半導(dǎo)體激光器模塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體激光器模塊，具備:半導(dǎo)體激光器元件，其具有半導(dǎo)體激光器；第1支承部件，其載置所述半導(dǎo)體激光器元件；第1溫度調(diào)節(jié)元件，其對所述第1支承部件進(jìn)行溫度調(diào)整；半導(dǎo)體光元件，其具有對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光進(jìn)行放大的半導(dǎo)體光放大器；和第2支承部件，其載置所述半導(dǎo)體光元件。半導(dǎo)體激光器模塊優(yōu)選具備:光隔離器，其被配置在所述半導(dǎo)體激光器元件與所述半導(dǎo)體光元件之間。
【專利說明】半導(dǎo)體激光器模塊

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體激光器模塊。

【背景技術(shù)】
[0002]作為例如0101(061186 1^61611^1:11 01^181011 11111:11)16x1118 ；密集波分復(fù)用)光通信用的波長可變光源，已公開集成了激光振蕩波長相互不同的多個(gè)半導(dǎo)體激光器的集成型半導(dǎo)體激光器元件(例如參照專利文獻(xiàn)1)。這種集成型半導(dǎo)體激光器元件通過切換可動作的半導(dǎo)體激光器來使所輸出的激光光的波長發(fā)生變化，從而作為波長可變激光器來發(fā)揮功能。多個(gè)半導(dǎo)體激光器依次連接著光親合器、半導(dǎo)體光放大器0^)1:1081:80^) 0來自可動作的半導(dǎo)體激光器的激光光，在通過了光親合器之后，被30八進(jìn)行光放大而從元件的輸出端輸出。此外，集成型半導(dǎo)體激光器元件被搭載于用于元件溫度調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)元件而被收納在框體內(nèi)，從而構(gòu)成了半導(dǎo)體激光器模塊。這種半導(dǎo)體激光器模塊為了例如0101光通信網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中的長距離光傳輸，而與外部調(diào)制器組合在一起作為信號光源來使用。此外，在專利文獻(xiàn)2中公開了通過30八來對從分布反饋型(0101*11x^6(1^66(1:0^8)激光器元件輸出的激光光進(jìn)行光放大的構(gòu)成的半導(dǎo)體激光器模塊。
[0003]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-317695號公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本專利第4639578號公報(bào)實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]實(shí)用新型要解決的課題
[0008]然而，在0101光通信網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中，例如隨著40(^1)^100(?%的數(shù)字相干通信的普及等、其功能變得先進(jìn)且復(fù)雜，耗電量將增加。為了抑制該耗電量的增加，關(guān)于在系統(tǒng)內(nèi)被作為信號光源來使用的半導(dǎo)體激光器模塊，也要求更低的耗電量。
[0009]本實(shí)用新型正是鑒于上述情形而完成的，其目的在于提供一種耗電量更低的半導(dǎo)體激光器模塊。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]為了解決上述的課題并達(dá)成目的，本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，具備:半導(dǎo)體激光器元件，其具有半導(dǎo)體激光器；第1支承部件，其載置所述半導(dǎo)體激光器元件；第1溫度調(diào)節(jié)元件，其對所述第1支承部件進(jìn)行溫度調(diào)整；半導(dǎo)體光元件，其具有對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光進(jìn)行放大的半導(dǎo)體光放大器；和第2支承部件，其載置所述半導(dǎo)體光元件。
[0012]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，具備:光隔離器，其被配置在所述半導(dǎo)體激光器元件與所述半導(dǎo)體光元件之間。
[0013]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，具備:第2溫度調(diào)節(jié)元件，其對所述第2支承部件進(jìn)行溫度調(diào)整，所述光隔離器被配置在所述第2支承部件。
[0014]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，還具備:第3支承部件，其載置所述光隔離器，所述第2支承部件未被進(jìn)行溫度調(diào)整。
[0015]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，所述第1溫度調(diào)節(jié)元件通過使所述半導(dǎo)體激光器元件的溫度發(fā)生變化而使從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長發(fā)生變化。
[0016]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器元件具備多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器、和能使從所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器輸出的激光光耦合的光耦合器，根據(jù)所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器之中發(fā)生動作的半導(dǎo)體激光器的切換以及所述半導(dǎo)體激光器元件的溫度變化，而使從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長發(fā)生變化。
[0017]本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊在上述實(shí)用新型中其特征在于，具備:波長監(jiān)控機(jī)構(gòu)，其對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長的變化進(jìn)行監(jiān)控。
[0018]實(shí)用新型的效果
[0019]根據(jù)本實(shí)用新型，起到能實(shí)現(xiàn)耗電量更低的半導(dǎo)體激光器模塊這一效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是實(shí)施方式1所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0021]圖2是圖1所示的半導(dǎo)體光放大元件的示意性剖視圖。
