，由此，如圖15所示，修正各亮點(diǎn)81的大小。
[0172]接著，利用亮點(diǎn)修正部76的聚焦偏移亮點(diǎn)尺寸調(diào)整部76b以使各亮點(diǎn)81的大小隨著焦點(diǎn)偏移量變大而縮小的方式進(jìn)行修正，焦點(diǎn)偏移量為拍攝部52的聚焦距離和與各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的檢查距離之差。具體來說，將隨著焦點(diǎn)偏移量變大而變大的焦點(diǎn)偏移量的規(guī)定函數(shù)設(shè)為亮點(diǎn)模糊量，不改變各亮點(diǎn)81的重心位置，將各亮點(diǎn)81在縱向以及橫向上的長(zhǎng)度分別減去亮點(diǎn)模糊量，由此，如圖16所示，修正各亮點(diǎn)81的大小。
[0173]在基板處理裝置I中，利用判斷部75基于正常噴出判斷框85內(nèi)有無大小已被修正的亮點(diǎn)81的有無信息(即，表示是否存在修正后的亮點(diǎn)81的至少一部分的信息)，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。對(duì)亮點(diǎn)81進(jìn)行修正的方式如上所述，以隨著與各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的檢查距離變小(即，與各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置越靠近拍攝部52)而縮小各亮點(diǎn)81的方式進(jìn)行修正。由此，能夠抑制或防止即使亮點(diǎn)81的大部分位于正常噴出判斷框85的外側(cè)但有亮點(diǎn)81的僅一部分還是位于正常噴出判斷框85內(nèi)的情況。其結(jié)果為，能夠降低拍攝部52與亮點(diǎn)81之間的距離對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0174]另外，以隨著焦點(diǎn)偏移量而縮小各亮點(diǎn)81的方式進(jìn)行修正，焦點(diǎn)偏移量為與各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的檢查距離和拍攝部52的聚焦距離之差。由此，能夠降低聚焦范圍80外的亮點(diǎn)81的模糊對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠進(jìn)一步提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0175]此外，在上述例子中，亮點(diǎn)修正部76利用外觀亮點(diǎn)尺寸修正部76a對(duì)各亮點(diǎn)81進(jìn)行了修正及利用聚焦偏移亮點(diǎn)尺寸修正部76b對(duì)各亮點(diǎn)81進(jìn)行了修正，但這兩種修正不用都進(jìn)行。亮點(diǎn)修正部76利用外觀亮點(diǎn)尺寸修正部76a及聚焦偏移亮點(diǎn)尺寸修正部76b的至少一方修正了大小的各亮點(diǎn)81，對(duì)此，判斷部75獲取在正常噴出判斷框85內(nèi)有無上述各亮點(diǎn)81的有無信息，基于該有無信息，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作的好壞。其結(jié)果為，如上所述，能夠降低拍攝部52與亮點(diǎn)81之間的距離對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0176]在上述的例子中，針對(duì)在設(shè)定有與正常噴出判斷框85個(gè)數(shù)相同的傾斜噴出判斷框87的情況下修正亮點(diǎn)81的方式進(jìn)行了說明，如圖10所示，即使在一個(gè)傾斜噴出判斷框87a的內(nèi)側(cè)設(shè)定有多個(gè)正常噴出判斷框85的情況下，也以同樣的方式修正亮點(diǎn)81。
[0177]在基板處理裝置I中，若從光射出部51射出的面狀光510在上下方向上的厚度變厚，則在由拍攝部52獲取的檢查圖像8中，各亮點(diǎn)81在上下方向(即，處理液在設(shè)計(jì)上的噴出方向)上變大。來自光射出部51的面狀光510的厚度在照射從噴頭31噴出的處理液的區(qū)域中大致固定，但即使在該區(qū)域內(nèi)，隨著與光最薄位置之間的距離變大，上述面狀光510的厚度也以很小的程度逐漸增大，其中，光最薄位置為從光射出部51射出的面狀光510在噴出方向上的厚度變得最小的位置(即，為面狀光510在上下方向上收縮得最小的位置)。因此，與靠近光最薄位置的亮點(diǎn)81相比，遠(yuǎn)離光最薄位置的亮點(diǎn)81在上下方向上變大。其結(jié)果為，在判斷正常噴出判斷框85等的噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81時(shí)，與靠近光最薄位置的亮點(diǎn)81相比，遠(yuǎn)離光最薄位置的亮點(diǎn)81更被容易判斷為在噴出判斷框內(nèi)。
