用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的裝置(100)。所述裝置包括:兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元(120),每一傳送單元(120)包含兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199),所述支持元件被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸(400)旋轉(zhuǎn)以傳送基板(200),其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包括錐形元件,所述錐形元件具有被配置以支持基板(200)的側(cè)表面(151;161,162;171;181;191;196)。
【專利說明】用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本案的實(shí)施方式涉及用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置、太陽能電池生產(chǎn)裝置、用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的所述裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法、用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的所述裝置改裝太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法,和用于制造太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法。本案的實(shí)施方式尤其涉及用于對(duì)準(zhǔn)用以形成光伏(photovoltaic;PV)電池的基板的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池是將太陽光直接轉(zhuǎn)換成為電力的PV裝置。在制造商業(yè)上可行的太陽能電池的一個(gè)主要構(gòu)成在于通過提高裝置產(chǎn)量和增加基板生產(chǎn)量來降低形成太陽能電池所需的制造成本。
[0003]在光伏電池的生產(chǎn)領(lǐng)域中的一些挑戰(zhàn)與精確對(duì)準(zhǔn)用以形成光伏(PV)電池的基板有關(guān)。具體而言,基板可在干燥爐中經(jīng)歷干燥處理且,在離開所述干燥爐之后,所述基板可在進(jìn)行例如絲網(wǎng)印刷工藝之前通過對(duì)準(zhǔn)裝置定中心或?qū)?zhǔn)。
[0004]如圖1中所示的當(dāng)前使用的對(duì)準(zhǔn)裝置10可位于干燥爐的端部,且所述對(duì)準(zhǔn)裝置10可包括用于夾持基板20的伯努利系統(tǒng)11、位于對(duì)準(zhǔn)裝置10的頂部以檢測(cè)基板20的位置的照相機(jī)12,和平移和/或旋轉(zhuǎn)基板20的移動(dòng)裝置13。為了對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)裝置10可通過伯努利夾持器11夾持離開烘箱的基板20,使用照相機(jī)12檢測(cè)基板20的位置,且對(duì)準(zhǔn)裝置10可隨后使用移動(dòng)裝置13根據(jù)參考位置調(diào)整基板20的位置。
[0005]然而,所述當(dāng)前使用的對(duì)準(zhǔn)裝置包括復(fù)雜且昂貴的硬件。具體而言,所述對(duì)準(zhǔn)裝置需要真空系統(tǒng)、伯努利夾持器、直線電動(dòng)機(jī)、具有照相機(jī)的檢查系統(tǒng)等的存在。因此,存在對(duì)于用于對(duì)準(zhǔn)基板的容易的、較不復(fù)雜的和成本有效的裝置的需要。
[0006]鑒于上文,本發(fā)明的目的是提供一種克服本技術(shù)中的至少一些問題的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置,具體而言用于對(duì)準(zhǔn)用以形成光伏(PV)電池的基板的裝置。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]鑒于上文,本發(fā)明提供了用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置、太陽能電池生產(chǎn)裝置、用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的所述裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法、用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的所述裝置改裝太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法,和用于制造太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法。本發(fā)明的進(jìn)一步方面、優(yōu)點(diǎn)和特征從附屬權(quán)利要求、描述和附圖中顯而易見。
[0008]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置包括兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元,每一傳送單元具有兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件,所述支持元件被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)以傳送基板。每一支持元件包括一個(gè)或多個(gè)錐形元件,所述錐形元件具有被配置以支持基板的側(cè)表面。
[0009]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,太陽能電池生產(chǎn)裝置包括一個(gè)或多個(gè)印刷站,和如上所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置。
[0010]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,本發(fā)明提供了用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法。所述方法包括提供一個(gè)或多個(gè)印刷站,和提供如上所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置。
[0011]根據(jù)另一實(shí)施方式,本發(fā)明提供了用于改裝太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法,所述太陽能電池生產(chǎn)裝置包括具有用于夾持基板的伯努利系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)裝置和被配置以捕獲基板位置的照相機(jī)。所述方法包括以如上所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置至少替代伯努利系統(tǒng)和照相機(jī)。