[0022]圖3是表示溫度調(diào)節(jié)元件的吸熱量0與耗電量之間的關(guān)系的一例的圖。
[0023]圖4是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式1的示意性俯視圖。
[0024]圖5是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式2的示意性俯視圖。
[0025]圖6是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式3的示意性俯視圖。
[0026]圖7是實(shí)施方式2所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0027]圖8是比較方式所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0028]圖9是表示30八的驅(qū)動電流與激光光的譜線寬度之間的關(guān)系的圖。
[0029]圖10是實(shí)施方式3所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0030]圖11是實(shí)施方式4所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0031]圖12是實(shí)施方式5所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。
[0032]圖13是圖12所示的半導(dǎo)體光放大元件的示意性俯視圖。
[0033]圖14是表示30八部的驅(qū)動電流與被輸出的激光光的譜線寬度之間的關(guān)系的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0034]以下，參照附圖來詳細(xì)地說明本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的實(shí)施方式。另外，并非通過該實(shí)施方式來限定本實(shí)用新型。此外，在各附圖中，對于相同或者相應(yīng)的要素適當(dāng)?shù)刭x予相同符號，并適當(dāng)省略說明。進(jìn)而需要注意的是，附圖是示意性的，各要素的尺寸的關(guān)系、各要素的比率等有時(shí)與現(xiàn)實(shí)的情形不同。即使在附圖的相互之間也存在包含相互的尺寸的關(guān)系、比率不同的部分的情形。
[0035](實(shí)施方式1)
[0036]圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施方式1所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。如圖1所示，本實(shí)施方式1所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊100具有下述構(gòu)成，即，在框體1內(nèi)收納了作為第1溫度調(diào)節(jié)元件的溫度調(diào)節(jié)元件2、支承部件3、分布反饋型^66(1:01?)激光器元件4、準(zhǔn)直透鏡5、作為第2溫度調(diào)節(jié)元件的溫度調(diào)節(jié)元件6、支承部件7、聚光透鏡8、作為半導(dǎo)體光元件的半導(dǎo)體光放大元件9、準(zhǔn)直透鏡10、分束器11、12、功率監(jiān)控用光電二極管1)10(16 #0)13^標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14、波長監(jiān)控用？015、光隔離器16、以及聚光透鏡17。
[0037]框體1具有底板匕、側(cè)壁部、和上部蓋。另外，在圖1中為了進(jìn)行說明，上部蓋將省略記載。在紙面右側(cè)的側(cè)壁部設(shè)有收納聚光透鏡17且插通固定光纖18的支持器部1匕框體1的內(nèi)部被密封成氣密結(jié)構(gòu)。底板匕由導(dǎo)熱率高達(dá)1801/? - 1(?2001/0 - 1(的銅鎢
(0111)構(gòu)成。框體1的其他部分由熱膨脹系數(shù)低的(注冊商標(biāo))構(gòu)成。
[0038]溫度調(diào)節(jié)元件2例如為珀耳帖元件。溫度調(diào)節(jié)元件2在框體1內(nèi)被載置于底板，通過供給驅(qū)動電流，從而能夠冷卻激光器元件4來調(diào)節(jié)其溫度。
[0039]支承部件3被載置于溫度調(diào)節(jié)元件2。支承部件3是載置激光元件4以及準(zhǔn)直透鏡5的部件，由導(dǎo)熱率高達(dá)1701? 4的氮化鋁(八故)構(gòu)成。激光器元件4隔著支承部件3而被載置于溫度調(diào)節(jié)元件2。另外，支承部件3的構(gòu)成材料并不限于八也可以是&11、碳化硅(310、金剛石等的導(dǎo)熱率高的材料。
[0040]激光器元件4具有作為包含活性層的條紋狀光波導(dǎo)的激光器部如。
激光器元件4從激光器部如輸出激光光11。激光光11的波長是為了光通信用而使用的波段(例如152011111?162011111)內(nèi)的波長。
[0041]準(zhǔn)直透鏡5被載置于支承部件3，被配置在輸出激光器元件4的激光光的一側(cè)的前方側(cè)。準(zhǔn)直透鏡5將從激光器元件4輸出的激光光11變換為平行光。
[0042]溫度調(diào)節(jié)元件6在框體1內(nèi)被載置于底板匕，被配置在激光器元件4的前方偵1|。溫度調(diào)節(jié)元件6例如為泊耳帖元件。溫度調(diào)節(jié)元件6通過供給驅(qū)動電流，從而能夠調(diào)節(jié)所載置的各要素的溫度。
[0043]支承部件7被載置于溫度調(diào)節(jié)元件6。支承部件7由八金剛石等的導(dǎo)熱率高的材料來構(gòu)成，載置了聚光透鏡8、半導(dǎo)體光放大元件9、準(zhǔn)直透鏡10、分束器11、12、功率監(jiān)控用？013、標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14、波長監(jiān)控用？015、光隔離器16的各要素。各要素通過溫度調(diào)節(jié)元件6而被進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)。
[0044]聚光透鏡8使被準(zhǔn)直透鏡5變?yōu)槠叫泄獾募す夤?1在半導(dǎo)體光放大元件9中聚光后輸入。
[0045]半導(dǎo)體光放大元件9具有作為包含活性層的條紋狀的埋入臺面結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)的30八部如。半導(dǎo)體光放大元件9對被輸入至30八部如的激光光11進(jìn)行光放大后輸出。此時(shí)，半導(dǎo)體光放大元件9通過未圖示的控制裝置來供給電力，進(jìn)行光放大以使激光光11成為所期望的光強(qiáng)度。