[0178]于是，利用噴出檢查部5進(jìn)行調(diào)整，以用于降低光最薄位置與亮點(diǎn)81之間的距離對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響。以下，針對(duì)該調(diào)整的兩種方法進(jìn)行說明。為了區(qū)別于上述的第一及第二調(diào)整方法，將該兩種調(diào)整方法分別稱為“第三調(diào)整方法”及“第四調(diào)整方法”。在第三調(diào)整方法中，在利用判斷框設(shè)定部74設(shè)定正常噴出判斷框85時(shí)，調(diào)整正常噴出判斷框85的大小。在第四調(diào)整方法中，在利用判斷部75判斷噴出動(dòng)作的好壞之前，修正亮點(diǎn)81在檢查圖像8上的大小。
[0179]在第三調(diào)整方法中，利用邊框尺寸調(diào)整部78的光厚度調(diào)整部78c，基于判斷框照射距離誤差，調(diào)整各正常噴出判斷框85在上下方向(即，處理液在設(shè)計(jì)上的噴出方向)上的高度，其中，判斷框照射距離誤差為照射距離與光最薄距離之差，照射距離是指，在與光射出部51的光軸Jl的起點(diǎn)和與各正常噴出判斷框85對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間在與光軸Jl平行的方向上的距離，光最薄距離是指，光射出部51的光軸Jl的起點(diǎn)與光最薄位置之間在與光軸Jl平行的方向上的距離。具體來說，隨著各正常噴出判斷框85的判斷框照射距離誤差變大，在上下方向上縮小各正常噴出判斷框85。由此，能夠降低判斷框照射距離誤差對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0180]在第四調(diào)整方法中，利用亮點(diǎn)修正部76的光厚度修正部76c，基于亮點(diǎn)照射距離誤差，調(diào)整各亮點(diǎn)81在上下方向上的高度，其中，亮點(diǎn)照射距離誤差為各亮點(diǎn)81的照射距離(即，光射出部51的光軸Jl的起點(diǎn)和與各亮點(diǎn)81對(duì)應(yīng)的亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間在與光軸Jl平行的方向上的距離)與光最薄距離之差。具體來說，隨著各亮點(diǎn)81的亮點(diǎn)照射距離誤差變大，在上下方向上縮小各亮點(diǎn)81。由此，能夠降低亮點(diǎn)照射距離誤差對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作的好壞的精度。
[0181]可以適當(dāng)組合上述四種調(diào)整方法來實(shí)施。例如，可以實(shí)施第一及第三調(diào)整方法，來調(diào)整正常噴出判斷框85的大小?；蛘撸梢詫?shí)施第二及第四調(diào)整方法，來調(diào)整亮點(diǎn)81的大小。另外，可以實(shí)施組合了第一?第四調(diào)整方法中兩個(gè)以上調(diào)整方法的某一組合。
[0182]在上述說明中，在判斷部75判斷在正常噴出判斷框85等噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81時(shí)，只要亮點(diǎn)81的至少一部分位于噴出判斷框內(nèi)，則判斷為亮點(diǎn)81在該噴出判斷框內(nèi)，但是還可以在亮點(diǎn)81的一半以上位于噴出判斷框內(nèi)的情況下，判斷為亮點(diǎn)81在該噴出判斷框內(nèi)。或者，還可以僅在亮點(diǎn)81的整體都位于噴出判斷框內(nèi)的情況下，判斷為亮點(diǎn)81在該噴出判斷框內(nèi)。在該情況下，在利用上述的聚焦偏移邊框尺寸調(diào)整部78b調(diào)整臨時(shí)設(shè)定框850時(shí)，隨著焦點(diǎn)偏移量變大，在臨時(shí)設(shè)定框850的各邊上加上模糊量，來擴(kuò)大臨時(shí)設(shè)定框850。由此，能夠降低聚焦范圍80外的亮點(diǎn)81的模糊對(duì)判斷噴出動(dòng)作的好壞造成的影響，從而能夠進(jìn)一步提高判斷噴出動(dòng)作好壞的精度。另外，在利用上述的光厚度調(diào)整部78c調(diào)整正常噴出判斷框85時(shí)，隨著判斷框照射距離誤差變大，而在上下方向上擴(kuò)大正常噴出判斷框85。由此，能夠降低判斷框照射距離誤差對(duì)判斷噴出動(dòng)作好壞造成的影響，從而能夠提高判斷噴出動(dòng)作好壞的精度。