[0012]根據(jù)另一實(shí)施方式,本發(fā)明提供了用于制造太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法。所述方法包括提供一個(gè)或多個(gè)印刷站,和提供如上所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]因此,以可詳細(xì)地理解本案的上述特征的方式,可參考實(shí)施方式獲得上文簡要概述的本案的更特定描述。附圖涉及本發(fā)明的實(shí)施方式且附圖描述在下文中:
[0014]圖1示出用于對(duì)準(zhǔn)基板的現(xiàn)有技術(shù)對(duì)準(zhǔn)裝置;
[0015]圖2示出根據(jù)本文所述的第一實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置;
[0016]圖3示出根據(jù)本文所述的第二實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置;
[0017]圖4示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的實(shí)例的剖面圖;
[0018]圖5示出圖4的支持元件的透視圖;
[0019]圖6示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的另一實(shí)例;
[0020]圖7示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的又一實(shí)例;
[0021]圖8示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的又一個(gè)實(shí)例;
[0022]圖9示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的進(jìn)一步實(shí)例;
[0023]圖10示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件的另一實(shí)例;
[0024]圖11示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的視圖;
[0025]圖12示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的另一裝置的視圖;
[0026]圖13示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的具有用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的太陽能電池生產(chǎn)裝置;和
[0027]圖14示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]現(xiàn)將對(duì)本發(fā)明的各種實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)參考,所述實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)實(shí)例示出于諸圖中。在附圖的以下描述中,相同元件符號(hào)代表相同元件。通常,僅描述對(duì)于各實(shí)施方式的差異。各實(shí)例是作為對(duì)本發(fā)明的說明而提供,且各實(shí)例并不意指作為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,示出或描述為一個(gè)實(shí)施方式的一部分的特征可用于其他實(shí)施方式或結(jié)合其他實(shí)施方式一起使用,以產(chǎn)生更進(jìn)一步實(shí)施方式。本描述意圖包括所述修改和變化。
[0029]圖2示出根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的第一實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100。
[0030]根據(jù)一些實(shí)施方式,用于對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100包括兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元120。每一傳送單元120具有兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件130,所述支持元件130被配置以圍繞所述支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)以傳送基板200。每一支持元件130包括一個(gè)或多個(gè)錐形元件。每一錐形元件具備側(cè)表面,所述側(cè)表面被配置以支持基板200。側(cè)表面也可被稱為圓周表面。
[0031]通過以錐形元件的側(cè)表面支持基板200,在傳送期間施加于基板的應(yīng)力或力被最小化。具體而言,通過支持基板或基板邊緣/周邊的錐形元件的傾斜側(cè)表面,降低了垂直于基板表面作用的分力。因此,減少或甚至避免了基板,尤其是薄和/或大的基板的斷裂。從而,可增加將處理的基板產(chǎn)量。
[0032]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,每一支持元件130包括一個(gè)錐形元件。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些其它的實(shí)施方式,每一支持元件130包括兩個(gè)錐形元件。根據(jù)一些實(shí)施方式,每一錐形元件具有錐軸153,所述錐軸大體上平行于支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400。
[0033]如圖2中所示,每一傳送單元120的支持元件130是沿著所述支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400彼此以距離dl布置。距離dl對(duì)于裝置100的所有傳送單元120可大體上相同,或距離dl對(duì)于裝置100的至少一些傳送單元120可不同。根據(jù)一些實(shí)施方式,距離dl可改變以便適于不同晶片尺寸。
[0034]根據(jù)一些實(shí)施方式,第一旋轉(zhuǎn)軸400大體上垂直于基板200的傳送方向300。在此上下文中的術(shù)語“大體上垂直于”應(yīng)包括距90°的角度高達(dá)5°乃至10°的偏差。根據(jù)一些實(shí)施方式,與傳送單元120相關(guān)聯(lián)的第一旋轉(zhuǎn)軸400大體上彼此平行。
[0035]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,每一傳送單元120進(jìn)一步包括保持元件125。保持元件125被配置以保持或支持兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件130。具體而言,傳送單元120的支持元件130被連接到保持元件125。根據(jù)一些實(shí)施方式,可釋放連接以改變第一距離dl。根據(jù)一些實(shí)施方式,保持元件125具有縱軸,所述縱軸大體上平行于兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400。