[0046]80^部如的活性層的臺面寬度例如與激光器部如同樣為1.5 V 0?3 V 0，但是只要是能以單一模式導(dǎo)波激光器元件4所輸出的激光11光的臺面寬度，則并不特別限定。
[0047]圖2是半導(dǎo)體光放大元件9的示意性剖視圖。如圖2所示，半導(dǎo)體光放大元件9具備在II側(cè)電極％形成于背面的II型匕？基板％上依次層疊的、兼作下部金屬包層的II型III？緩沖層9(1、使組成連續(xù)地發(fā)生變化的下部1=(?八4-3(310011^11161116111:！161:61~081:1~1101:111~6 ；分別限制異質(zhì)結(jié)構(gòu))層 96、101 (11111:1-0118111:11111 1^11 ；多重量子講)結(jié)構(gòu)的活性層壯、上部層98、以及？型1成層91！。
[0048]從]3型III？層911至II型III？緩沖層9(1的一部分為止的層具有條紋狀的臺面結(jié)構(gòu)。該臺面結(jié)構(gòu)由？型III？埋層91和II型III？電流阻擋層9』來掩埋。此外，在？型III？層911和II型III？電流阻擋層9』之上，依次層疊有？型III？金屬包層91和1=(?八8接觸層91。此外，1116^8接觸層91的表面由3.保護(hù)膜細(xì)來保護(hù)。進(jìn)而，81^保護(hù)膜細(xì)的一部分在1成“8接觸層91上開口。在該開口部形成有？側(cè)電極911。
[0049]活性層9？具有交替地層疊的多個(gè)阱層和勢皇層。阱層以及勢皇層由例如6^111^8？系半導(dǎo)體材料、或者八1(^111^系半導(dǎo)體材料構(gòu)成。活性層9？的組成被設(shè)定為在0？8激光器元件4的激光振蕩波長中具有增益峰值的波長。另外，0？8激光器元件4也具有與半導(dǎo)體光放大元件9同樣的剖面結(jié)構(gòu)。其中，在0？8激光器元件4中，在？型1成層91！內(nèi)配置有由1成“8？或八構(gòu)成且形成了衍射光柵的光柵層這一點(diǎn)，不同于半導(dǎo)體光放大元件9的結(jié)構(gòu)。另外，衍射光柵既可以是例如X/4相移型的衍射光柵，也可以是不使之相移的通常型的衍射光柵。
[0050]準(zhǔn)直透鏡10將從半導(dǎo)體光放大元件9輸出并被放大的激光光11變?yōu)槠叫泄狻?br> [0051]分束器11例如為半透半反鏡，使被變?yōu)槠叫泄獾募す夤?1的大部分透過而入射至光隔離器16，并且使激光光11的一部分(激光光[2)朝向功率監(jiān)控用？013反射。分束器12例如為半透半反鏡，使激光光12的一部分(激光光[3)反射至標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14。
[0052]光隔離器16使從紙面左側(cè)輸入的激光光11在紙面右側(cè)通過，并且阻止光從紙面右側(cè)向紙而左側(cè)的通過。由此，可防止返回光被輸入0？8激光器元件4，所以0？8激光器元件4的動作穩(wěn)定。
[0053]聚光透鏡17使透過了光隔離器16的激光光11在光纖18聚光而發(fā)生光親合。光纖18將激光光11傳輸至給定的裝置等。
[0054]另一方面，功率監(jiān)控用？013檢測激光光12的強(qiáng)度，將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。
[0055]標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14相對于波長而具有周期性的透過特性(透過波長特性)，以與其透過波長特性相應(yīng)的透過率，選擇性地透過分束器12反射出的激光光13而輸入至波長監(jiān)控用？015。波長監(jiān)控用？015對透過了標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14的激光光13的強(qiáng)度進(jìn)行檢測，并將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。作為標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14的透過波長特性的周期，轉(zhuǎn)換為光的頻率而為例如50(^^33.36^,256?等。
[0056]由功率監(jiān)控用？013以及波長監(jiān)控用？015檢測出的激光光12、13的強(qiáng)度被用在控制器所進(jìn)行的波長鎖定控制(用于將激光光口變?yōu)樗谕牟ㄩL以及強(qiáng)度的控制)中。
[0057]具體而言，在波長鎖定控制中，控制器進(jìn)行使0？8激光器元件4的驅(qū)動電流和溫度發(fā)生變化的控制，以使由功率監(jiān)控用？013檢測出的激光光12的強(qiáng)度、和由波長監(jiān)控用？015檢測出的透過標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14后的激光光13的強(qiáng)度之比成為激光光11的強(qiáng)度以及波長變?yōu)樗谕膹?qiáng)度以及波長時(shí)的比。由此，能夠?qū)⒓す夤鈁1的強(qiáng)度以及波長控制在所期望的強(qiáng)度以及波長(鎖定波長這樣，分束器11、12、功率監(jiān)控用？013、標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14、以及波長監(jiān)控用？015可以作為對激光光11的波長的變化進(jìn)行監(jiān)控的波長監(jiān)控機(jī)構(gòu)而發(fā)揮功能。
[0058]在半導(dǎo)體激光器模塊100中，激光器元件4由溫度調(diào)節(jié)元件2來進(jìn)行溫度控制，半導(dǎo)體光放大元件9由溫度調(diào)節(jié)元件6來進(jìn)行溫度控制。這樣，在半導(dǎo)體激光器模塊100中，通過由各自的溫度調(diào)節(jié)元件來對激光器元件4和半導(dǎo)體光放大元件9進(jìn)行溫度控制，由此可實(shí)現(xiàn)低耗電量化。
[0059]以下，進(jìn)行具體地說明。圖3是表示環(huán)境溫度為751:的情況下的溫度調(diào)節(jié)元件(珀耳帖元件)的吸熱量0與耗電量之間的關(guān)系的一例的圖。如圖3所示，溫度調(diào)節(jié)元件的耗電量相對于吸熱量0而呈2次曲線地變化。
[0060]因此，如果假定例如激光器元件4以及半導(dǎo)體光放大元件9的發(fā)熱量均為
0.41、且合計(jì)為0.81，則當(dāng)想要用一個(gè)溫度調(diào)節(jié)元件對它們進(jìn)行冷卻來實(shí)施溫度控制時(shí)，由圖3可知需要0為0.81的情況下的約2.71的耗電量。
[0061〕 相對于此，在半導(dǎo)體激光器模塊100中，對激光器元件4進(jìn)行溫度控制而需要的溫度調(diào)節(jié)元件2的耗電量是0為0.41的情況下的約1.251。此外，對半導(dǎo)體光放大元件9進(jìn)行溫度控制的溫度調(diào)節(jié)元件6的耗電量也約為1.251。因此，合計(jì)的耗電量約為2.51，所以較之于想要用一個(gè)溫度調(diào)節(jié)元件進(jìn)行溫度控制的情況，可以實(shí)現(xiàn)約0.21的低耗電量化。