[0183]另外，利用判斷部75可以求出在檢查圖像8上的多個(gè)亮點(diǎn)81各自的重心，獲取表示在各正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的重心的信息，來作為在各正常噴出判斷框85內(nèi)有無亮點(diǎn)81的有無信息。由此，例如，能夠防止在位于聚焦范圍80的外側(cè)的亮點(diǎn)81只有其因模糊而發(fā)散的部分位于正常噴出判斷框85內(nèi)的情況下，也判斷為亮點(diǎn)81在正常噴出判斷框85內(nèi)的情況。在判斷其它噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)81時(shí)也相同。其結(jié)果為，能夠進(jìn)一步提高判斷多個(gè)噴出口 314a?314d內(nèi)的噴出動(dòng)作好壞的精度。通過檢測(cè)有無上述重心來進(jìn)行有無亮點(diǎn)81的判斷，可以與上述的第一調(diào)整方法或第三調(diào)整方法同時(shí)進(jìn)行。但是，在進(jìn)行上述的第二調(diào)整方法或第四調(diào)整方法時(shí)，不進(jìn)行通過檢測(cè)有無重心的有無亮點(diǎn)81的判斷。
[0184]上述基板處理裝置I能夠進(jìn)行各種各樣的變更。
[0185]在上述的噴出檢查部5中，利用判斷框設(shè)定部74設(shè)定正常噴出判斷框85、傾斜噴出判斷框87、87a、保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88及最大噴出判斷框89，但不用必須設(shè)定所有的噴出判斷框。在噴出檢查部5中，可以利用判斷框設(shè)定部74僅設(shè)定一種噴出判斷框，還可以采用組合兩種或三種噴出判斷框的方式來進(jìn)行設(shè)定。
[0186]例如，可以省略與保護(hù)液膜93的外側(cè)的區(qū)域?qū)?yīng)的最大噴出判斷框89。在該情況下，保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88為位于多個(gè)噴出判斷框中最外側(cè)的外側(cè)噴出判斷框。另外，利用判斷部75判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作為正常噴出或下列噴出不良中的某一種:向與傾斜噴出判斷框87、87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域傾斜噴出處理液的情況、朝向與傾斜噴出判斷框87、87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域外的保護(hù)液膜93上更大幅度傾斜噴出處理液的情況、除此以外的噴出不良。除此以外的噴出不良是指，不噴出處理液的情況或著落在保護(hù)液膜93外的極其大幅度傾斜噴出處理液的情況。
[0187]可以省略噴出判斷框中的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88。在該情況下，在多個(gè)傾斜噴出判斷框87或多個(gè)傾斜噴出判斷框87a的周圍，設(shè)定最大噴出判斷框89。然后，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作為:正常噴出處理液動(dòng)作、朝向與傾斜噴出判斷框87、87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域傾斜噴出處理液的動(dòng)作、朝向與傾斜噴出判斷框87、87a對(duì)應(yīng)的區(qū)域外更大幅傾斜噴出處理液的動(dòng)作、不噴出處理液的動(dòng)作中的某一種動(dòng)作。
[0188]在省略了噴出判斷框中的傾斜噴出判斷框87、87a的情況下，判斷各噴出口314a?314d的噴出動(dòng)作為:正常噴出處理液的動(dòng)作、朝向保護(hù)液膜93上傾斜噴出處理液的動(dòng)作、著落在保護(hù)液膜93外的極其大幅度傾斜噴出處理液的動(dòng)作、不噴出處理液的動(dòng)作中的某一種。在省略傾斜噴出判斷框87、87a及保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框88的情況下，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作為:正常噴出、傾斜噴出及不噴出中的某一種。在省略了正常噴出判斷框85及傾斜噴出判斷框87、87a的情況下，判斷各噴出口 314a?314d的噴出動(dòng)作為:處理液著落在保護(hù)液膜93上的噴出、著落在保護(hù)液膜93外的噴出、不噴出中的某一種。
[0189]在上述說明中，將不噴出及傾斜噴出判斷為噴出口 314a的噴出不良，還可以將其它噴出動(dòng)作也判斷為噴出不良。例如，從噴頭31噴出的液滴在飛濺中分裂，形成多個(gè)極小液滴。這種極小液滴不能夠?qū)?的上表面91施加足夠的動(dòng)能，因此有不能夠適當(dāng)清洗基板9的可能性。因此，還可以將噴出這種極小液滴的情況也判斷為噴出口的噴出不良。在將噴出極小液滴的情況判斷為噴出不良的情況下，例如，將在正常噴出判斷框85內(nèi)檢測(cè)出一個(gè)亮點(diǎn)81的情況判斷為正常噴出，將在正常噴出判斷框85內(nèi)檢測(cè)出多個(gè)亮點(diǎn)81的情況判斷為噴出不良。