[0036]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,每一支持元件130具有通孔,所述通孔具有大體上平行于第一旋轉(zhuǎn)軸400的軸。在此上下文中的術(shù)語“大體上平行”應(yīng)包括距理想平行對(duì)準(zhǔn)的高達(dá)5°乃至10°的偏差。傳送單元120的保持元件125可通過所述傳送單元120的兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件130的通孔,以便保持或支持支持元件130。
[0037]根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件130被固定地附著于所述支持元件130的各個(gè)保持元件125以便共同地圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)。具體而言,保持元件125也被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)。支持元件130通過機(jī)械元件(例如,螺釘)、粘合劑、焊錫、焊接、形狀鎖定或壓配而固定地附著于各個(gè)保持元件125。當(dāng)提供螺釘來進(jìn)行固定時(shí),這些螺釘可被配置以松動(dòng)以允許支持元件130沿著第一旋轉(zhuǎn)軸400相對(duì)于保持元件125的移動(dòng),以便改變距離dl。
[0038]根據(jù)一些其他實(shí)施方式,保持元件125被固定就位,即保持元件125不可旋轉(zhuǎn),其中相對(duì)于保持元件125可動(dòng)地提供支持元件130以便允許每一支持元件130圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)。
[0039]在根據(jù)一些實(shí)施方式的上述情況下,每一支持元件130是通過例如滑動(dòng)軸承或滾柱軸承的軸承連接到該支持元件130的保持元件125。軸承可以是驅(qū)動(dòng)軸承以便圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)支持元件130。因此,可在大體上垂直于支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400的傳送方向300上傳送由支持元件130支持的基板200。根據(jù)一些實(shí)施方式,沿著第一旋轉(zhuǎn)軸400相對(duì)于保持元件125可動(dòng)地提供軸承以便允許距離dl的變化。
[0040]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,傳送單元120的保持元件125是各自具有縱軸的棒狀或桿狀。例如,保持元件125的縱軸可被平行于彼此布置。根據(jù)一些實(shí)施方式,保持元件125的縱軸是大體上平行于第一旋轉(zhuǎn)軸400布置。
[0041]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,裝置100進(jìn)一步包括被提供用于支持傳送單元120的框架110。例如,框架110被配置以保持保持元件125的一個(gè)或多個(gè)端部。當(dāng)每一保持元件是棒狀或桿狀時(shí),框架110可被配置以保持或支持每一棒狀或桿狀保持元件125的兩端。
[0042]如上所述,根據(jù)一些實(shí)施方式,保持元件125被固定就位,S卩,所述保持元件125不旋轉(zhuǎn)。在此情況下,每一保持元件125可被固定地附著于框架110。根據(jù)一些實(shí)施方式,每一支持元件130的一個(gè)或多個(gè)端部可例如通過機(jī)械元件(例如,螺釘)、粘合劑、焊錫、焊接、形狀鎖定或壓配而固定地附著于框架110。在此情況下,支持元件130被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)。
[0043]根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件130被固定地附著于所述支持元件130的各個(gè)保持元件125以便共同地圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)。舉例來說,保持元件125可由例如電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng),以便旋轉(zhuǎn)保持元件125,且因此圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)支持元件130。
[0044]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,每一保持元件125被例如通過軸承可旋轉(zhuǎn)地連接到框架110。軸承包括,但不限于,滑動(dòng)軸承和滾柱軸承。根據(jù)一些實(shí)施方式,軸承可以是驅(qū)動(dòng)軸承以便旋轉(zhuǎn)保持元件125,且因此圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)支持元件130。因此,可在大體上垂直于支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400的傳送方向300上傳送由支持元件130支持的基板200。
[0045]每一支持元件130包括具有錐軸153的錐形元件,所述錐軸153大體上平行于支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400。錐形元件被配置以利用所述錐形元件的側(cè)表面支持基板200。因此,在傳送期間施加于基板200的應(yīng)力或力被最小化。具體而言,通過支持基板200或基板邊緣的錐形元件的傾斜側(cè)表面,降低了垂直于基板表面作用的分力。因此,減少或甚至避免了基板,尤其是薄和/或大的基板的損壞或斷裂。從而,可增加將處理的基板產(chǎn)量。
[0046]根據(jù)一些實(shí)施方式,每一錐形元件的直徑沿著支持元件130的第一旋轉(zhuǎn)軸400減小。例如,每一錐形元件的直徑朝向保持元件125的中心減小。因此,僅基板邊緣接觸支持元件130。因此,最小化垂直于基板表面作用的分力且避免了基板的損壞或斷裂。
[0047]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,錐形元件的側(cè)表面相對(duì)于錐軸153傾斜。舉例來說,錐形元件的側(cè)表面具有相對(duì)于錐軸153的在1°至45°、1°至20°,或5°至10°的范圍內(nèi)的角度。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,錐形元件具有兩個(gè)或兩個(gè)以上側(cè)表面,所述側(cè)表面各自具有相對(duì)于錐軸153不同的角度,或所述側(cè)表面可以是凹狀或者凸?fàn)?。這些方面將參考圖4至圖10更加詳細(xì)地描述。
[0048]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件130包括例如橡膠的彈性材料。通過提供具有彈性材料的支持元件130,對(duì)基板的損壞風(fēng)險(xiǎn)被更加降低。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件130包括例如鋁的金屬。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件130包括彈性材料和金屬。例如,支持元件130的金屬體可至少部分地以一層彈性材料覆蓋。根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件150的側(cè)表面具備一層彈性材料。