[0062]另外，在上述中雖然假定激光器元件4以及半導(dǎo)體光放大元件9的發(fā)熱量均為0.41且相等，但是激光器元件4以及半導(dǎo)體光放大元件9的發(fā)熱量實(shí)際上不同的情形較為多見。在半導(dǎo)體激光器模塊100中，因?yàn)槟軌蜻@樣通過各不相同的溫度調(diào)節(jié)元件2、6分別以適當(dāng)?shù)奈鼰崃縼韺Σ煌陌l(fā)熱量的激光器元件4以及半導(dǎo)體光放大元件9進(jìn)行溫度控制，所以可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)低耗電量化。例如，在用一個(gè)溫度調(diào)節(jié)元件來冷卻激光器元件4以及半導(dǎo)體光放大元件9的情況下，如果為了改變從激光器元件4輸出的激光光的波長而想要降低激光器元件4的溫度，則同時(shí)半導(dǎo)體光放大元件9也被不必要地冷卻，耗電量不必要地增加。但是，在本實(shí)施方式1的構(gòu)成中，能夠防止這種半導(dǎo)體光放大元件9的不必要的程度的冷卻。
[0063]如以上所說明過的那樣，本實(shí)施方式1所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊100是耗電量更低的半導(dǎo)體激光器模塊。
[0064]在上述實(shí)施方式1中，作為半導(dǎo)體激光器元件，雖然使用的是具有作為條紋狀光波導(dǎo)的激光部如的激光器元件4，但是作為半導(dǎo)體激光器元件也可以使用以下所示的構(gòu)成的元件。
[0065]圖4是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式1的示意性俯視圖。如圖4所示，半導(dǎo)體激光器元件900具備半導(dǎo)體激光器部910、和光波導(dǎo)部930。
[0066]半導(dǎo)體激光器部910具有多個(gè)半導(dǎo)體激光器911、和被設(shè)置在各半導(dǎo)體激光器的輸出側(cè)的多個(gè)光點(diǎn)尺寸變換器(31)01:-3126:3309120
[0067]各半導(dǎo)體激光器911由激光構(gòu)成。各半導(dǎo)體激光器911是具有各自的活性層的臺面寬度為1.5 V?。。?3 V?。。〉臈l紋狀的埋入臺面結(jié)構(gòu)的端面發(fā)光型激光器，相對于半導(dǎo)體激光器部910的寬度方向而以例如25 V?。。￠g距形成。各半導(dǎo)體激光器911被設(shè)計(jì)為:通過使各自具備的衍射光柵的周期相互不同，從而輸出光成為單一模式振蕩的激光光，且其激光振蕩波長在所期望的波長范圍內(nèi)以3=0?如!!!程度的間隔排列。此外，各半導(dǎo)體激光器911通過溫度調(diào)節(jié)能夠使激光振蕩波長在例如3=0?如!!!程度的范圍內(nèi)發(fā)生變化。另外，半導(dǎo)體激光器911的數(shù)目雖然為例如8、12、16等，但是并不特別限定，可根據(jù)使半導(dǎo)體激光器元件900作為波長可變光源動作時(shí)的、所期望的波長可變范圍來適當(dāng)設(shè)定。
[0068]多個(gè)3X912是具有由半導(dǎo)體構(gòu)成的埋入臺面結(jié)構(gòu)，且較之于核心層的半導(dǎo)體激光器911側(cè)的臺面寬度而光波導(dǎo)部930側(cè)的臺面寬度更寬的喇叭型的3%。半導(dǎo)體激光器911側(cè)的臺面寬度與半導(dǎo)體激光器911的臺面寬度大致相同，光波導(dǎo)部930側(cè)的臺面寬度例如為 4 IX III ~ 10 V 1X1。
[0069]光波導(dǎo)部930通過由石英系玻璃組成的平面光波電路011-0111^:？10來構(gòu)成。光波導(dǎo)部930具有多個(gè)彎曲波導(dǎo)931、和光耦合器932。
[0070]各彎曲波導(dǎo)931分別與半導(dǎo)體激光器部910的各3X912連接。各彎曲波導(dǎo)931以單模的方式將從被連接的各半導(dǎo)體激光器911輸出的激光光導(dǎo)波到光耦合器932。另外，從半導(dǎo)體激光器911輸出的激光光，通過33(? 12變換為光點(diǎn)尺寸與彎曲波導(dǎo)931的光點(diǎn)尺寸大體匹配，所以從330912輸出的激光光低損失地被輸入至彎曲波導(dǎo)931。
[0071]光親合器932 是多模干涉(11111:1-10(16型的光電親合器。光親合器932能夠使各彎曲波導(dǎo)31導(dǎo)波后的激光光從輸出端口 9323輸出。
[0072]半導(dǎo)體激光器元件900是通過⑶固化樹脂等的粘結(jié)劑將由半導(dǎo)體構(gòu)成的半導(dǎo)體激光器部910、和由石英系玻璃構(gòu)成的光波導(dǎo)部930相互接合，由此被混合集成而成的。另夕卜，作為粘結(jié)劑，能夠使用在來自半導(dǎo)體激光器911的激光光的波長中為透明的物質(zhì)，例如能夠使用丙烯酸系樹脂、環(huán)氧系樹脂、聚酯系樹脂等。
[0073]其次，關(guān)于半導(dǎo)體激光器元件900的動作進(jìn)行說明。首先，通過未圖示的控制裝置選擇性地供給電力來驅(qū)動能輸出想要從半導(dǎo)體激光器元件900輸出的波長的激光光的半導(dǎo)體激光器911。與此同時(shí)，為使要驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911的激光振蕩波長成為所期望的波長，通過由未圖示的控制裝置供給了電力的溫度調(diào)節(jié)元件2來對該半導(dǎo)體激光器911的溫度進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)。由此，被選擇性地驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911輸出所期望的波長的激光光。
[0074]與被選擇性地驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911連接的3^912，按照加寬被輸出的激光光的光點(diǎn)尺寸的方式變換并輸入至給定的彎曲波導(dǎo)931。彎曲波導(dǎo)931將激光光導(dǎo)波到光耦合器932。光耦合器932將被輸入的激光光從輸出端口 9323輸出。在此，光耦合器932具有依賴于與彎曲波導(dǎo)931連接的輸入端口的數(shù)目的插入損失，在輸入端口的數(shù)目為12的情況下，插入損失例如約1/12即約10.8(18。
[0075]在半導(dǎo)體激光器元件900中，當(dāng)想要變更被輸出的激光光的波長時(shí)，對所驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)、以及/或者對所驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911進(jìn)行切換。這樣，該半導(dǎo)體激光器元件900通過所驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器911的切換、和半導(dǎo)體激光器911的溫度調(diào)整，從而能夠輸出比單體的半導(dǎo)體激光器元件更寬波段的連續(xù)的波段的激光光。