[0190]在上述說明中，在亮點(diǎn)81位于拍攝部52的聚焦范圍80外的情況下等，利用第一調(diào)整方法調(diào)整正常噴出判斷框85等的噴出判斷框的大小或利用第二調(diào)整方法調(diào)整亮點(diǎn)81的大小，即使在一部分的亮點(diǎn)81位于聚焦范圍80外的情況下等，只要滿足判斷噴出動(dòng)作好壞的精度能夠容許的等級(jí)，就可以調(diào)整噴出判斷框或売點(diǎn)81的大小。另外，在面狀光510的上下方向的厚度不因上述的照射距離而產(chǎn)生多大變化的情況等，可以利用第三調(diào)整方法調(diào)整正常噴出判斷框85等的噴出判斷框的大小或利用第四調(diào)整方法調(diào)整亮點(diǎn)81的大小。在噴出檢查部5中，在判斷噴出動(dòng)作的好壞之前，以使亮點(diǎn)81在縱向及橫向上的長(zhǎng)度大致相等的方式，以重心位置為中心，在上下方向上縮小亮點(diǎn)81。
[0191]光射出部51不用必須射出呈面狀的光，可以從光射出部51沿著光存在面朝向前方射出直線狀延伸的光，通過多棱鏡等光掃描部件沿著光存在面利用該光進(jìn)行掃描。由此，在作為從多個(gè)噴出口 314a?314d噴出的處理液的多個(gè)飛濺體通過光存在面時(shí)，對(duì)該多個(gè)飛濺體照射光。另外，光存在面可以與從噴頭31噴出的處理液在設(shè)計(jì)上的噴出方向垂直，拍攝部52的拍攝方向可以平行于與上述在設(shè)計(jì)上的噴出方向垂直的平面。
[0192]光射出部51及拍攝部52可以配置在噴頭31的斜下方以外的位置，例如，配置在噴頭31的傾斜上方。噴出檢查部5可以配置在噴頭31的待機(jī)位置附近(即，待機(jī)容器4的附近)以外的位置。例如，可以在位于基板9上的噴頭31的傾斜上方配置光射出部51及拍攝部52。
[0193]從噴頭31噴出的處理液不用必須為液滴狀,可以從噴頭31噴出連續(xù)的呈液柱狀的處理液。
[0194]基板處理裝置I可以用于清洗基板9以外的各種各樣的處理。另外，基板處理裝置I可以用于如下的處理:除了半導(dǎo)體基板以外，還用于液晶顯示裝置、等離子顯示器、FED(fieldemiss1n display:場(chǎng)發(fā)射顯示器)等顯示裝置。或者,基板處理裝置I可以用于光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、陶瓷基板及太陽能電池用基板等玻璃基板的處理。
[0195]具有上述光射出部51、拍攝部52、判斷框設(shè)定部74及判斷部75的裝置可以用作與基板處理裝置I的其它的結(jié)構(gòu)相獨(dú)立的噴出檢查裝置?；蛘?，具有上述的光射出部51、拍攝部52、判斷框設(shè)定部74、判斷部75及亮點(diǎn)修正部76的裝置可以用作與基板處理裝置I的其它的結(jié)構(gòu)相獨(dú)立的噴出檢查裝置。這些噴出檢查裝置例如為從多個(gè)噴出口對(duì)上述的各種各樣的基板噴出液體的裝置，用于檢查從多個(gè)噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作。
[0196]只要彼此不矛盾，可以適當(dāng)?shù)亟M合上述實(shí)施方式及各變形例的結(jié)構(gòu)。
[0197]以上，詳細(xì)地描寫并說明了發(fā)明，但上述的說明是例示性的，而非限定。因此，只要不脫離本發(fā)明的范圍，能夠采用多種變形或方式。
【權(quán)利要求】
1.一種噴出檢查裝置，其檢查從多個(gè)噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作，其特征在于， 具有: 光射出部，其沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，由此在多個(gè)飛濺體通過所述光存在面時(shí)，對(duì)多個(gè)所述飛濺體照射光，多個(gè)所述飛濺體為從多個(gè)所述噴出口噴出的液體， 拍攝部，其拍攝通過所述光存在面的多個(gè)所述飛濺體，由此獲取檢查圖像，該檢查圖像包括多個(gè)所述飛濺體上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)， 判斷框設(shè)定部，其在所述檢查圖像上，設(shè)定與多個(gè)所述噴出口對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框， 判斷部，其獲取各正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于所述有無信息，判斷與各所述正常噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口的噴出動(dòng)作的好壞。
2.如權(quán)利要求1所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述拍攝部的拍攝方向相對(duì)于與多個(gè)所述飛濺體的規(guī)定的噴出方向垂直的平面傾斜。