[0049]根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件130是由單個(gè)零件組成。根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件130是由兩個(gè)或兩個(gè)以上零件組成,所述零件是由相同或不同材料制成。根據(jù)另一實(shí)例,僅具有側(cè)表面的支持元件150的部分可由金屬或彈性材料制成。
[0050]根據(jù)一些實(shí)施方式,圖2的每一支持元件130可被實(shí)施為圖4至圖10中所示的任何一個(gè)支持兀件,且圖2的每一支持兀件130可在稍后描述。
[0051]本案允許當(dāng)基板從裝置的一側(cè)以傳送方向移動(dòng)時(shí)對(duì)準(zhǔn)基板,以便將基板對(duì)準(zhǔn)于另一側(cè)。此情況應(yīng)鑒于以下實(shí)例描述。
[0052]基板是通過具有錐形側(cè)表面的支持元件支持。因此,如果基板未對(duì)準(zhǔn),那么基板的至少一個(gè)邊緣接觸接近于錐體底部位置或在所述底部位置處的支持元件。錐形元件的底部位置應(yīng)被理解為具有最大直徑的錐形元件的區(qū)域。錐形元件的頂部位置應(yīng)被理解為具有最小直徑的區(qū)域。顯著地,基板邊緣接觸錐形元件的位置越接近底部位置,傳遞至基板的速度越高。同樣地,基板邊緣接觸錐形元件的位置越接近頂部位置,傳遞至基板的速度越小。因此,如果基板的兩個(gè)相對(duì)邊緣(每一邊緣是由錐形支持元件支持)在不同直徑位置處接觸各個(gè)支持元件,那么基板除在傳送方向的傳送運(yùn)動(dòng)之外還旋轉(zhuǎn)。
[0053]亦即,如果基板的一個(gè)邊緣比基板的相對(duì)邊緣(所述相對(duì)邊緣接觸另一錐形支持元件)更接近于支持元件的底部位置接觸錐形支持元件,那么所述前一邊緣以比所述相對(duì)邊緣更高的速度移動(dòng)。如此導(dǎo)致其中旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)對(duì)準(zhǔn)基板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng),以此方式,基板的兩個(gè)邊緣最終以相同速度運(yùn)動(dòng)。只有當(dāng)基板被完全對(duì)準(zhǔn)時(shí)(即,當(dāng)基板邊緣平行于傳送方向時(shí))才出現(xiàn)此情況。
[0054]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,用于對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100可進(jìn)一步包括一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇,所述風(fēng)扇布置在兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元的區(qū)域中。在此情況下,“兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元的區(qū)域”可代表接近于所述傳送單元的區(qū)域,且“兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元的區(qū)域”可具體而言代表在傳送單元之上或之下的區(qū)域。舉例來說,一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇可在與其中基板被支撐側(cè)相對(duì)的兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元的一側(cè)處提供。舉例來說,可在兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元之下提供一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇。
[0055]根據(jù)一些實(shí)施方式,一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇可被配置為抽氣單元。根據(jù)一些實(shí)施方式,兩個(gè)或兩個(gè)以上風(fēng)扇可被配置以保持基板與支持元件接觸,例如,用于較好裝卸以避免滑動(dòng)現(xiàn)象。根據(jù)一些實(shí)施方式,兩個(gè)或兩個(gè)以上風(fēng)扇可被配置以提取或抽吸由冷卻裝置吹出的空氣,從而對(duì)除熱作用給予更多效果。舉例來說,冷卻裝置可被實(shí)施為圖12中所示的冷卻裝置250且在稍后描述。
[0056]現(xiàn)轉(zhuǎn)到圖3,示出用于根據(jù)第二實(shí)施方式對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100,所述第二實(shí)施方式可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合。第二實(shí)施方式可具體而言與圖2中所示的第一實(shí)施方式結(jié)合。因此,省略了已在上文參照?qǐng)D2描述的元件和特征的重復(fù)說明。
[0057]根據(jù)一些實(shí)施方式,用于對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100包括兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元120。每一傳送單元120具有兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件140,所述支持元件140被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)以傳送基板200。每一傳送單元120的兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件140沿著各個(gè)支持元件140的第一旋轉(zhuǎn)軸400彼此以距離dl到d5布置。
[0058]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,一個(gè)傳送單元120的兩個(gè)支持元件140距彼此布置的距離dl至d5大于一個(gè)相鄰傳送單元120的兩個(gè)支持元件140距彼此布置的距離dl至d5。換句話說,第一距離dl至d5沿著基板200的傳送方向300從一個(gè)傳送單元120到下一個(gè)傳送單元120減小。舉例來說,基板200的傳送方向300大體上垂直于第一旋轉(zhuǎn)軸400。
[0059]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,距離dl至d5沿著由裝置提供的傳送距離變化。根據(jù)一些實(shí)施方式,在對(duì)準(zhǔn)裝置的開端處的距離dl(例如,圖3中的dl)是在100_至200mm、120mm至150_或115_至145_的范圍之內(nèi),且在對(duì)準(zhǔn)裝置的末端處的距離dx (例如,圖3中的d5)是在90mm至190mm、115mm至145mm或IlOmm至140mm的范圍之內(nèi)。根據(jù)一些實(shí)施方式,距離dl至d5從一個(gè)傳送單元120到下一個(gè)或相鄰傳送單元120以大約10mm、5mm、3mm、2mm、1mm、0.5mm、0.3mm或更少的均勻步距變化。根據(jù)一些實(shí)施方式,距離dl至d5從一個(gè)傳送單元120到下一個(gè)或相鄰傳送單元120以非均勻步驟減少。