[0076]另外，為了覆蓋101通信用的整個(gè)波段(例如1.53 V 0?1.56 V 0的0波帶或者
1.57?1.61 VIII的I波帶)，通過具備分別可使激光振蕩波長在311111?411111的范圍內(nèi)變化的10個(gè)以上的半導(dǎo)體激光器911，從而能夠使波長在30=0以上的整個(gè)波帶內(nèi)變化。
[0077]圖5是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式2的示意性俯視圖。如圖5所示，半導(dǎo)體激光器元件900八具備半導(dǎo)體激光器部910八、和光波導(dǎo)部930八。
[0078]半導(dǎo)體激光器部910八雖然與半導(dǎo)體激光器部910同樣地具有多個(gè)半導(dǎo)體激光器911，但是不具有多個(gè)33(:912這一點(diǎn)卻不同于半導(dǎo)體激光器部910。
[0079]光波導(dǎo)部930八由埋入臺面結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體波導(dǎo)構(gòu)成，與半導(dǎo)體激光器部910八一起形成為單片。光波導(dǎo)部930八具有多個(gè)彎曲波導(dǎo)931八、和光耦合器932八。
[0080]各彎曲波導(dǎo)931八分別與半導(dǎo)體激光器部910八的各半導(dǎo)體激光器911連接。各彎曲波導(dǎo)931八的核心層的臺面寬度與各半導(dǎo)體激光器911的臺面寬度大致相同。各彎曲波導(dǎo)931八以單模的方式將從被連接的各半導(dǎo)體激光器911輸出的激光光導(dǎo)波到光耦合器932八。
[0081]光耦合器932八是麗I型的光電耦合器。光耦合器932八能夠使各彎曲波導(dǎo)931八導(dǎo)波后的激光光從輸出端口 9323八輸出。
[0082]如上所述，半導(dǎo)體激光器元件900八集成了形成為單片的半導(dǎo)體激光器部910八、和光波導(dǎo)部930八。
[0083]圖6是半導(dǎo)體激光器元件的另一實(shí)施方式3的示意性俯視圖。如圖6所示，半導(dǎo)體激光器元件9008具備半導(dǎo)體激光器部9108、和光波導(dǎo)部9308。
[0084]半導(dǎo)體激光器部9108具有16個(gè)半導(dǎo)體激光器911。
[0085]光波導(dǎo)部9308具有選擇性地輸出給定的波長的激光光并使之輸入至半導(dǎo)體光放大元件9的光選擇元件。即，光波導(dǎo)部9308具有如下構(gòu)成，即，分別具有2輸入1輸出的構(gòu)成的 8 個(gè) 1211111:61-^61-011161:61-；馬赫-曾德爾干涉儀)元件 934、4 個(gè) 121元件935、以及2個(gè)121元件936被多級地連接而成的構(gòu)成。8個(gè)121元件934的輸入側(cè)與半導(dǎo)體激光器911連接。8個(gè)121元件934的輸出側(cè)與4個(gè)121元件935的輸入側(cè)連接。4個(gè)121元件935的輸出側(cè)與2個(gè)121元件936的輸入側(cè)連接。2個(gè)121元件936的輸出側(cè)與輸出端口 937的X分支的輸入側(cè)連接。從輸出端口 937的輸出側(cè)輸出激光光。
[0086]這些121元件934?936設(shè)定光輸入輸出的波長特性，以使從與121元件934的各輸入側(cè)連接的各半導(dǎo)體激光器911輸出的各激光光以低損失地通過121元件934、121元件935、121元件936被依次導(dǎo)波而從輸出端口 937輸出。另外，光波導(dǎo)部9308既可以通過由石英系玻璃組成的來構(gòu)成，也可以通過半導(dǎo)體波導(dǎo)來構(gòu)成。
[0087]半導(dǎo)體激光器元件9008是通過-固化樹脂等的粘結(jié)劑I？將半導(dǎo)體激光器部9108和光波導(dǎo)部9308相互接合，由此被集成而成的。另外，作為粘結(jié)劑I能夠使用在來自半導(dǎo)體激光器911的激光光的波長中為透明的物質(zhì)。
[0088](實(shí)施方式2)
[0089]圖7是本實(shí)用新型的實(shí)施方式2所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。如圖7所示，本實(shí)施方式2所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊200具有在圖1所示的半導(dǎo)體激光器模塊100中將激光器元件4置換為集成型半導(dǎo)體激光器元件20、且光隔離器16被配置在集成型半導(dǎo)體激光器元件20與半導(dǎo)體光放大元件9之間的構(gòu)成。
[0090]集成型半導(dǎo)體激光器元件20具有與圖4所示的半導(dǎo)體激光器元件900同樣的構(gòu)成。即，集成型半導(dǎo)體激光器元件20具備:多個(gè)激光條紋203、對從多個(gè)激光條紋203輸出的激光光進(jìn)行導(dǎo)波的多個(gè)光波導(dǎo)201和能夠使多個(gè)光波導(dǎo)206導(dǎo)波后的激光光耦合的光親合器20(3。光親合器20。為例如麗I型的光電親合器。
[0091]多個(gè)激光條紋203在例如1520110?1620110的范圍內(nèi)輸出波長相互不同的激光光。集成型半導(dǎo)體激光器元件20通過切換0？8激光條紋203且使集成型半導(dǎo)體激光器元件20的溫度發(fā)生變化，由此能夠使所輸出的激光光11的波長發(fā)生變化，從而作為波長可變激光器來發(fā)揮功能。
[0092]在此，在半導(dǎo)體激光器模塊200中，光隔離器16被配置在集成型半導(dǎo)體激光器元件20與半導(dǎo)體光放大元件9之間。由此，可防止在半導(dǎo)體光放大元件9中產(chǎn)生的
(^11^16(1 81)0111:811 60118 &111881011 ；放大自發(fā)福射)光被輸入至集成型半導(dǎo)體激光器元件20，所以起到可防止從集成型半導(dǎo)體激光器元件20輸出的激光光以及最終從集成型半導(dǎo)體激光器元件20輸出的激光光11的譜線寬度(光譜譜線寬度)變寬的效果。
[0093]另外，光隔離器16優(yōu)選搭載于支承部件7側(cè)而非支承部件3側(cè)。搭載了集成型半導(dǎo)體激光器元件20的支承部件3較之于搭載了半導(dǎo)體光放大元件9的支承部件7，溫度變化變大。因此，通過將光隔離器16搭載于支承部件7側(cè)，從而能夠獲得穩(wěn)定的特性。
[0094]為了說明上述效果，例如將半導(dǎo)體激光器模塊200、和圖8所示那樣的比較方式的半導(dǎo)體激光器模塊200八進(jìn)行比較。半導(dǎo)體激光器模塊200八具有如下構(gòu)成，即，在半導(dǎo)體激光器模塊200中將集成型半導(dǎo)體激光器元件20置換為集成型半導(dǎo)體激光器元件20八且刪除了半導(dǎo)體光放大元件9的構(gòu)成。集成型半導(dǎo)體激光器元件20八是多個(gè)激光條紋203、多個(gè)光波導(dǎo)20)3、光親合器20(3、和與半導(dǎo)體光放大兀件9的30八部如同樣的構(gòu)成的30八部20(1被集成而成的元件。
