技術(shù)編號：7011045
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了用于對準基板(200)的裝置(100)。所述裝置包括兩個或兩個以上傳送單元(120)，每一傳送單元(120)包含兩個或兩個以上支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件被配置以圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸(400)旋轉(zhuǎn)以傳送基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包括錐形元件，所述錐形元件具有被配置以支持基板(200)的側(cè)表面(151;16...
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