[0060]根據(jù)一些實(shí)施方式,距離dl至d5可改變以便適于不同晶片尺寸。舉例來說,每一距離dl至d5可在10mm至5mm的范圍內(nèi)改變,且具體而言在65mm和75mm之間的范圍中改變,且更具體而言大約為70mm。
[0061]根據(jù)一些實(shí)施方式,為了改變距離dl至d5,可使用支持元件調(diào)整夾具。舉例來說,支持元件調(diào)整夾具可被布置在預(yù)定位置(所述位置可取決于基板大小)處。然后,可使支持元件接觸所述支持元件調(diào)整夾具且隨后固定就位。
[0062]根據(jù)一些實(shí)施方式,圖3的每一支持元件140可被實(shí)施為圖2和圖4至圖10中所示的任何一個(gè)支持元件。
[0063]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,基板200是大面積基板。大面積基板可具有至少0.174m2的大小。典型地,所述大小可以為約1.4m2至約8m2,更典型地為約2m2至約9m2,或甚至達(dá)到12m2。典型地,為其提供根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的諸圖陰極組件的結(jié)構(gòu)、裝置,和方法的基板是如本文所述的大面積基板。例如,大面積基板可以是GEN 5標(biāo)準(zhǔn)的基板,所述標(biāo)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)于約1.4m2的基板(1.1m xl.3m);可以是GEN7.5標(biāo)準(zhǔn)的基板,所述標(biāo)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)于約4.29m2的基板(1.95m x2.2m);可以是GEN 8.5標(biāo)準(zhǔn)的基板,所述標(biāo)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)于約5.7m2的基板(2.2m x2.5m);或甚至是GEN 10標(biāo)準(zhǔn)的基板,所述標(biāo)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)于約8.7m2的基板(2.85mX3.05m)??梢酝瑯拥貙?shí)施諸如GEN11和GEN 12的甚至更大改進(jìn)的標(biāo)準(zhǔn)和相應(yīng)基板。
[0064]圖4至圖10示出可被用于用來對(duì)準(zhǔn)本文所述的基板的裝置的實(shí)施方式中的支持元件的實(shí)例。圖4至圖10的支持元件可具體而言用于圖2和圖3的實(shí)施方式。
[0065]圖4示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件150的實(shí)例的剖面圖。圖5示出圖4的支持元件150的透視圖。
[0066]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件150包括錐形元件,所述錐形元件具有由階梯部分分離的第一側(cè)表面151和第二側(cè)表面152。第一側(cè)表面151被配置以在傳送期間支持基板。階梯部分為由側(cè)表面151支持的基板提供邊界157,以便導(dǎo)向基板。在正常操作或傳送期間,基板不接觸邊界157。邊界157可相對(duì)于錐軸153具有任何適當(dāng)角度,所述角度例如在45°至135° ,70°至110° ,80°至100°的范圍內(nèi),且所述角度具體而言為90°。
[0067]根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件150包括通孔154,所述通孔154例如用于插入圖2和圖3中所示的保持元件125。通孔154具有直徑dx。例如,直徑dx大體上與保持元件的直徑相同。
[0068]根據(jù)一些實(shí)施方式,在第二側(cè)表面152中提供孔155???55具有軸,所述軸大體上垂直于錐軸153且延伸至通孔154。根據(jù)一些實(shí)施方式,孔155被配置以用于插入固定元件(例如,螺釘)以嚙合容納在通孔154中的保持元件。因此,支持元件150可被固定地附著于保持元件。根據(jù)一些實(shí)施方式,孔154是螺紋孔。也可使用其他技術(shù)將支持元件150固定至保持元件,所述技術(shù)例如軸承、粘合劑、焊錫、焊接、形狀鎖定或壓合。當(dāng)提供螺釘來進(jìn)行固定時(shí),這些螺釘可被配置以松動(dòng)以允許支持元件150沿著第一旋轉(zhuǎn)軸400相對(duì)于保持元件125的移動(dòng),以便改變距離dl至d5。
[0069]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件150包括彈性材料。通過提供具有彈性材料的支持元件150,可以避免對(duì)基板的損壞。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件150包括例如鋁的金屬。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件150包括彈性材料和金屬。例如,支持元件150的金屬體可至少部分地以一層彈性材料覆蓋。在另一實(shí)例中,至少第一側(cè)表面151具備一層彈性材料。
[0070]根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件150是由單個(gè)零件組成。根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件150是由兩個(gè)或兩個(gè)以上零件組成,所述零件是由相同或不同材料制成。根據(jù)另一實(shí)例,僅具有第一側(cè)表面151的支持元件150的部分可由金屬或彈性材料制成。
[0071]圖6示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件160的另一實(shí)例。
[0072]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件160包括錐形兀件,所述錐形兀件具有第一側(cè)表面161、第二側(cè)表面162和第三側(cè)表面163。第二側(cè)表面162和第三側(cè)表面163通過階梯部分分離。第一側(cè)表面161和同時(shí)選擇性的第二側(cè)表面162被配置以在傳送期間支持基板。階梯部分為由第一和/或第二側(cè)表面161和162支持的基板提供邊界164,以便導(dǎo)向基板。在正常操作或傳送期間,基板不接觸邊界164。邊界164可相對(duì)于錐軸153具有任何適當(dāng)角度,所述角度例如,在45°至135°、70°至110°、80°至100°的范圍內(nèi),和具體而言90°。
[0073]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件160包括通孔,所述通孔例如用于插入如圖2和圖3中所示的保持元件125。通孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的通孔154配置,且上文給出的描述還適用于圖6的支持元件160。
