專利名稱：晶圓調(diào)平裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種調(diào)平裝置，特別是一種晶圓調(diào)平裝置。
背景技術(shù)：
晶圓制造乃是整個科技產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)且最關(guān)鍵的一部分，為防止受到污染，晶圓制造是在一個承載器內(nèi)進行，因此承載器的水平狀態(tài)極為重要，否則會影響晶圓加工的良率。公知的承載器是被安裝在一臺機器上使用，使用經(jīng)過一段時間后，承載器的水平狀態(tài)會略有變動，若要調(diào)整其水平狀態(tài)極為麻煩，必須拆卸多處機構(gòu)部位，重新設(shè)定再重新鎖固，需耗費相當(dāng)長的工時，實在不方便。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型提供了一種晶圓調(diào)平裝置，尤指一種可方便調(diào)整承載器水平狀態(tài)的調(diào)平裝置。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:本實用新型提供了一種晶圓調(diào)平裝置，供一個晶圓加工過程中所使用的承載器的載座底面的底盤載立。本實用新型包含有:一個L形支撐座，直立側(cè)與機臺作穩(wěn)固接合，水平側(cè)形成一個承接臺，供底盤載立于其上，該承接臺平面上后側(cè)具有一組容置穿孔及一個調(diào)整螺孔，該組容置穿孔內(nèi)部皆向側(cè)面穿設(shè)出一個定位螺孔；一組支撐件，自下方分別穿設(shè)入容置穿孔內(nèi)，尾端并向上抵住該底盤；一組定位螺件，分別螺入定位螺孔內(nèi)，尾端抵住對應(yīng)的支撐件使之定位；一個調(diào)整螺件，自下方螺入調(diào)整螺孔內(nèi)，尾端向上抵住底盤；一個凹陷空間，成型于承接臺的前側(cè)，凹陷空間平面上具有一組大穿孔及一個小穿孔；一個調(diào)整板，面積大小對應(yīng)凹陷空間，調(diào)整板下方突出一個呈圓弧狀的鎖固突塊，其內(nèi)貫穿一個鎖固螺孔，二側(cè)面上則各貫穿一個調(diào)整螺孔；裝設(shè)時該調(diào)整板以該鎖固突塊為支點抵置在小穿孔上，二側(cè)的調(diào)整螺孔各與一大穿孔對應(yīng)；一個鎖固螺件， 自下方穿設(shè)入小穿孔并與調(diào)整板的鎖固螺孔達(dá)成鎖固作用；一組調(diào)整螺件，分別自下方穿設(shè)入大穿孔并與調(diào)整板的調(diào)整螺孔螺接，尾端抵住上方的底盤。本實用新型的有益效果是:使調(diào)整承載器的水平狀態(tài)變得簡單，耗時較短。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的承載座示意圖。圖2是本實用新型的調(diào)平裝置分解示意圖。圖中1.調(diào)平裝置，2.載座，3.機臺，4.支臂，5.底盤，6.L形支撐座，7.承接臺，8.容置穿孔，9.調(diào)整螺孔，10.定位螺孔，11.支撐件，12.定位螺件，13.調(diào)整螺件，14.凹陷空間，15.大穿孔，16.小穿孔，17.調(diào)整板，18.鎖固突塊，19.鎖固螺孔，20.調(diào)整螺孔，21.鎖固螺件，22.調(diào)整螺件。
具體實施方式
如圖1所示，晶圓加工過程中所使用的承載器穩(wěn)固于一載座2的支臂4上，載座2的底面則由一個底盤5載立于一個調(diào)平裝置I上，然后調(diào)平裝置I再固定在機臺3上，因此借由調(diào)平裝置I去調(diào)整使底盤5呈現(xiàn)水平狀態(tài)，即等于調(diào)整承載器的水平狀態(tài)。