[0095]圖9是表示使實(shí)施方式2所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊200和比較方式所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊200八以同一驅(qū)動條件驅(qū)動的情況下的、30八部的驅(qū)動電流與被輸出的激光光的譜線寬度之間的關(guān)系的圖。
[0096]如圖9所示，在比較方式的情況下，隨著30八部20(1的驅(qū)動電流的增大而被輸出的激光光的譜線寬度也增大。其理由在于，隨著30八部20(1的驅(qū)動電流的增大而從30八部20(1向激光條紋203輸入的…2光的強(qiáng)度增大。
[0097]相對于此，在實(shí)施方式2的情況下，即便使30八部如的驅(qū)動電流增大，被輸出的激光光的譜線寬度也是恒定的。其理由在于，通過光隔離器16可防止…2光從30八部93向
激光條紋203的輸入。
[0098]這種激光光的譜線寬度的展寬被防止的半導(dǎo)體激光器模塊200，例如通過使激光光[1的譜線寬度變?yōu)?00紐2以下，從而作為40(^)^100(?%這樣的大容量數(shù)字相干通信用的信號光源來適用。
[0099](實(shí)施方式3)
[0100]圖10是本實(shí)用新型的實(shí)施方式3所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。如圖10所示，本實(shí)施方式3所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊300具有如下構(gòu)成，即，在圖7所示的半導(dǎo)體激光器模塊200中將分束器11配置在光隔離器16與聚光透鏡8之間、且還具備分束器30和功率監(jiān)控用？031的構(gòu)成。
[0101]在半導(dǎo)體激光器模塊300中，使用從集成型半導(dǎo)體激光器元件20被輸出之后且被輸入至半導(dǎo)體光放大元件9之前的激光光11，來進(jìn)行波長鎖定控制之中用于將激光光11的波長變?yōu)樗谕牟ㄩL的控制。此外，分束器30使被半導(dǎo)體光放大元件9光放大后的激光光11的一部分(激光光14)反射。功率監(jiān)控用？031檢測激光光14的強(qiáng)度，并將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。由功率監(jiān)控用？031檢測出的激光光14的強(qiáng)度被用在用以由控制器將激光光11變?yōu)樗谕膹?qiáng)度的控制中。通過設(shè)為這種構(gòu)成，從而能夠在從半導(dǎo)體激光器模塊300輸出激光光11之前進(jìn)行波長鎖定控制。此外，通過調(diào)整半導(dǎo)體光放大元件9，從而能夠使遍及寬范圍的功率呈穩(wěn)定的波長的激光光11從半導(dǎo)體激光器模塊300輸出。
[0102](實(shí)施方式4)
[0103]圖11是本實(shí)用新型的實(shí)施方式4所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。如圖11所示，本實(shí)施方式4所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊400具有如下構(gòu)成，即，在圖10所示的半導(dǎo)體激光器模塊300中將集成型半導(dǎo)體激光器元件20置換為集成型半導(dǎo)體激光器元件40、在集成型半導(dǎo)體激光器元件40的附近設(shè)置功率監(jiān)控用？041、將分束器30和功率監(jiān)控用？031置換成集成了光放大器、光調(diào)制器、？0等的半導(dǎo)體光元件的光集成元件42而成的構(gòu)成。
[0104]集成型半導(dǎo)體激光器元件40具備:多個(gè)激光條紋403、對從多個(gè)激光條紋403輸出的激光光進(jìn)行導(dǎo)波的多個(gè)光波導(dǎo)401能夠使多個(gè)光波導(dǎo)406導(dǎo)波后的激光光耦合的光I禹合器40(3、和對從光|禹合器40(3輸出的激光光進(jìn)行導(dǎo)波的彎曲光波導(dǎo)40(1。彎曲光波導(dǎo)40(1在集成型半導(dǎo)體激光器元件40的輸出側(cè)端面按照相對于垂直方向而與該端面形成約7°?8°的角度的方式彎曲。由此，可防止從集成型半導(dǎo)體激光器元件40輸出的激光光11的在輸出側(cè)端面上的反射光返回到激光條紋403側(cè)。
[0105]另外，從彎曲光波導(dǎo)40(1的彎曲部泄漏出激光光11的一部分。功率監(jiān)控用？041對該泄漏光15的強(qiáng)度進(jìn)行檢測，并將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。泄漏光15的強(qiáng)度能夠用在用以由控制器將激光光11變?yōu)樗谕膹?qiáng)度的控制中。
[0106]光集成元件42具備30八部42^121型光調(diào)制器部426、和功率監(jiān)控用？0420。
[0107]在光集成元件42中，30八部423對被聚光透鏡8聚光后輸入的激光光11進(jìn)行放大。121型光調(diào)制部426在被放大后的激光光的大部分中疊加了所期望的調(diào)制信號之后，作為激光光16從一個(gè)輸出端口輸出至聚光透鏡17側(cè)，并且將被調(diào)制后的激光光的一部分從另一個(gè)輸出端口輸出。在該另一個(gè)輸出端口設(shè)有功率監(jiān)控用？042(3。功率監(jiān)控用？042(3對被調(diào)制后的激光光的一部分的強(qiáng)度進(jìn)行檢測，并將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。被檢測出的強(qiáng)度能夠用在用以由控制器將激光光16變?yōu)樗谕膹?qiáng)度的控制中。
[0108](實(shí)施方式5)
[0109]圖12是本實(shí)用新型的實(shí)施方式5所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊的示意性俯視圖。如圖12所示，本實(shí)施方式5所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊300八具有如下構(gòu)成，即，在圖10所示的半導(dǎo)體激光器模塊300中將溫度調(diào)節(jié)元件6置換為溫度調(diào)節(jié)元件6八、將支承部件7置換為支承部件7178、將半導(dǎo)體光放大元件9置換為半導(dǎo)體光放大元件208、刪除分束器30、且變更了功率監(jiān)控用？031的配置的構(gòu)成。