3.如權(quán)利要求1所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述光存在面相對(duì)于與多個(gè)所述飛濺體的規(guī)定的噴出方向垂直的平面傾斜。
4.如權(quán)利要求1所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部具有: 臨時(shí)設(shè)定部，其以亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心，在所述檢查圖像上以使規(guī)定大小的正常噴出判斷框與各所述噴出口對(duì)應(yīng)的方式，臨時(shí)設(shè)定所述正常噴出判斷框，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)， 邊框尺寸調(diào)整部，其基于檢查距離，調(diào)整由所述臨時(shí)設(shè)定部臨時(shí)設(shè)定的各正常噴出判斷框，所述檢查距離為所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離。
5.如權(quán)利要求4所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述邊框尺寸調(diào)整部以隨著所述檢查距離變大而縮小各所述正常噴出判斷框的大小的方式進(jìn)行調(diào)整。
6.如權(quán)利要求4所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述邊框尺寸調(diào)整部以隨著所述拍攝部的聚焦距離與所述檢查距離之差變大而縮小各所述正常噴出判斷框的大小的方式進(jìn)行調(diào)整。
7.如權(quán)利要求4所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 將所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間平行于光軸的方向上的所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間的距離作為照射距離， 所述邊框尺寸調(diào)整部還具有光厚度調(diào)整部，所述光厚度調(diào)整部以隨著光最薄位置與所述光射出部之間的距離和所述照射距離之差變大而在所述噴出方向上縮小各所述正常噴出判斷邊框的方式進(jìn)行調(diào)整，所述光最薄位置為從所述光射出部射出的光在所述噴出方向上的厚度變得最小的位置。
8.如權(quán)利要求4所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述拍攝部的拍攝方向相對(duì)于與所述噴出方向垂直的平面傾斜。
9.如權(quán)利要求4所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述光存在面相對(duì)于與所述噴出方向垂直的平面傾斜。
10.如權(quán)利要求1所述的噴出檢查裝置，其特征在于，還具有亮點(diǎn)修正部，所述亮點(diǎn)修正部將亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離作為檢查距離，基于所述檢查距離的大小，修正所述檢查圖像中的多個(gè)所述亮點(diǎn)的各亮點(diǎn)的大小，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)， 所述有無信息為表示在各所述正常噴出判斷框內(nèi)是否存在由所述亮點(diǎn)修正部修正后的亮點(diǎn)的至少一部分的信息。
11.如權(quán)利要求10所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述亮點(diǎn)修正部以隨著所述檢查距離變小而縮小各所述亮點(diǎn)的大小的方式進(jìn)行修正。
12.如權(quán)利要求10所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述亮點(diǎn)修正部以隨著所述拍攝部的聚焦距離與所述檢查距離之差變大而縮小各所述亮點(diǎn)的大小的方式進(jìn)行修正。
13.如權(quán)利要求10所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 將所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間平行于光軸的方向上的所述光射出部與所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置之間的距離作為照射距離， 所述噴出檢查裝置還具有光厚度修正部，所述光厚度修正部以隨著光最薄位置與所述光射出部之間的距離和所述照射距離之差變大而在所述噴出方向上縮小各所述亮點(diǎn)的方式進(jìn)行調(diào)整，所述光最薄位置為從所述光射出部射出的光在所述噴出方向上的厚度變得最小的位置。