如圖2所示，本實用新型包含有:一個L形支撐座6，直立側(cè)與機臺3作穩(wěn)固接合，水平側(cè)形成一個承接臺7，供底盤5載立于其上，該承接臺7平面上后側(cè)具有一組容置穿孔8及一個調(diào)整螺孔9，該組容置穿孔8內(nèi)部皆向側(cè)面穿設(shè)出一個定位螺孔10 ;—組支撐件11，自下方分別穿設(shè)入容置穿孔8內(nèi)，尾端并向上抵住該底盤5 ;—組定位螺件12，分別螺入定位螺孔10內(nèi)，尾端抵住對應(yīng)的支撐件11使之定位；一個調(diào)整螺件13，自下方螺入調(diào)整螺孔9內(nèi)，尾端向上抵住底盤5 ;—個凹陷空間14，成型于承接臺7的前側(cè)，凹陷空間14平面上具有一組大穿孔15及一個小穿孔16 ;—個調(diào)整板17，面積大小對應(yīng)凹陷空間14，調(diào)整板17下方突出一個呈圓弧狀的鎖固突塊18，其內(nèi)貫穿一個鎖固螺孔19，二側(cè)面上則各貫穿一個調(diào)整螺孔20 ;裝設(shè)時該調(diào)整板17以該鎖固突塊18為支點抵置在小穿孔16上，二側(cè)的調(diào)整螺孔20各與一大穿孔15對應(yīng)；一個鎖固螺件21，自下方穿設(shè)入小穿孔16并與調(diào)整板17的鎖固螺孔19達(dá)成鎖固作用；一組調(diào)整螺件22，分別自下方穿設(shè)入大穿孔15并與調(diào)整板17的調(diào)整螺孔20螺接，尾端抵住上方的底盤5。當(dāng)想要底盤 5前后側(cè)的水平狀態(tài)時，先松開定位螺件12對支撐件11的抵住作用，以使支撐件11脫開對底盤5的抵住作用，然后旋動調(diào)整螺件13作頂高或降低，來改變底盤5的高低位置，當(dāng)?shù)妆P5的前后水平狀態(tài)已被調(diào)整到所需時，則將支撐件11前進至抵住底盤5的位置，同時將定位螺件12鎖緊，則借由定位螺件12抵住支撐件11，使支撐件11頂撐底盤5在所需的高低位置。當(dāng)要調(diào)整底盤5左右側(cè)的水平狀態(tài)時，借由調(diào)整螺件22來達(dá)成。
權(quán)利要求1.一種晶圓調(diào)平裝置，包括一個L形支撐座、一組支撐件、一組定位螺件、一個調(diào)整螺件、一個凹陷空間、一個調(diào)整板、一個鎖固螺件及一組調(diào)整螺件，其特征是:所述L形支撐座，水平側(cè)形成一個承接臺，其后側(cè)具有一組容置穿孔及一個調(diào)整螺孔，該組容置穿孔內(nèi)部皆向側(cè)面穿設(shè)出一個定位螺孔；一組支撐件，自下方分別穿設(shè)入容置穿孔內(nèi)；一組定位螺件，分別螺入定位螺孔內(nèi)；一個調(diào)整螺件，自下方螺入調(diào)整螺孔內(nèi)；一個凹陷空間，成型于承接臺的前側(cè)，凹陷空間平面上具有一組大穿孔及一個小穿孔；一個調(diào)整板，面積大小對應(yīng)凹陷空間，調(diào)整板下方突出一個呈圓弧狀的鎖固突塊，其內(nèi)貫穿一個鎖固螺孔，二側(cè)面上則各貫穿一個調(diào)整螺孔；一個鎖固螺件，自下方穿設(shè)入小穿孔；一組調(diào)整螺件，分別自下方穿設(shè)入大穿 孔。
專利摘要本實用新型提供了一種晶圓調(diào)平裝置，供一個晶圓加工過程中所使用的承載器的載座底面的底盤載立。本實用新型包含有一個L形支撐座，水平側(cè)形成一個承接臺，該承接臺平面上后側(cè)具有一組容置穿孔及一個調(diào)整螺孔，該組容置穿孔內(nèi)部皆向側(cè)面穿設(shè)出一個定位螺孔；一組支撐件，自下方分別穿設(shè)入容置穿孔內(nèi)；一組定位螺件，分別螺入定位螺孔內(nèi)；一個調(diào)整螺件，自下方螺入調(diào)整螺孔內(nèi)；一個凹陷空間，成型于承接臺的前側(cè)，凹陷空間平面上具有一組大穿孔及一個小穿孔；一個調(diào)整板，面積大小對應(yīng)凹陷空間；一個鎖固螺件，自下方穿設(shè)入小穿孔；一組調(diào)整螺件，分別自下方穿設(shè)入大穿孔。如此，使調(diào)整承載器的水平狀態(tài)變得簡單，耗時較短。
文檔編號H01L21/68GK203118918SQ201320158738
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月2日
發(fā)明者金杰 申請人:金杰