[0110]溫度調(diào)節(jié)元件6八例如為珀耳帖元件。溫度調(diào)節(jié)元件6八通過被供給驅(qū)動電流，從而能夠調(diào)節(jié)所載置的各要素的溫度。支承部件7八被載置于溫度調(diào)節(jié)元件6八。支承部件7八由八1隊(duì)0111, 310、金剛石等的導(dǎo)熱率高的材料構(gòu)成，且載置了聚光透鏡8、分束器11、12、功率監(jiān)控用？013、標(biāo)準(zhǔn)具濾光器14、波長監(jiān)控用？015、光隔離器16的各要素。各要素通過溫度調(diào)節(jié)元件6八來進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)。
[0111]支承部件78被載置于框體1的底板匕。支承部件78由八1隊(duì)。1、310、金剛石等的導(dǎo)熱率高的材料構(gòu)成，且載置了半導(dǎo)體光放大元件208、準(zhǔn)直透鏡10、功率監(jiān)控用？031的各要素。
[0112]圖13是圖12所示的半導(dǎo)體光放大元件的示意性俯視圖。如圖13所示，半導(dǎo)體光放大元件208具有均由半導(dǎo)體構(gòu)成的埋入臺面結(jié)構(gòu)的30八部22、分支波導(dǎo)23、和3X24。
[0113]分支波導(dǎo)23被插在30八部22與3%24之間，且具有直線部233和V字形狀的分支部23匕88024是分支波導(dǎo)23側(cè)的核心層的臺面寬度比與光纖18對置的輸出側(cè)的臺面寬度更寬的喇叭型的3%，被設(shè)定成能夠經(jīng)由透鏡系統(tǒng)以低損失與光纖18光學(xué)連接這樣的臺面寬度。
[0114]在該半導(dǎo)體光放大元件208中，30八部22被輸入透過了聚光透鏡8的激光光11，將被輸入的激光光[1放大后輸出至分支波導(dǎo)23。分支波導(dǎo)23將被放大后的激光光的大部分從直線部233的輸出側(cè)輸出至3^24，并且將剩余部分從分支部236的輸出側(cè)輸出。從3^24輸出的激光光以低損失地與光纖18耦合，經(jīng)由光纖18而被輸出至半導(dǎo)體激光器模塊300八的外部。
[0115]從分支部236的輸出側(cè)輸出的剩余的激光光17被輸入至功率監(jiān)控用？031。功率監(jiān)控用？031對激光光17的強(qiáng)度進(jìn)行檢測，并將與檢測出的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號輸出至未圖示的控制器。由功率監(jiān)控用？031檢測出的激光光17的強(qiáng)度被用在用以由控制器將激光光11變?yōu)樗谕膹?qiáng)度的控制中。
[0116]本實(shí)施方式5所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊300八通過上述的構(gòu)成可以實(shí)現(xiàn)比以往更低的耗電量。
[0117]即，以往的這種半導(dǎo)體激光器元件將半導(dǎo)體激光器部、光波導(dǎo)部、以及半導(dǎo)體光放大部集成化為單片而載置于溫度調(diào)節(jié)元件。因而，在為了調(diào)節(jié)半導(dǎo)體激光器的激光振蕩波長而由溫度調(diào)節(jié)元件進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的情況下，由于是同時(shí)半導(dǎo)體光放大部也被冷卻的結(jié)構(gòu)，因此消耗了用于冷卻半導(dǎo)體光放大部的過量的電力。
[0118]相對于此，在該半導(dǎo)體激光器模塊300八中，關(guān)于集成型半導(dǎo)體激光器元件20，為了調(diào)節(jié)激光條紋的激光振蕩波長而由溫度調(diào)節(jié)元件2來進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，但關(guān)于半導(dǎo)體光放大元件208卻不冷卻地進(jìn)行動作。由此，為了冷卻30八部22而未消耗電力，所以可實(shí)現(xiàn)比以往更低的耗電量。另外，此時(shí)30八部22的溫度變得與半導(dǎo)體激光器模塊300八的模塊的溫度、即半導(dǎo)體激光器模塊300八的環(huán)境溫度大致相等，并隨著模塊的溫度的變化而變化。
[0119]此外，在這種的具備多個(gè)半導(dǎo)體激光器的集成型半導(dǎo)體激光器元件的情況下，需要用于將來自多個(gè)半導(dǎo)體激光器的激光光導(dǎo)波到一個(gè)半導(dǎo)體光放大元件的光波導(dǎo)部。由于光波導(dǎo)部具有某種程度的插入損失，因此需要用于補(bǔ)償光波導(dǎo)部的插入損失的半導(dǎo)體光放大元件所進(jìn)行的光放大。因而，耗電量進(jìn)一步增加，與之相伴用于冷卻半導(dǎo)體光放大元件的耗電量也增加。然而，在本實(shí)施方式5的裝置中，因?yàn)閷Π雽?dǎo)體光放大元件208不冷卻地使之動作，所以在這種需要光波導(dǎo)部的構(gòu)成中，耗電量的減少效果尤為顯著。
[0120]此外，如果30八部22的活性層的構(gòu)成材料如上所述那樣是(--嫩8？系半導(dǎo)體材料、或者八系半導(dǎo)體材料等的包含八1的半導(dǎo)體材料，則其光放大特性的溫度依賴性在半導(dǎo)體激光器模塊300八的動作溫度(例如251:?751:)的范圍內(nèi)小。因而，在對30八部22不冷卻地使之動作的方面優(yōu)選。其中，活性層的構(gòu)成材料并不限定于上述的材料。即便是光放大特性的溫度依賴性大的構(gòu)成材料，也能與其構(gòu)成材料的溫度特性等相匹配地控制30八部22的驅(qū)動條件，從而能夠獲得不依賴于溫度的已穩(wěn)定的放大特性。
[0121〕 如以上所說明過的那樣，本實(shí)施方式5所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊300八與以往相比耗電量更低。
[0122]另外，在本實(shí)施方式5中，也能夠?qū)⒐饫w18置換成在光纖的端部形成有適于光連接的透鏡形狀的透鏡光纖。在使用了透鏡光纖的情況下，也可以不設(shè)置準(zhǔn)直透鏡10、聚光透鏡17。
[0123]在此，使用具有圖7所示的結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式2的半導(dǎo)體激光器模塊200、和圖8所示的比較方式的半導(dǎo)體激光器模塊200八，調(diào)查了 30八部的驅(qū)動電流和被輸出的激光光的光譜譜線寬度之間的關(guān)系。關(guān)于驅(qū)動條件，將激光條紋的驅(qū)動電流1-設(shè)為400^，設(shè)半導(dǎo)體激光器元件的設(shè)定溫度301，使30八部的驅(qū)動電流在50—?400—內(nèi)變化。
[0124]圖14是表示30八部的驅(qū)動電流和被輸出的激光光的譜線寬度之間的關(guān)系的圖。如圖14所示，在比較方式的情況下，隨著30八部的驅(qū)動電流的增大而被輸出的激光光的光譜譜線寬度增大，但相對于此，在實(shí)施方式2的情況下，即便使30八部的驅(qū)動電流增大，被輸出的激光光的光譜譜線寬度也大體恒定，能將被輸出的激光光的譜線寬度變?yōu)?00紐2以下。