14.如權(quán)利要 求10所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述拍攝部的拍攝方向相對(duì)于與所述噴出方向垂直的平面傾斜。
15.如權(quán)利要求10所述的噴出檢查裝置，其特征在于，所述光存在面相對(duì)于與所述噴出方向垂直的平面傾斜。
16.如權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 多個(gè)所述噴出口排列成直線狀， 所述判斷框設(shè)定部基于所述檢查圖像所包含的多個(gè)所述亮點(diǎn)中位于兩端的亮點(diǎn)的位置，設(shè)定多個(gè)所述正常噴出判斷框的位置。
17.如權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述正常噴出判斷框的周圍分別設(shè)定多個(gè)傾斜噴出判斷框， 所述判斷部基于在各傾斜噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷與各所述傾斜噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口是否產(chǎn)生了傾斜噴出。
18.如權(quán)利要求17所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述傾斜噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)外側(cè)噴出判斷框， 所述判斷部基于在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了大幅度傾斜噴出液體的傾斜噴出。
19.如權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部在多個(gè)所述正常噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)傾斜噴出判斷框， 所述判斷部基于在所述傾斜噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了傾斜嗔出。
20.如權(quán)利要求19所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部在所述傾斜噴出判斷框的周圍設(shè)定一個(gè)外側(cè)噴出判斷框，所述判斷部基于在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，判斷是否產(chǎn)生了傾斜嗔出。
21.如權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的噴出檢查裝置，其特征在于， 所述判斷部求出在所述檢查圖像上的多個(gè)所述亮點(diǎn)的各自重心，獲取表示在各所述正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的重心的信息，來作為各所述正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的所述有無信息。
22.—種基板處理裝置，其特征在于， 具有: 基板保持部，其用于保持基板， 噴頭，其從多個(gè)噴出口朝向所述基板噴出液體，對(duì)所述基板進(jìn)行規(guī)定的處理， 噴出檢查裝置，其檢查從所述噴頭的多個(gè)所述噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作； 所述噴出檢查裝置具有: 光射出部，其沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，由此在多個(gè)飛濺體通過所述光存在面時(shí)，對(duì)多個(gè)所述飛濺體照射光，多個(gè)所述飛濺體為從多個(gè)所述噴出口噴出的液體， 拍攝部，其拍攝通過所述光存在面的多個(gè)所述飛濺體，由此獲取檢查圖像，該檢測(cè)圖像包括多個(gè)所述飛濺體 上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)， 判斷框設(shè)定部，其在所述檢查圖像上，設(shè)定與多個(gè)所述噴出口對(duì)應(yīng)的多個(gè)正常噴出判斷框， 判斷部，其獲取各正常噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于所述有無信息，判斷與各所述正常噴出判斷框?qū)?yīng)的噴出口的噴出動(dòng)作的好壞。
23.如權(quán)利要求22所述的基板處理裝置，其特征在于， 還具有保護(hù)液供給部，所述保護(hù)液供給部向所述基板上供給保護(hù)液，形成保護(hù)液膜，所述保護(hù)液膜覆蓋多個(gè)著落位置，該多個(gè)著落位置是指在設(shè)計(jì)上來自多個(gè)所述噴出口的液體著落在所述基板上的位置。