[0074]根據(jù)一些實(shí)施方式,錐形元件的第一側(cè)表面161具有相對(duì)于錐軸153的角度。舉例來說,錐形元件的第一側(cè)表面161相對(duì)于錐軸153具有在1°至45°、1°至20°,或5°至10°的范圍內(nèi)的角度。根據(jù)一些實(shí)施方式,錐形元件的第二側(cè)表面162也具有相對(duì)于錐軸153的角度。雖然圖6示出其中角度為大體上零度的情況,但是所述角度也可大于零度。例如,所述角度可在0°至45°、0°至20°,或5°至10°的范圍內(nèi)。根據(jù)一些實(shí)施方式,第一側(cè)表面161相對(duì)于錐軸153的角度大于第二側(cè)表面162相對(duì)于所述軸153的角度。根據(jù)一些實(shí)施方式,第一和第二側(cè)表面161、162中的至少一個(gè)表面是凹狀或凸?fàn)?。根?jù)其他實(shí)施方式,第一和第二側(cè)表面161、162的一個(gè)表面是凹狀,第一和第二側(cè)表面161、162的另一個(gè)表面是凸?fàn)睢?br>
[0075]根據(jù)一些實(shí)施方式,在第三側(cè)表面163中提供用于插入如上參照?qǐng)D4和圖5所述的固定元件的孔(未示出)。所述孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的孔155配置,且上文給出的描述還適用于圖6的支持元件160。
[0076]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件160包括彈性材料。通過提供具有彈性材料的支持元件160,可以避免對(duì)基板的損壞。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件160包括例如鋁的金屬。根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件160是由單個(gè)零件組成。根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件160是由兩個(gè)或兩個(gè)以上零件組成,所述零件是由相同或不同材料制成。例如,僅具有第一和第二側(cè)表面161和162的部分可由金屬或彈性材料制成。在另一實(shí)例中,第一側(cè)表面161和第二側(cè)表面162的至少一個(gè)表面具備一層彈性材料。例如,支持元件160的金屬體可至少部分地以一層彈性材料覆蓋。在另一實(shí)例中,至少第一側(cè)表面161具備一層彈性材料。
[0077]圖7示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件170的又一實(shí)例。
[0078]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件170包括錐形元件,所述錐形元件具有凸?fàn)顐?cè)表面171。
[0079]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件170包括通孔,所述通孔例如用于插入如圖2和圖3中所示的保持元件125。通孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的通孔154配置,且上文給出的描述還適用于圖7的支持元件170。
[0080]根據(jù)一些實(shí)施方式,在凸?fàn)顐?cè)表面171中提供用于插入如上參照?qǐng)D4和圖5所述的固定元件的孔(未示出)。所述孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的孔155配置,且上文給出的描述還適用于圖7的支持元件170。
[0081]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件170包括彈性材料。通過提供具有彈性材料的支持元件170,可以避免對(duì)基板的損壞。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件170包括例如鋁的金屬。根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件170是由單個(gè)零件組成。根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件170是由兩個(gè)或兩個(gè)以上零件組成,所述零件是由相同或不同材料制成。在另一實(shí)例中,側(cè)表面171具備一層彈性材料。例如,支持元件170的金屬體可至少部分地以一層彈性材料覆蓋。在另一實(shí)例中,至少側(cè)表面171具備一層彈性材料。
[0082]圖8示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件180的又一個(gè)實(shí)例。圖8中所示的支持元件180類似于圖7中所示的支持元件,且上文給出的描述也適用于所述支持元件180。
[0083]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件180包括錐形元件,所述錐形元件具有凸?fàn)畹谝粋?cè)表面181和第二側(cè)表面182。根據(jù)一些實(shí)施方式,第二側(cè)表面182是平面。第一側(cè)表面181和第二側(cè)表面183是通過階梯部分分離。階梯部分為由第一側(cè)表面181支持的基板提供邊界183,以便導(dǎo)向基板。在正常操作或傳送期間,基板不接觸邊界183。
[0084]圖9示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件190的進(jìn)一步實(shí)例。
[0085]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件190包括錐形元件,所述錐形元件具有凹狀側(cè)表面191。
[0086]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件191包括通孔,所述通孔例如用于插入如圖2和圖3中所示的保持元件125。通孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的通孔154配置,且上文給出的描述還適用于圖9的支持元件170。
[0087]根據(jù)一些實(shí)施方式,在凹狀側(cè)表面191中提供用于插入如上參照?qǐng)D4和圖5所述的固定元件的孔(未示出)。所述孔可類似于上文參照?qǐng)D4和圖5所述的孔155配置,且上文給出的描述還適用于圖9的支持元件190。
[0088]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件190包括彈性材料。通過提供具有彈性材料的支持元件190,可以避免對(duì)基板的損壞。根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件190包括例如鋁的金屬。根據(jù)一些實(shí)施方式,支持元件190是由單個(gè)零件組成。根據(jù)一些其他實(shí)施方式,支持元件190是由兩個(gè)或兩個(gè)以上零件組成,所述零件是由相同或不同材料制成。在另一實(shí)例中,側(cè)表面191至少部分地具有一層彈性材料。例如,支持元件190的金屬體可至少部分地以一層彈性材料覆蓋。在另一實(shí)例中,至少側(cè)表面191具備一層彈性材料。
