一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，包括擴(kuò)散管和噴淋管，所述噴淋管貫穿固定在所述擴(kuò)散管的頂部并垂直于擴(kuò)散管的截面，所述噴淋管的底面開(kāi)有一組噴淋口用于噴灑磷源至位于所述噴淋管下方的石英舟中的硅片上，所述噴淋管位于石英舟的正上方，且長(zhǎng)度與所述石英舟的長(zhǎng)度相等；本實(shí)用新型通過(guò)將磷源從尾部直接吹入改為從石英管的上方噴淋吹入，使磷源在擴(kuò)散過(guò)程中分布更加均勻，保證了硅片內(nèi)和硅片間方塊電阻的穩(wěn)定性，提高了太陽(yáng)能電池片的轉(zhuǎn)化效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池，具體涉及一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在N型和P型半導(dǎo)體的交界面處存在電子和空穴濃度梯度，N區(qū)中的電子向P區(qū)滲透擴(kuò)散，擴(kuò)散的結(jié)果是N區(qū)中鄰近P區(qū)一邊的薄層內(nèi)有一部分電子擴(kuò)散到N區(qū)中去，由于這個(gè)薄層失去了一些電子，在N區(qū)就形成帶正電荷的區(qū)域；同樣，P區(qū)中鄰近N區(qū)一邊的薄層內(nèi)有一部分空穴擴(kuò)散到N區(qū)一邊去，由于這個(gè)薄層失去了一些空穴，在P區(qū)就形成了帶負(fù)電荷的區(qū)域。這樣在N區(qū)和P區(qū)交界面的兩側(cè)形成了帶正、負(fù)電荷的區(qū)域，叫做空間電荷區(qū)，即“PN結(jié)”。
[0003]在晶硅太陽(yáng)能電池的制作工藝過(guò)程中，要求在硅片表面摻雜雜質(zhì)形成PN結(jié)，然后通過(guò)光生伏特效應(yīng)產(chǎn)生電流，最后通過(guò)主柵線將電流導(dǎo)出。利用擴(kuò)散摻雜的方法，在P型半導(dǎo)體的表面形成一個(gè)薄的N型層，在光的照射下，在PN結(jié)及其附近產(chǎn)生大量的電子和空穴對(duì)，在PN結(jié)附近一定擴(kuò)散長(zhǎng)度內(nèi)，電子-空穴對(duì)還沒(méi)有復(fù)合就有可能通過(guò)擴(kuò)散達(dá)到PN結(jié)的強(qiáng)電場(chǎng)區(qū)域(PN結(jié)自建電場(chǎng))，電子將運(yùn)動(dòng)到N型區(qū)，空穴將運(yùn)動(dòng)到P型區(qū)，使N型區(qū)帶負(fù)電，P型區(qū)帶正電，在上下電極產(chǎn)生電壓，即光生伏特效應(yīng)。
[0004]在生產(chǎn)過(guò)程當(dāng)中，使用現(xiàn)有擴(kuò)散裝置進(jìn)行擴(kuò)散，整批硅片的方塊電阻波動(dòng)大，燒結(jié)時(shí)容易燒穿，造成太陽(yáng)能電池片低效漏電。如圖1所示，I’為傳統(tǒng)的磷源攜帶管，由于液態(tài)磷源全部從石英舟尾部進(jìn)入，在同等條件下尾部硅片的方塊電阻偏低，擴(kuò)散“死層”較重，工藝調(diào)節(jié)困難，電性能偏低，影響太陽(yáng)能電池產(chǎn)線穩(wěn)定。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種磷源分散穩(wěn)定且可有效提高硅片轉(zhuǎn)化率的用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置。
[0006]技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，包括擴(kuò)散管和噴淋管，所述噴淋管貫穿固定在所述擴(kuò)散管的頂部并垂直于擴(kuò)散管的截面，所述噴淋管的底面開(kāi)有一組噴淋口用于噴灑磷源至位于所述噴淋管下方的石英舟中的硅片上，磷源可從石英舟的上方噴灑到硅片上，使整個(gè)硅片摻雜穩(wěn)定。
[0007]為了提高磷源擴(kuò)散后硅片內(nèi)和硅片之間方塊電阻的穩(wěn)定性，所述噴淋管位于石英舟的正上方，且長(zhǎng)度與所述石英舟的長(zhǎng)度相等，保證磷源可分布到石英舟的每個(gè)區(qū)域。
[0008]優(yōu)選地，所述噴淋口在所述噴淋管上由兩端至中間分布逐漸由密集至稀疏，可使硅片上每個(gè)區(qū)域磷源濃度穩(wěn)定。
[0009]為了防止在噴淋過(guò)程中磷源液化，所述噴淋口的直徑為10mm，保證摻雜后的硅片性能良好。
[0010]有益效果:1、本實(shí)用新型通過(guò)將磷源從尾部直接吹入改為從石英管的上方噴淋吹入，使磷源在擴(kuò)散過(guò)程中分布更加均勻，保證了硅片內(nèi)和硅片間方塊電阻的穩(wěn)定性，提高了太陽(yáng)能電池片的轉(zhuǎn)化效率；2、當(dāng)噴淋口的直徑設(shè)為IOmm時(shí)，有效解決了磷源液化的問(wèn)題，通過(guò)簡(jiǎn)單的工藝大大提升產(chǎn)出的太陽(yáng)能電池片的性能。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為【背景技術(shù)】中所述傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散通源裝置；
[0012]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型所述噴淋管的局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。
[0015]實(shí)施例:一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，如圖2所示，包括擴(kuò)散管I和噴淋管2，噴淋管2貫穿固定在擴(kuò)散管I的頂部并垂直于擴(kuò)散管I的截面，噴淋管2位于石英舟的正上方，且長(zhǎng)度與石英舟的長(zhǎng)度相等，保證磷源無(wú)遺漏的分布到石英舟的每個(gè)區(qū)域，噴淋管2的底面開(kāi)有一組噴淋口 3用于噴灑磷源至位于噴淋管2下方的石英舟中的硅片上，磷源可從石英舟的上方噴灑到硅片上，使整個(gè)硅片摻雜穩(wěn)定。
[0016]如圖3所示，噴淋口 3在所述噴淋管2上由兩端至中間分布逐漸由密集至稀疏，使石英舟每個(gè)區(qū)域里硅片的磷源濃度均勻；噴淋口 3的直徑為10_，有效防止在擴(kuò)散過(guò)程中由于磷源液化造成返工的問(wèn)題。
[0017]如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型，但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下，可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
【權(quán)利要求】
1.一種用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，包括擴(kuò)散管(I)和噴淋管(2)，其特征在于:所述噴淋管(2 )貫穿固定在所述擴(kuò)散管(I)的頂部并垂直于擴(kuò)散管(I)的截面，所述噴淋管(2)的底面開(kāi)有一組噴淋口(3)用于噴灑磷源至位于所述噴淋管(2)下方的石英舟中的硅片上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，其特征在于:所述噴淋管(2)位于石英舟的正上方，且長(zhǎng)度與所述石英舟的長(zhǎng)度相等。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，其特征在于:所述噴淋口(3)在所述噴淋管(2)上由兩端至中間分布逐漸由密集至稀疏。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散的通源裝置，其特征在于:所述噴淋口(3)的直徑為10mm。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203434180SQ201320418359
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月15日
【發(fā)明者】許禮, 勾憲芳, 姜利凱, 王鵬 申請(qǐng)人:中節(jié)能太陽(yáng)能科技（鎮(zhèn)江）有限公司