24.如權(quán)利要求23所述的基板處理裝置，其特征在于，從多個(gè)所述噴出口噴射作為清洗液的所述液體的微小液滴，所述微小液滴經(jīng)由所述保護(hù)液膜將動(dòng)能施加在所述基板上，由此對(duì)所述基板進(jìn)行清洗處理。
25.如權(quán)利要求22~24中任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述噴出檢查裝置還具有亮點(diǎn)修正部，所述亮點(diǎn)修正部將亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離作為檢查距離，基于所述檢查距離的大小，修正所述檢查圖像中的各亮點(diǎn)的大小，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)， 所述有無信息為表示在各所述正常噴出判斷框內(nèi)是否存在由所述亮點(diǎn)修正部修正后的亮點(diǎn)的至少一部分的信息。
26.如權(quán)利要求22~24中任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述判斷框設(shè)定部具有: 臨時(shí)設(shè)定部，其以亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為中心，在所述檢查圖像上以使規(guī)定大小的正常噴出判斷框與各所述噴出口對(duì)應(yīng)的方式，臨時(shí)設(shè)定所述正常噴出判斷框，所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置為從各噴出口朝向多個(gè)所述飛濺體在設(shè)計(jì)上的噴出方向延伸的噴出中心線與所述光存在面相交的點(diǎn)， 邊框尺寸調(diào)整部，其基于檢查距離，調(diào)整由所述臨時(shí)設(shè)定部臨時(shí)設(shè)定的各正常噴出判斷框，所述檢查距離為所述亮點(diǎn)基準(zhǔn)位置與所述拍攝部之間的距離。
27.一種基板處理裝置，其特征在于， 具有: 基板保持部，其用于保持基板， 保護(hù)液供給部，其向所述基板上供給保護(hù)液，形成覆蓋所述基板上的一部分的保護(hù)液膜， 噴頭，其從多個(gè)噴出口朝向所述基板上的所述保護(hù)液膜噴出液體，對(duì)所述基板進(jìn)行規(guī)定的處理， 噴出檢查裝置，其檢查從所述噴頭的多個(gè)所述噴出口噴出液體的噴出動(dòng)作； 所述噴出檢查裝置具有: 光射出部，其沿著事先規(guī)定的光存在面射出光，由此在多個(gè)飛濺體通過所述光存在面時(shí)，對(duì)多個(gè)所述飛濺體照射光，多個(gè)所述飛濺體為從多個(gè)所述噴出口噴出的液體， 拍攝部，其拍攝通過所述光存在面的多個(gè)所述飛濺體，由此獲取檢查圖像，該檢測(cè)圖像包括多個(gè)所述飛濺體上出現(xiàn)的多個(gè)亮點(diǎn)， 判斷框設(shè)定部，其在所述檢查圖像上設(shè)定與所述基板上的所述保護(hù)液膜對(duì)應(yīng)的保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框、包圍所述保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框的外側(cè)噴出判斷框， 判斷部，其獲取在所述外側(cè)噴出判斷框內(nèi)有無亮點(diǎn)的有無信息，基于所述有無信息，判斷液體是否著落在所述保護(hù)液膜的外側(cè)。
28.如權(quán)利要求27所述的基板處理裝置，其特征在于， 基于外周噴出口的位置、所述基板上的所述保護(hù)液膜的外周部的位置、位于所述外周噴出口與所述保護(hù)液膜之間的所述光存在面的位置，設(shè)定所述檢查圖像上的所述保護(hù)液膜內(nèi)噴出判斷框，所述外周噴出口是指，在所述噴頭上配置于設(shè)置有多個(gè)所述噴出口的噴出口配置區(qū)域的外周部的噴出口。
29.如權(quán)利要求27或28所述的基板處理裝置，其特征在于， 從多個(gè)所述噴出口噴射作為清洗液的所述液體的微小液滴，所述微小液滴經(jīng)由所述保護(hù)液膜將動(dòng)能施加在所述基板上，由此對(duì)所述基板進(jìn)行清洗處理。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104051297SQ201410085538
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年3月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月14日
【發(fā)明者】古川至, 佐野洋 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社