[0089]圖10示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的支持元件195的另一實(shí)例。圖10中所示的支持元件195類似于圖9中所示的支持元件,且上文給出的描述也適用于所述支持元件195。
[0090]根據(jù)可與本文所述的其他實(shí)施方式結(jié)合的一些實(shí)施方式,支持元件195包括錐形元件,所述錐形元件具有凹狀第一側(cè)表面196和第二側(cè)表面197。根據(jù)一些實(shí)施方式,第二側(cè)表面197是平面。第一側(cè)表面196和第二側(cè)表面197是通過階梯部分分離。階梯部分為由第一側(cè)表面196支持的基板提供邊界198,以便導(dǎo)向基板。在正常操作或傳送期間,基板不接觸邊界198。
[0091]現(xiàn)轉(zhuǎn)到圖11,示出了根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的透視圖。
[0092]用于對(duì)準(zhǔn)基板200的裝置100包括兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元120。每一傳送單元120具有兩個(gè)或兩個(gè)以上支持元件130,所述支持元件130被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸400旋轉(zhuǎn)以傳送基板200。每一支持元件199包括錐形元件,所述錐形元件具有大體上平行于第一旋轉(zhuǎn)軸(表示為X軸)的錐軸。錐形元件具備側(cè)表面,所述側(cè)表面被配置以支持基板200。
[0093]根據(jù)一些實(shí)施方式,圖11的每一傳送單元120可被實(shí)施為上文參照?qǐng)D2和圖3所述的任何一個(gè)傳送單元。具體而言,圖11的每一支持元件199可被實(shí)施為上文參照?qǐng)D2至圖10所述的任何一個(gè)支持元件。
[0094]圖12是根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于對(duì)準(zhǔn)基板的另一裝置的透視圖。裝置類似于圖12中所示的裝置,區(qū)別在于在至少一些傳送單元120之上另外提供冷卻裝置250。參看圖1,干燥爐可將基板溫度推高到例如300°C以上。就此而言,可能重要的是冷卻基板或晶片溫度以避免硬件損壞且同時(shí)防止工藝問題。
[0095]根據(jù)一些實(shí)施方式,冷卻裝置250經(jīng)設(shè)置以例如在基板離開干燥爐之后冷卻基板。根據(jù)一些實(shí)施方式,冷卻與由本文所述的實(shí)施方式的裝置進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)工藝同時(shí)進(jìn)行。
[0096]再次參看圖1,在進(jìn)行干燥工藝的干燥爐的末端安置現(xiàn)代化的對(duì)準(zhǔn)裝置10。定位在基板位置之上的照相機(jī)是用于后續(xù)對(duì)準(zhǔn)工藝。本案的實(shí)施方式不需要位于基板之上的任何照相機(jī),因?yàn)閷?duì)準(zhǔn)是僅通過用于傳送基板的傳送單元實(shí)現(xiàn)。因此,基板之上的空間可用于剛好在那里提供冷卻裝置250。如此具有特別有益的效果,因?yàn)槔鋮s工藝和對(duì)準(zhǔn)工藝可在一個(gè)單個(gè)工藝步驟中同時(shí)地進(jìn)行,借此處理系統(tǒng)的處理時(shí)間、成本和復(fù)雜性可降低。
[0097]圖13示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的具有用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置的太陽能電池生產(chǎn)裝置。
[0098]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,太陽能電池生產(chǎn)裝置包括,但不限于,一個(gè)或多個(gè)印刷站500、一個(gè)或多個(gè)冷卻站400和/或如本文所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置100。在圖13中所示的實(shí)例中,太陽能電池生產(chǎn)裝置包括沿著基板的傳送方向300布置的三個(gè)站。太陽能電池生產(chǎn)裝置不限于具有三個(gè)站的實(shí)例,且太陽能電池生產(chǎn)裝置可具體而言包括以任何適當(dāng)順序布置的四個(gè)或更多個(gè)站。在圖13中,冷卻站400、具有如本文所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置100的對(duì)準(zhǔn)站、和印刷站500是順序地沿著傳送方向300布置。這些站可通過例如傳送帶的傳送裝置600連接,用于將基板從一個(gè)站傳遞到另一個(gè)站。然而,傳送帶600可以是非必要的或傳送帶600可由同時(shí)用于傳送晶片的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)站替代。
[0099]根據(jù)一些實(shí)施方式,冷卻站400和裝置100是實(shí)施為一個(gè)單一站,如上文參照?qǐng)D12所述。
[0100]圖14示出根據(jù)本文所述的實(shí)施方式的用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法的流程圖。
[0101]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法700包括提供一個(gè)或多個(gè)印刷站(方塊701),和提供如上所述用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置(方塊702)。
[0102]根據(jù)另一實(shí)施方式,用于加裝太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法包括以用于對(duì)準(zhǔn)如上所述的基板的裝置至少代替伯努利系統(tǒng)和照相機(jī),所述太陽能電池生產(chǎn)裝置包括具有用于夾持基板的伯努利系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)裝置和被配置以捕獲基板位置的照相機(jī)。
[0103]根據(jù)另一實(shí)施方式,用于制造太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法包括提供一個(gè)或多個(gè)印刷站,和提供如上所述用于對(duì)準(zhǔn)基板的一個(gè)或多個(gè)裝置。
[0104]本案提供具有較不復(fù)雜和成本效益的硬件的用于對(duì)準(zhǔn)基板的裝置。具體而言,用于根據(jù)本案的實(shí)施方式對(duì)準(zhǔn)基板的裝置不需要任何位于基板之上的照相機(jī),因?yàn)閷?duì)準(zhǔn)是僅通過用于傳送基板的傳送單元實(shí)現(xiàn)。因此,例如用于提供冷卻裝置的基板位置之上的空間是可用的。如此具有特別有益的效果,因?yàn)槔鋮s工藝和對(duì)準(zhǔn)工藝可在一個(gè)單個(gè)工藝步驟期間同時(shí)地進(jìn)行,借此處理系統(tǒng)的處理時(shí)間、成本和復(fù)雜性可降低。