[0125]另外，并非通過上述實(shí)施方式來限定本實(shí)用新型。適當(dāng)?shù)亟M合上述的各構(gòu)成要素而構(gòu)成的方式也包含在本實(shí)用新型中。例如，在圖1所示的半導(dǎo)體激光器模塊100中，也可以將光隔離器16配置在激光器元件4與半導(dǎo)體光放大元件9之間。此外，更進(jìn)一步的效果、變形例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠容易地導(dǎo)出。由此，本實(shí)用新型的更寬范圍的形態(tài)并不限定于上述的實(shí)施方式，可以實(shí)施各種變更。
[0126]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0127]如以上，本實(shí)用新型所涉及的半導(dǎo)體激光器模塊主要適合利用于光通信的用途。
[0128]符號說明
[0129]1 框體
[0130]13 底板
[0131]支持器部
[0132]2、6、64溫度調(diào)節(jié)元件
[0133]3、7、7八、78支承部件
[0134]4 激光器元件
[0135]48 激光部
[0136]5、10準(zhǔn)直透鏡
[0137]8、17聚光透鏡
[0138]9、208半導(dǎo)體光放大元件
[0139]98,22,42? 30 八部
[0140]% II側(cè)電極
[0141]90 II 型 III？基板
[0142]9(1 II 型 III？緩沖層
[0143]96 下部 1=(?八4-3(? 層
[0144]9？活性層
[0145]上部層
[0146]911 ？型 III？層
[0147]91 ？型 III？埋層
[0148]9』II型III？電流阻擋層
[0149]9& ？型III？金屬包層
[0150]91 1=(?八8 接觸層
[0151]9111 保護(hù)膜
[0152]911 ？側(cè)電極11、12、30分束器
[0153]13、31、41、42。功率監(jiān)控用？0
[0154]14標(biāo)準(zhǔn)具濾光器
[0155]15波長監(jiān)控用？0
[0156]16光隔離器
[0157]18 光纖
[0158]20、20八、40集成型半導(dǎo)體激光器元件
[0159]20^,408 0？8 激光條紋
[0160]206、406 光波導(dǎo)
[0161]200,400,932,932^ 光耦合器
[0162]23分支波導(dǎo)
[0163]233直線部
[0164]236分支部
[0165]24,912 880
[0166]40(1彎曲光波導(dǎo)
[0167]42光集成元件
[0168]426 121型光調(diào)制器部
[0169]100、200、300、300八、400半導(dǎo)體激光器模塊
[0170]900、900八、9008半導(dǎo)體激光器元件
[0171]910,910^,9108半導(dǎo)體激光器部
[0172]911半導(dǎo)體激光器
[0173]930,930^,9308 光波導(dǎo)部
[0174]931、9314 彎曲波導(dǎo)
[0175]9328,932^,937 輸出端口
[0176]934、935、936 121 元件
[0177]11,12,13,14,16,17 激光光
[0178]15泄漏光
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，具備: 半導(dǎo)體激光器元件，其具有半導(dǎo)體激光器； 第I支承部件，其載置所述半導(dǎo)體激光器元件； 第I溫度調(diào)節(jié)元件，其對所述第I支承部件進(jìn)行溫度調(diào)整； 半導(dǎo)體光元件，其具有對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光進(jìn)行放大的半導(dǎo)體光放大器； 第2支承部件，其載置所述半導(dǎo)體光元件；和 光隔離器，其被配置在所述半導(dǎo)體激光器元件與所述半導(dǎo)體光元件之間并且被載置于所述第2支承部件，該光隔離器用于防止在所述半導(dǎo)體光放大器中產(chǎn)生的放大自發(fā)輻射光被輸入至所述半導(dǎo)體激光器元件， 所述半導(dǎo)體激光器元件具備在給定的波長范圍內(nèi)輸出互不相同的波長的激光光的多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器、和能使從所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器輸出的激光光耦合的光耦合器，該半導(dǎo)體激光器模塊切換所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器之中發(fā)生動作的半導(dǎo)體激光器以及所述第I溫度調(diào)節(jié)元件使所述半導(dǎo)體激光器元件的溫度發(fā)生變化，由此使從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長發(fā)生變化。
2.—種半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于，具備: 半導(dǎo)體激光器元件，其具有半導(dǎo)體激光器； 第I支承部件，其載置所述半導(dǎo)體激光器元件； 第I溫度調(diào)節(jié)元件，其對所述第I支承部件進(jìn)行溫度調(diào)整； 半導(dǎo)體光元件，其具有對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光進(jìn)行放大的半導(dǎo)體光放大器； 第2支承部件，其載置所述半導(dǎo)體光元件； 光隔離器，其被配置在所述半導(dǎo)體激光器元件與所述半導(dǎo)體光元件之間，該光隔離器用于防止在所述半導(dǎo)體光放大器中產(chǎn)生的放大自發(fā)輻射光被輸入至所述半導(dǎo)體激光器元件；和 第3支承部件，其載置所述光隔離器， 所述半導(dǎo)體激光器元件具備在給定的波長范圍內(nèi)輸出互不相同的波長的激光光的多個(gè)所述半導(dǎo)體激光器、和能使從所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器輸出的激光光耦合的光耦合器，所述半導(dǎo)體激光器模塊切換所述多個(gè)半導(dǎo)體激光器之中發(fā)生動作的半導(dǎo)體激光器以及所述第I溫度調(diào)節(jié)元件使所述半導(dǎo)體激光器元件的溫度發(fā)生變化，由此使從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長發(fā)生變化， 所述第2支承部件未被進(jìn)行溫度調(diào)整。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光器模塊，其特征在于， 所述半導(dǎo)體激光器模塊具備:波長監(jiān)控機(jī)構(gòu)，其對從所述半導(dǎo)體激光器元件輸出的激光光的波長的變化進(jìn)行監(jiān)控。
【文檔編號】H01S5/024GK204258035SQ201390000514
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月31日
【發(fā)明者】黑部立郎, 木本龍也, 長谷川英明 申請人:古河電氣工業(yè)株式會社