[0105]雖然前述內(nèi)容是針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式,但是可在不背離本發(fā)明的基本范圍的情況下設(shè)計(jì)本發(fā)明的其他和進(jìn)一步實(shí)施方式,且本發(fā)明的范圍是由以上權(quán)利要求書所決定。
【權(quán)利要求】
1.一種用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的裝置(100),包含: 兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元(120),每一傳送單元(120)包含兩個(gè)支持元件(130,140,I50,160,170,180,190,195,199),所述支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸(400)旋轉(zhuǎn)以傳送所述基板(200), 其中每一支持元件(130,140, 150, 160, 170, 180, 190, 195,199)包含一個(gè)或多個(gè)錐形元件,所述錐形元件具有被配置以支持所述基板(200)的側(cè)表面(151;161,162;171;181;191;196)。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置(100),其特征在于,所述錐形元件的所述側(cè)表面(151,161)相對(duì)于所述錐形元件的錐軸(153)具有1°至20°的角度。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置(100),其特征在于,所述錐形元件的所述側(cè)表面(151,161)相對(duì)于所述錐形元件的錐軸(153)具有5°至15°的角度。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的裝置(100),其特征在于,所述錐形元件具有兩個(gè)或兩個(gè)以上側(cè)表面(161,162),所述側(cè)表面相對(duì)于所述錐軸(153)具有不同角度。
5.如權(quán)利要求1至4中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,每一傳送單元(120)的所述兩個(gè)支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)是沿著所述第一旋轉(zhuǎn)軸(400)彼此以距離(dl-d5)布置。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置(100),其特征在于,一個(gè)傳送單元(120)的所述兩個(gè)支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)距彼此布置的所述距離(dl_d5)大于一個(gè)所述相鄰傳送單元(120)的所述兩個(gè)支持元件(130,140, 150, 160, 170, 180, 190, 195,199)距彼此布置的距離(dl-d5)。
7.如權(quán)利要求1至6中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,每一傳送單元(120)進(jìn)一步包括保持元件(125),所述保持元件(125)被配置以保持所述支持元件(130)。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置(100),其特征在于,所述兩個(gè)傳送單元(120)的所述保持元件(125)為棒狀或桿狀。
9.如權(quán)利要求1至8中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,每一保持元件(125)被配置以圍繞所述第一旋轉(zhuǎn)軸(400)旋轉(zhuǎn)。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置(100),其特征在于,所述支持元件(130,140,150, 160,I70,180,190,195,199)是固定地附著于所述保持元件(125)。
11.如權(quán)利要求1至7中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,所述支持元件(130,I40,150,160,170,180,190,195,199)可旋轉(zhuǎn)地附著于所述保持元件(125)。
12.如權(quán)利要求1至11中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,每一支持元件(130,140,150, 160, 170, 180, 190, 195,199)具有通孔(154),所述通孔(154)具有平行于所述第一旋轉(zhuǎn)軸(400)的軸。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置(100),其特征在于,所述保持元件(125)通過所述通孔(154)。
14.如權(quán)利要求1至13中的一項(xiàng)所述的裝置(100),其特征在于,所述錐形元件包括金屬或彈性材料或所述錐形元件涂布有所述彈性材料。
15.如權(quán)利要求1至14中的一項(xiàng)所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的裝置(100),進(jìn)一步包括布置在兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元(120)的至少一個(gè)之上的冷卻裝置(250)。
16.如權(quán)利要求1至15中的一項(xiàng)所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的裝置(100),進(jìn)一步包括一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇,所述風(fēng)扇布置在所述兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元(120)的區(qū)域中。
17.如權(quán)利要求16所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的裝置(100),其特征在于,所述一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇是在所述兩個(gè)或兩個(gè)以上傳送單元(120)之下提供。
18.一種太陽能電池生產(chǎn)裝置,包含: 一個(gè)或多個(gè)印刷站(500),和 一個(gè)或多個(gè)裝置(100),用于對(duì)準(zhǔn)如權(quán)利要求1至17的一項(xiàng)所述的基板(200)。
19.一種用于利用對(duì)準(zhǔn)基板的裝置裝備太陽能電池生產(chǎn)裝置的方法,所述方法包括: 提供(701) —個(gè)或多個(gè)印刷站;和 提供(702)如權(quán)利要求1至17的一項(xiàng)所述的用于對(duì)準(zhǔn)基板(200)的一個(gè)或多個(gè)裝置(100)。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK104517880SQ201310565958
【公開日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】G·帕斯夸林 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料意大利有限公司